QC質量改進成果發(fā)布資料模板ppt課件

1、XG-C06HR芯片外表工藝質量改良新光精進QC小組發(fā)布人：于坤鵬課題類型：改良型1公司概略天津中環(huán)新光科技是天津中環(huán)電子信息集團的全資子公司，公司坐落于天津市西青微電子工業(yè)區(qū)。公司由中環(huán)集團承接天津市科學技術委員會的二十項艱苦工程之一而成立，于2021年3月底注冊。一期工程中環(huán)集團投資3000萬元人民幣，市財政支持1000萬人民幣；二期工程中環(huán)集團投資7000萬人民幣。公司擁有雄厚的技術實力，技術團隊由多名從事LED資料外延的中科院物理研討所外延專家領銜，帶著多名博士、碩士進展外延以及芯片技術的研發(fā)和消費。公司采用國際先進的美國進口外延爐(MOCVD設備)消費LED外延片?，F(xiàn)主要消費紅、橙、

2、黃以及黃綠光等各種規(guī)格的AlGaInP四元系2英寸、4英寸LED外延片和芯片。 2主要產(chǎn)品及消費設備3一、團隊概略表1小組名稱新光精進QC小組成立時間2012年3月本年度注冊時間2013年3月小組注冊編號XG-QC-130306課題注冊時間2013年3月課題注冊編號XG-QC-130306課題類型改進型小組人數(shù)10人活動時間2013.3-2013.8活動次數(shù)2次4姓名職稱組內(nèi)職務組內(nèi)分工受TQC教育時間于坤鵬助工組長總策劃60小時以上張榮勤高工技術顧問技術指導60小時以上白春玲技師組員具體實施50小時以上芮雅強助工組員具體實施50小時以上張金剛助工組員具體實施45小時以上崔娜技師組員具體實施4

3、5小時以上李家征助工組員具體實施45小時以上張茜技師組員具體實施40小時以上謝寶紅技師組員具體實施40小時以上崔美筠技師組員具體實施40小時以上表25二、 XG-C06HR外表工藝改良課題引見XG-C06HR芯片特征圖片XG-C06HR芯片外表工藝問題的發(fā)現(xiàn)芯片宏觀和微觀圖片XG-C06HR芯片是中環(huán)新光消費的一款特種紅光LED芯片。業(yè)內(nèi)這種芯片的特點是產(chǎn)出率高，打線粘合度強和功率平衡等。而支撐這些獨有特點的關鍵之一就是“外表。外表有劃傷或缺失等不良導致產(chǎn)出率低；外表不飽滿不圓潤會導致客戶運用時打線粘合度弱；外表外形不規(guī)那么就會導致電流分散不均勻，從而影響輸出光功率的平衡性。由于工藝上的緣由，

4、XG-C06HR這款產(chǎn)品制造過程中“表面的種種缺陷直接降低了該產(chǎn)品的產(chǎn)質量量和產(chǎn)出數(shù)量。由此產(chǎn)生了本次QC課題。6表3為了使活動順利進展，團隊制定了縝密的活動方案7三、課題的選定過程 要改3.1 選題及選定理由團隊才干分析急迫性分析效果性分析重要性分析分析方法是：10個成員投票選出四個要素中三種問題的關鍵性。8綜合以上四種要素，無論從哪個評價工程來看，改善“外表不良都是首當其沖的序號問題點現(xiàn)況說明評價項目總分順位選定隊能力急迫性重要性效果性1載片過程損傷在工件流動過程中，發(fā)生斷裂和殘損等情況，影響產(chǎn)出率。2231822表面不良從圖形工藝的開始到產(chǎn)品產(chǎn)出，各個環(huán)節(jié)都對表面有損傷，每一次損傷都會降

5、低芯片的產(chǎn)出數(shù)量。76482513電性不穩(wěn)成品測試發(fā)現(xiàn)部分產(chǎn)品電性不穩(wěn)定，電壓和亮度有較大的波動性，影響同一款產(chǎn)品的穩(wěn)定性。123173表49四、現(xiàn)狀調(diào)查序號不良項目不良率百分比累積百分比1電極不良37400K85%85%2外延缺陷1760K4%89%3發(fā)光區(qū)損傷2200K5%94%4殘留膠體1320K3%97%5電極發(fā)黑440K1%98%6其他880K2%100%合計44000K100%2021年2月到3月2000片工件產(chǎn)出芯片外表不良統(tǒng)計概略1K等于1000顆芯片表5要改102021年2月到3月100片工件產(chǎn)出芯片電極不良統(tǒng)計概略要改11五、設定課題改善目的圖1改善目的值圖表數(shù)值以1k為單

6、位，1k等于一千顆12六、要因解析6.1工藝流程簡介勻膠顯影貼膜合金刻蝕曝光去膠切割鏡檢圖2136.2緣由分析電極不良凈服穿戴不整齊貼膜機劃傷電極鏡檢呵斥劃傷取放片方法有問題勻膠臺轉速異常導致膠膜不均吹干方法不合理入職培訓沒做好工件運輸方式錯誤導致電極劃傷試劑溶液有質量問題導致過刻蝕光刻膠質量問題導致掩膠零落氣壓軸偏離導致粘膠掩模板損傷導致電極損傷溫濕度不平衡導致電極零落治具不干凈導致電極污染壓緊面板過硬導致曝光不均圖3未按照規(guī)范作業(yè)指點作業(yè)146.3要因確認序號可能的末端因素調(diào)查確認標準要求負責人完成時間1凈服穿戴不整齊1，回放2013年2-3月間的通道錄像，是否在進入車間時已經(jīng)穿戴整齊；

7、2，回放2013年2-3月間的車間錄像，員工是否穿著整潔，戴口罩，戴手套。進入車間錢穿戴整齊，進入工藝間工作時戴口罩和手套，人體裸露面積小于0.025于坤鵬2013年4月2日2入職培訓沒做好1，調(diào)查各相關站別員工入職培訓記錄和上崗前測評成績； 2，重新測評相關站別員工是否符合上崗條件。1，相關崗位人員入職前進行相關培訓并且測評成績合格； 2，實時測評成績合格于坤鵬2013年4月4日3未按照標準作業(yè)指導作業(yè)對照各站*站工藝指導書普查各工藝站工作過程。工藝契合度系數(shù)a=（工藝動作/工藝要求）90%張金剛2013年4月5日4貼膜機劃傷電極回查貼膜后檢查記錄，檢查貼膜機表面是否有破損污染等情況。記錄達

8、到98%面積電極合格，貼膜機表面無任何磨損和污染芮雅強2013年4月5日5勻膠臺轉速異常導致膠膜不均測試勻膠太轉速是否按照工藝要求逐步穩(wěn)定在特定值上。電機啟動后5秒內(nèi)達到4000轉/分鐘，持續(xù)4000轉/分鐘50秒，最后5秒內(nèi)降至0轉/秒崔娜2013年4月6日15序號可能的末端因素調(diào)查確認標準要求負責人完成時間6掩模板損傷導致電極損傷檢查掩模板在10倍顯微鏡視場下有多少缺陷10倍顯微鏡，每個視場下總電極缺陷個數(shù)平均小于2個崔娜2013年4月7日7壓緊面板過硬導致曝光不均勻保證工件不被壓斷的情況下將托盤最大限度與工件壓緊，觀察工件與光刻板之間是否有縫隙沒有任何縫隙白春玲2013年4月8日8氣壓軸

9、偏離導致粘膠測試氣壓軸八個固定端子是否平齊八個端子高度差小于0.02毫米白春玲2013年4月9日9光刻膠質量問題導致掩膠脫落抽取現(xiàn)場光刻膠樣本，去相關部門檢驗粘度=30mPa*s謝寶紅2013年4月11日10顯影液問題導致顯影不完全用現(xiàn)場顯影液制備若干硅片試驗片，統(tǒng)計不良單片不良顆粒數(shù)小于1000顆于坤鵬2013年4月11日11工件運輸方式錯誤導致工件電極劃傷檢查工件在傳輸過程中的載體，看是否有對電極接觸性的劃傷無劃傷李家征2013年4月12日16序號可能的末端因素調(diào)查確認標準要求負責人完成時間6掩模板損傷導致電極損傷檢查掩模板在10倍顯微鏡視場下有多少缺陷10倍顯微鏡，每個視場下總電極缺陷個

10、數(shù)平均小于2個崔娜2013年4月7日12吹干方法不合理導致電極變黑檢查吹干工藝，看是否有些操作步驟會損傷到工件或吹干過程中有污染殘留損傷僅限于定位端電極損傷小于500顆，無任何污染殘留崔美筠2013年4月12日13取放片方法有問題檢查取片時是否損傷電極或污染電極無損傷，無污染李家征2013年4月13日14鏡檢造成電極不良及損失檢查鏡檢操作有無對電極的劃傷和損失無劃傷，無損失謝寶紅2013年4月14日15治具不干凈導致電極污染檢查現(xiàn)場所有在用和備用治具，干凈無污染張茜2013年4月15日16溫濕度不均衡導致電極脫落調(diào)用2013年2-3月溫濕度記錄，檢查是否均符合溫濕度標準溫度223，相對濕度30

11、%-70%于坤鵬2013年4月16日17要因確認一凈服穿戴不整齊調(diào)用進廠攝像掃描記錄，檢查凈服、防塵鞋、人體裸露面積、口罩、手套能否到達進廠區(qū)規(guī)范，不符合規(guī)范的能否有ALARM,假設有ALARM能否及時制止并處置為OK。圖表顯示監(jiān)控嚴密全部凈服穿戴整潔18要因確認二入職培訓沒做好根本素質挑選進廠教育方向性崗位培訓崗位分配頒發(fā)上崗資質上崗任務一級挑選經(jīng)過二級挑選經(jīng)過考試合格簡歷符合1，平安教育2，員工守那么3，質量觀念4，崗位認知5，職業(yè)安康1，勻膠站規(guī)范作業(yè)2，曝光站規(guī)范作業(yè)3，貼膜站規(guī)范作業(yè)4，鏡檢站規(guī)范作業(yè)全體員工具備上崗資歷測試項目最高成績最低成績勻膠10099曝光10097貼膜1009

12、8鏡檢1009819要因確認三未按照規(guī)范作業(yè)指點作業(yè)調(diào)查各工藝站任務過程與做對照按照工藝流程逐個簽字確認，與作業(yè)指點書要求契合度99.8%除員工操作手法有細微差別外，其他部分全部按照規(guī)范作業(yè)指點書來操作20要因確認四貼膜機劃傷電極回查貼膜后檢查記錄，檢查貼膜機外表能否有破損污染等情況。大部分工件都有較嚴重劃傷貼膜機外表鍍層較嚴重磨損缺貼膜機圖片要因21要因確認五勻膠臺轉速異常導致膠膜不均三個階段的參數(shù)均處于正常動搖形狀22要因確認六視場序列殘缺個數(shù)污染個數(shù)丟失個數(shù)開裂個數(shù)正常個數(shù)1587674246910713310867347281172555415716111046697123767287

13、698709481167110339976檢查掩模板缺陷掩模板28%缺陷要因23要因確認七壓緊面板過硬缺一個圖硬接觸導致兩個面板之間微小縫隙無法調(diào)平，從而發(fā)生了一側擠壓力過大導致的粘膠，粘膠使電極殘缺要因24要因確認八檢測氣壓軸能否偏離八個端子高度差低于0.02mm，表示氣壓軸沒有偏離，運轉良好氣壓軸任務原理是：采用八個端子之間的相互制約作用，到達微調(diào)氣壓軸程度的效果，八個端子間高度差小于0.02mm闡明程度良好，從而判別不會呵斥曝光粘膠等不良，保證電極完好。25要因確認九，十試劑質量問題導致光刻不良第三方機構出示的質量檢驗合格報告化學藥品試劑合格非要因26要因確認十一工件運輸方式錯誤導致劃傷

14、缺單個外延劃傷圖劃傷面積到達了5.7%要因27要因確認十二吹干方法問題導致電極變黑手動氮氣吹干28要因確認二入職培訓沒做好29要因確認二入職培訓沒做好30要因確認二入職培訓沒做好31要因確認二入職培訓沒做好32七、活動方案活動步驟項目負責人活動時間參加人員8月9月10月11月P數(shù)據(jù)收集a全員要因分析bb把握重要要因c全員對策思考d全員D對策實施eeC效果確認ffA標準化和管理的固化g全員成果評價h全員反省及今后計劃i全員制定方案常用的QC工具： 調(diào)查表 簡易圖表 系統(tǒng)圖 矩陣圖 PDPC法 矢線圖 優(yōu)選法 正交實驗法33八、方案實施序號要因措施目標責任人完成日期1234 對即將采取的對策與措施

15、從可行性、經(jīng)濟性、效益性等方面進展嚴厲評價與挑選，以確定最正確實施方案、實施周期和相對應擔任人34八、方案實施措施實施1措施實施2 實施過程中如出現(xiàn)殘留問題或出現(xiàn)的新問題，要重新進展要因分析制定對策并實施按PDCA循環(huán)35九、效果確認改善后數(shù)據(jù)搜集效果確認常用的QC工具： 調(diào)查表 簡易圖表 陳列圖 直方圖 控制圖 分布圖采取了一系列的措施之后，經(jīng)過圖表、數(shù)據(jù)的統(tǒng)計，一目了然。36九、效果確認改善目的的達成情況改善前改善后 闡明： 經(jīng)過圖表的運用，改善前后的情況一目了然。37九、效果確認有形效果改善前/后比較38九、效果確認無形效果改善前/后比較評 價自我評價顧問評價著眼點前后前后員工士氣手法運用熟練改善能力提升品質意識提升積極性團隊協(xié)調(diào)性合 計確 認每一項總分值為5分39十、規(guī)范化問題點原有標準新