多晶硅生產(chǎn)工藝流程資料(共38頁(yè))

1、多晶硅生產(chǎn)(shngchn)工藝流程(簡(jiǎn)介(jin ji)-來自于網(wǎng)絡(luò)(wnglu)收集多晶硅生產(chǎn)工藝流程,多晶硅最主要的工藝包括，三氯氫硅合成、四氯化硅的熱氫化（有的采用氯氫化），精餾，還原，尾氣回收，還有一些小的主項(xiàng)，制氫、氯化氫合成、廢氣廢液的處理、硅棒的整理等等。主要反應(yīng)包括：Si+HCl-SiHCl3+H2（三氯氫硅合成）;SiCl4+H2-SiHCl3+HCl（熱氫化）;SiHCl3+H2-SiCl4+HCl+Si（還原）多晶硅是由硅純度較低的冶金級(jí)硅提煉而來，由于各多晶硅生產(chǎn)工廠所用主輔原料不盡相同，因此生產(chǎn)工藝技術(shù)不同；進(jìn)而對(duì)應(yīng)的多晶硅產(chǎn)品技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)、產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)、用途、產(chǎn)品

2、檢測(cè)方法、過程安全等方面也存在差異，各有技術(shù)特點(diǎn)和技術(shù)秘密，總的來說，目前國(guó)際上多晶硅生產(chǎn)主要的傳統(tǒng)工藝有：改良西門子法、硅烷法和流化床法。改良西門子法是目前主流的生產(chǎn)方法，采用此方法生產(chǎn)的多晶硅約占多晶硅全球總產(chǎn)量的85。但這種提煉技術(shù)的核心工藝僅僅掌握在美、德、日等7家主要硅料廠商手中。這些公司的產(chǎn)品占全球多晶硅總產(chǎn)量的90%，它們形成的企業(yè)聯(lián)盟實(shí)行技術(shù)封鎖，嚴(yán)禁技術(shù)轉(zhuǎn)讓。短期內(nèi)產(chǎn)業(yè)化技術(shù)壟斷封鎖的局面不會(huì)改變。西門子改良法生產(chǎn)工藝如下：這種方法的優(yōu)點(diǎn)是節(jié)能降耗顯著、成本低、質(zhì)量好、采用綜合利用技術(shù)，對(duì)環(huán)境不產(chǎn)生污染，具有明顯的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。改良西門子工藝法生產(chǎn)多晶硅所用設(shè)備主要有：氯化氫合成

3、爐，三氯氫硅沸騰床加壓合成爐，三氯氫硅水解凝膠處理系統(tǒng)，三氯氫硅粗餾、精餾塔提純系統(tǒng)，硅芯爐，節(jié)電還原爐，磷檢爐，硅棒切斷機(jī)，腐蝕、清洗、干燥、包裝系統(tǒng)裝置，還原尾氣干法回收(hushu)裝置；其他包括分析、檢測(cè)儀器，控制儀表，熱能轉(zhuǎn)換站，壓縮空氣站，循環(huán)水站，變配電站，凈化廠房等。（1）石英砂在電弧爐中冶煉提純到98%并生成(shn chn)工業(yè)硅， 其化學(xué)反應(yīng)SiO2+CSi+CO2（2）為了滿足高純度的需要，必須進(jìn)一步提純。把工業(yè)硅粉碎(fn su)并用無水氯化氫(HCl)與之反應(yīng)在一個(gè)流化床反應(yīng)器中，生成擬溶解的三氯氫硅(SiHCl3)。 其化學(xué)反應(yīng)Si+HClSiHCl3+H2 反應(yīng)

4、溫度為300度，該反應(yīng)是放熱的。同時(shí)形成氣態(tài)混合物(2,1,Si13,SiC14,Si)。（3）第二步驟中產(chǎn)生的氣態(tài)混合物還需要進(jìn)一步提純，需要分解:過濾硅粉，冷凝Si13,SiC14，而氣態(tài)2,1返回到反應(yīng)中或排放到大氣中。然后分解冷凝物Si13,SiC14，凈化三氯氫硅（多級(jí)精餾）。（4）凈化后的三氯氫硅采用高溫(gown)還原工藝，以高純的SiHCl3在H2氣氛中還原沉積而生成多晶硅。 其化學(xué)反應(yīng)SiHCl3+H2Si+HCl。多晶硅的反應(yīng)容器為密封(mfng)的，用電加熱硅池硅棒（直徑5-10毫米(ho m)，長(zhǎng)度1.5-2米，數(shù)量80根），在1050-1100度在棒上生長(zhǎng)多晶硅，直徑

5、可達(dá)到150-200毫米。這樣大約三分之一的三氯氫硅發(fā)生反應(yīng)，并生成多晶硅。剩余部分同2,1,Si13,SiC14從反應(yīng)容器中分離。這些混合物進(jìn)行低溫分離，或再利用，或返回到整個(gè)反應(yīng)中。氣態(tài)混合物的分離是復(fù)雜的、耗能量大的，從某種程度上決定了多晶硅的成本和該3工藝的競(jìng)爭(zhēng)力我國(guó)多晶硅生產(chǎn)(shngchn)現(xiàn)狀與發(fā)展(fzhn)一、概述(i sh)世界正從工業(yè)社會(huì)向信息社會(huì)過渡， 信息技術(shù)已成為促進(jìn)社會(huì)發(fā)展和進(jìn)步的關(guān)鍵技術(shù)，信息化程度的高低已成為衡量一個(gè)國(guó)家現(xiàn)代化水平的標(biāo)志。微電子技術(shù)是信息技術(shù)的基礎(chǔ)和關(guān)鍵技術(shù)， 集成電路又是微電子技術(shù)的核心， 一代又一代更為優(yōu)秀的集成電路的出現(xiàn)， 推進(jìn)著全球經(jīng)濟(jì)

6、一體化的進(jìn)程，而半導(dǎo)體硅材料則是集成電路最重要的、不可替代的基礎(chǔ)功能材料， 多晶硅則是集成電路大廈的“基石” 或“糧食”。二、多晶硅生產(chǎn)現(xiàn)狀1、我國(guó)多晶硅生產(chǎn)現(xiàn)狀我國(guó)多晶硅工業(yè)起步于50年代，60年代中期實(shí)現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)，70年代初曾一度盲目發(fā)展， 生產(chǎn)廠發(fā)展到20余家。生產(chǎn)工藝多采用傳統(tǒng)西門子法，由于技術(shù)水平低、生產(chǎn)規(guī)模小、產(chǎn)品質(zhì)量差、消耗指標(biāo)高 環(huán)境污染嚴(yán)重、生產(chǎn)成本逐年增加等原因， 多數(shù)生產(chǎn)廠難以維持生產(chǎn)而停產(chǎn)或倒閉， 生產(chǎn)能力急劇萎縮， 與當(dāng)今信息產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展和多晶硅的市場(chǎng)需求急驟增加極不協(xié)調(diào)。生產(chǎn)消耗和生產(chǎn)能力變化分別見表1和表2。由上表可知， 目前國(guó)內(nèi)多晶硅生產(chǎn)規(guī)模太小，產(chǎn)能不斷萎

7、縮， 廠家分散， 工藝技術(shù)落后， 裝置陳舊， 消耗高， 環(huán)境污染嚴(yán)重， 生產(chǎn)十分艱難，1999年只生產(chǎn)了46t， 僅占世界產(chǎn)量的04 ， 遠(yuǎn)不能滿足國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的需要。如不積極組建現(xiàn)代化的、符合經(jīng)濟(jì)規(guī)模的大多晶硅廠， 將制約我國(guó)生產(chǎn)符合集成電路和分離器件要求的高檔次的單晶硅和硅片。多晶硅對(duì)我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展至關(guān)重要。2、國(guó)外多晶硅生產(chǎn)現(xiàn)狀多晶硅生產(chǎn)主要集中在美、日、德三國(guó)， 世界市場(chǎng)由7家公司占有， 1 998年多晶硅產(chǎn)量為16200t，其中德山曹達(dá)、黑姆洛克、瓦克三家公司占產(chǎn)量的63 。見表23。目前生產(chǎn)的多晶硅能滿足集成電路及功率器件發(fā)展的技術(shù)要求， 用戶不經(jīng)腐蝕、清洗， 直接裝爐。多晶硅質(zhì)

8、量指標(biāo)好， 產(chǎn)品穩(wěn)定， 多晶硅N型電阻率都在1000Qcm以上。改良西門子法技術(shù)的完善與發(fā)展， 使原輔材料及能耗大為降低； 多晶硅生產(chǎn)的主要工序都應(yīng)用計(jì)算機(jī)控制、設(shè)備裝備水平較高。三、我國(guó)多晶硅市場(chǎng)需求1、多晶硅嚴(yán)重短缺在改革開放形勢(shì)下， 國(guó)內(nèi)市場(chǎng)是世界市場(chǎng)的一部分， 兩者有相同之處， 但也有差別。國(guó)內(nèi)集成電路的市場(chǎng)正是如此， 差別在于國(guó)內(nèi)集成電路市場(chǎng)需求增長(zhǎng)比國(guó)外更為迅速，1991年國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求量為65億塊， 1 996年增至678億塊， 五年間年平均增長(zhǎng)率達(dá)60， 1999年12 塊， 年平均增長(zhǎng)率21 。為適應(yīng)國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)的需要， 國(guó)內(nèi)單晶硅生產(chǎn)及市場(chǎng)銷售大幅度地增長(zhǎng)， 一改我國(guó)過去十幾年

9、來的徘徊局面， 單晶硅產(chǎn)量從1991年的609t增加到1999年的215t， 9年增加1541t， 年均增長(zhǎng)率達(dá)108 ， 與此相適應(yīng)， 多晶硅需求量大幅度地增表1 國(guó)內(nèi)多晶硅生產(chǎn)主要消耗對(duì)比項(xiàng) 目 單位 翻內(nèi)指標(biāo) 翻外指標(biāo)工,Jk硅粉 kg 56 11514氫氣 m3 4050 0612液氯 kg 2026 02138還原直接電耗 kW h 400500 12200表2 1983-1999年我國(guó)務(wù)晶硅生產(chǎn)能力項(xiàng)目名稱 1983年 1987年 1990年 1994年 1996年 1999生產(chǎn)廠家數(shù) 14 7 6 d d 2生產(chǎn)能力 144 1 1 2 1 05 90 1 00 60增長(zhǎng)率 -2

10、2 6 14 1 1 40加， 需求的缺口較大，1995年一1999年進(jìn)口多晶硅的數(shù)量已大大超過國(guó)內(nèi)生產(chǎn)量， 見表3。2、2005年及201 0年市場(chǎng)及預(yù)測(cè)為適應(yīng)國(guó)內(nèi)外單晶硅市場(chǎng)的需要， 近年來， 國(guó)內(nèi)廠家相繼擴(kuò)產(chǎn)或新建生產(chǎn)線， 有的正在實(shí)施中，單晶硅的生產(chǎn)能力和產(chǎn)量將會(huì)大幅度地增加， 但多晶硅供不應(yīng)求的局面仍將會(huì)持續(xù)下去。據(jù)專家預(yù)測(cè)，U2005年國(guó)內(nèi)多晶硅年需求量約756t，201 0年國(guó)內(nèi)多晶硅需求量1 302t， 有較大的市場(chǎng)發(fā)展空間。四、中國(guó)周邊她區(qū)多晶硅生產(chǎn)與需求1、日本多晶硅生產(chǎn)與需求全世界約有30家硅片制造公司， 生產(chǎn)集中在美、日、德、韓等國(guó)家， 其中76 的市場(chǎng)份額控制在5家跨

11、國(guó)公司手中。而日本的信越、住友、三菱、小松等公司的硅片市場(chǎng)占有率之和在45 以上。日本多晶硅的消費(fèi)量約占世界總產(chǎn)量的50 ， 除自產(chǎn)一部分外， 其余部分需從國(guó)外進(jìn)口。見表4。由表57 知， 日本每年需進(jìn)口多晶硅2200t以上， 最多進(jìn)口達(dá)4850ta， 每年進(jìn)口多晶硅量約占其用量的50 。2、亞太地區(qū)多晶硅供需現(xiàn)狀亞太地區(qū)包括韓國(guó)、馬來西亞、新加坡、印尼、中國(guó)的臺(tái)灣和香港， 生產(chǎn)硅片的廠家有PHC公司、Siltron公司、韓國(guó)電子公司、漢磊公司、Taisil公司、小松公司、三菱公司等等， 已具備64億平方英寸以上的硅片年生產(chǎn)能力， 每年需多晶硅2458t。根據(jù)各公司的擴(kuò)建計(jì)劃， 預(yù)計(jì)今后經(jīng)擴(kuò)建

12、后硅片生產(chǎn)能力將可能新增58億平方英寸， 這樣每年需多晶硅將達(dá)U4686t。該地區(qū)沒有多晶硅生產(chǎn)廠， 所需多晶硅全部依賴進(jìn)口。中國(guó)若有多晶硅出口， 將有良好的地理優(yōu)勢(shì)。3、國(guó)際市場(chǎng)需求與發(fā)展目前，全球多晶硅市場(chǎng)供大于求， 但隨著以計(jì)算機(jī)為核心、以網(wǎng)絡(luò)為傳輸媒體的網(wǎng)絡(luò)新經(jīng)濟(jì)時(shí)代來臨， 以及新型清潔太陽能的不斷發(fā)展， 世界半導(dǎo)體市場(chǎng)將以高速發(fā)展， 硅片需求旺盛。專家預(yù)測(cè)，多晶硅需求將以每年5 的速度增長(zhǎng)， 到2005年，多晶硅用量將達(dá)28600t， 目前年產(chǎn)22400t產(chǎn)能將滿足不了消費(fèi)要求。五、我國(guó)多晶硅技術(shù)發(fā)展1986年， 原中國(guó)有色金屬工業(yè)總公司和各級(jí)政府， 在積極引進(jìn)多晶硅生產(chǎn)技術(shù)的前提下

13、， 同時(shí)決定走自行研究開發(fā)多晶硅生產(chǎn)技術(shù)的道路， 組織北京有色冶金設(shè)計(jì)研究總院與峨嵋半導(dǎo)體材料廠共同研究開發(fā)。為了從根本上解決多晶硅生產(chǎn)中物耗高、能耗高、成本高、污染嚴(yán)重及難實(shí)現(xiàn)規(guī)模生產(chǎn)問題， 研究開發(fā)了“導(dǎo)熱油循環(huán)冷卻技術(shù)、大型節(jié)能還原爐、SiCI4氫化和還原尾氣干法回收”等4項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。1987年， 首先突破了導(dǎo)熱油循環(huán)冷卻技術(shù)，為開發(fā)大型節(jié)能還原爐創(chuàng)造了條件， 隨后多晶硅產(chǎn)品直徑 100mm的6對(duì)棒還原爐投產(chǎn)， 進(jìn)而導(dǎo)熱油循環(huán)冷卻技術(shù)與大型節(jié)能還原爐配套投產(chǎn)， 使多晶硅產(chǎn)品的能耗大幅度降低， 多晶硅還原生產(chǎn)中80一90 熱能可以得到回收。與此同時(shí)，SiCI 氫化工業(yè)性試驗(yàn)取得成功。199

14、6年， 在引進(jìn)技術(shù)條件過于苛刻， 多年努力難以實(shí)現(xiàn)的條件下， 國(guó)家計(jì)委及原中國(guó)有色金屬工業(yè)總公司支持， 由北京有色冶金設(shè)計(jì)研究總院與峨嵋半導(dǎo)體材料廠合作，用已取得的多晶硅生產(chǎn)技術(shù)成果， 利用峨嵋半導(dǎo)體材料廠現(xiàn)有條件， 建成一條1OOVa規(guī)模的多晶硅工業(yè)性生產(chǎn)示范線， 形成完整的改良西門子工藝系統(tǒng)。主要工藝過程包括SilCl3合成、SiHCI 氫化、SiHCI3提純、SiHCl3還原、多晶硅后處理、還原爐尾氣干法回收等， 其特點(diǎn)為閉路循環(huán)系統(tǒng)， 全部回收各環(huán)節(jié)的尾氣， 全面解決了傳統(tǒng)西門子法生產(chǎn)多晶硅的過程中存在的物耗高、能耗高、環(huán)境污染嚴(yán)重等問題。核心技術(shù)有如下幾項(xiàng)：sich氫化SiCI 氫化

15、技術(shù)系統(tǒng)要求在較高溫度和壓力的條件下， 將SiCl 加H2轉(zhuǎn)化為SiHCI3， 由設(shè)計(jì)院設(shè)計(jì)反應(yīng)器，計(jì)算整個(gè)系統(tǒng)平衡，確定工藝條件，編寫操作規(guī)程， 指導(dǎo)施工試車， 最后實(shí)驗(yàn)得到在一定溫度和壓力條件下，SiCI 一次轉(zhuǎn)化率平均穩(wěn)定在25 以上。經(jīng)一年多的穩(wěn)定運(yùn)行， 證明系統(tǒng)是安全、可靠的， 系統(tǒng)指標(biāo)高于國(guó)外報(bào)導(dǎo)的一次轉(zhuǎn)化率最大1 5的水平， 國(guó)內(nèi)首次在1OOVa多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)中采用， 技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。還原爐尾氣干法回收多晶硅還原尾氣中的H2、HCI、SiHCI3、SiCI4等成分， 經(jīng)加壓、冷卻到一定的條件后， 其中的SiHCI3、SiCI 被冷凝分離出來， 該混合物經(jīng)分離塔后分別得到Si

16、HCI3DSiCI 。SiHCI3直接送還原系統(tǒng)生產(chǎn)多晶硅，SiCI4j_氫化工序， 經(jīng)氫化后轉(zhuǎn)化成Si-He 3， 再經(jīng)分離塔分離后得到SiHCI3， 也送還原工序生產(chǎn)多晶硅。壓縮、冷凝后的不凝氣體， 主要是H27DHCI， 在加壓低溫條件下， 通過特殊的分離工藝， 使H2、HC1分離出來， 無雜質(zhì)、無水分的純H ，返回還原工序重復(fù)利用， HCI送合成工序， 生產(chǎn)Si-HCI3。還原尾氣干法回收可使尾氣不接觸任何水份， 將其中的各種成份一一分開， 不受污染地返回系統(tǒng)重復(fù)利用。還原尾氣干法回收全部采用國(guó)產(chǎn)設(shè)備， 是我國(guó)自行研究、設(shè)計(jì)的首套投入運(yùn)行的尾氣干法回收裝置， 其運(yùn)行證明， 還原過程產(chǎn)生

17、的尾氣中各組分幾乎100 可以得到回收， 純H 消耗從傳統(tǒng)西門子工藝的35m3kg降至15m3kg以下， 分離出的H2、HCI、氯硅烷等產(chǎn)品質(zhì)量滿足多晶硅生產(chǎn)要求， 全部返回系統(tǒng)使用， 且系統(tǒng)能夠適應(yīng)多晶硅生產(chǎn)能力的變化。導(dǎo)熱油循環(huán)冷卻技術(shù)還原爐中高溫硅棒表面向爐壁輻射的熱， 由還原爐夾套循環(huán)的導(dǎo)熱油帶出來， 高溫?zé)嵊徒?jīng)不同途徑釋放熱能后，再回到還原爐夾套， 循環(huán)往復(fù)， 可回收還原過程80-90 以上的副產(chǎn)熱能，保證了硅棒產(chǎn)品直徑誤差不超過數(shù)毫米。由9對(duì)棒大直徑還原爐與導(dǎo)熱油循環(huán)冷卻技術(shù)構(gòu)成的系統(tǒng)，使多晶硅產(chǎn)品直接電耗由傳統(tǒng)西門子工藝的450kW h一500kW hkgSi降_250kW hk

18、gSi以下。大型節(jié)能還原爐9對(duì)棒大型節(jié)電還原爐生產(chǎn)多晶硅最大直徑可達(dá)巾1 1 5mm， 生產(chǎn)區(qū)熔用多晶棒直徑可控制在巾70mm80mm， 硅芯長(zhǎng)度15m， 單臺(tái)年產(chǎn)量分別為23t及1 5t，是國(guó)內(nèi)最大的還原爐， 填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白， 基本符合大規(guī)模生產(chǎn)的要求。以上技術(shù)， 于2000年元月通過國(guó)家有關(guān)部門組織的專家鑒定、驗(yàn)收。專家認(rèn)為， 1OOUa多晶硅實(shí)驗(yàn)示范線的建成， 標(biāo)志著我國(guó)擁有了多晶硅生產(chǎn)的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)， 建設(shè)千噸級(jí)多晶硅廠就擁有了主動(dòng)權(quán)， 從1O00Va多晶硅項(xiàng)目建設(shè)前期工作開始，直至項(xiàng)目投產(chǎn)、達(dá)產(chǎn)，都可根據(jù)我們自己的條件安排。由于知識(shí)產(chǎn)權(quán)為自己所有， 所以投資、效益、產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)能力等方面將

19、會(huì)有更大的優(yōu)勢(shì)。當(dāng)然，1O00Ua多晶硅的產(chǎn)業(yè)化， 不是1OOUa級(jí)簡(jiǎn)單翻10倍的關(guān)系， 有許多技術(shù)難題要進(jìn)一步突破，在系統(tǒng)平衡、設(shè)備選擇、試車、投產(chǎn)、計(jì)算機(jī)控制、網(wǎng)絡(luò)化管理、市場(chǎng)開拓等方面有大量細(xì)致的工作要做， 是更高層次的技術(shù)創(chuàng)新， 是科學(xué)技術(shù)轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)力的集中體現(xiàn)，需要設(shè)計(jì)研究院與業(yè)主在新的起點(diǎn)上共同攻關(guān)完成。經(jīng)過1OOta多晶硅的工業(yè)化試驗(yàn)研究， 我國(guó)已掌握改良西門子法多晶硅生產(chǎn)技術(shù)， 在此基礎(chǔ)上，如能局部引進(jìn)國(guó)外的先進(jìn)技術(shù)和設(shè)備， 合作或合資建設(shè)一條至兩條千噸級(jí)以上的多晶硅生產(chǎn)線， 滿足市場(chǎng)需求， 將為我國(guó)信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展打下良好的基礎(chǔ)，從根本上改變我國(guó)硅片生產(chǎn)用多晶硅原料長(zhǎng)期依賴于人

20、的局面。 ateanliew 發(fā)表于 2008-6-27 19:021，改良西門子法閉環(huán)式三氯氫硅氫還原法 改良西門子法是用氯和氫合成氯化氫，氯化氫和工業(yè)硅粉在一定的溫度下合成三氯氫硅，然后對(duì)三氯氫硅進(jìn)行分離精餾提純，提純后的三氯氫硅在氫還原爐內(nèi)進(jìn)行CVD反應(yīng)生產(chǎn)高純多晶硅。 國(guó)內(nèi)外現(xiàn)有的多晶硅廠絕大部分采用此法生產(chǎn)電子級(jí)與太陽能級(jí)多晶硅。 2，硅烷法硅烷熱分解法 硅烷是以四氯化硅氫化法、硅合金分解法、氫化物還原法、硅的直接氫化法等方法制取。然后將制得的硅烷氣提純后在熱分解爐生產(chǎn)純度較高的棒狀多晶硅。以前只有日本小松掌握此技術(shù)，由于發(fā)生過嚴(yán)重的爆炸事故后，沒有繼續(xù)擴(kuò)大生產(chǎn)。但美國(guó)Asimi和S

21、GS公司仍采用硅烷氣熱分解生產(chǎn)純度較高的電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品。 3，流化床法 以四氯化硅、氫氣、氯化氫和工業(yè)硅為原料在流化床內(nèi)高溫高壓下生成三氯氫硅，將三氯氫硅再進(jìn)一步歧化加氫反應(yīng)生成二氯二氫硅，繼而生成硅烷氣。 制得的硅烷氣通入加有小顆粒硅粉的流化床反應(yīng)爐內(nèi)進(jìn)行連續(xù)熱分解反應(yīng)，生成粒狀多晶硅產(chǎn)品。因?yàn)樵诹骰卜磻?yīng)爐內(nèi)參與反應(yīng)的硅表面積大，生產(chǎn)效率高，電耗低與成本低，適用于大規(guī)模生產(chǎn)太陽能級(jí)多晶硅。唯一的缺點(diǎn)是安全性差，危險(xiǎn)性大。其次是產(chǎn)品純度不高，但基本能滿足太陽能電池生產(chǎn)的使用。 此法是美國(guó)聯(lián)合碳化合物公司早年研究的工藝技術(shù)。目前世界上只有美國(guó)MEMC公司采用此法生產(chǎn)粒狀多晶硅。此法比較適合生

22、產(chǎn)價(jià)廉的太陽能級(jí)多晶硅。 4，太陽能級(jí)多晶硅新工藝技術(shù) 除了上述改良西門子法、硅烷熱分解法、流化床反應(yīng)爐法三種方法生產(chǎn)電子級(jí)與太陽能級(jí)多晶硅以外，還涌現(xiàn)出幾種專門生產(chǎn)太陽能級(jí)多晶硅新工藝技術(shù)。 1）冶金法生產(chǎn)太陽能級(jí)多晶硅 據(jù)資料報(bào)導(dǎo)日本川崎制鐵公司采用冶金法制得的多晶硅已在世界上最大的太陽能電池廠應(yīng)用，現(xiàn)已形成800噸/年的生產(chǎn)能力，全量供給SHARP公司。 主要工藝是：選擇純度較好的工業(yè)硅進(jìn)行水平區(qū)熔單向凝固成硅錠，去除硅錠中金屬雜質(zhì)聚集的部分和外表部分后，進(jìn)行粗粉碎與清洗，在等離子體融解爐中去除硼雜質(zhì)，再進(jìn)行第二次水平區(qū)熔單向凝固成硅錠，去除第二次區(qū)熔硅錠中金屬雜質(zhì)聚集的部分和外表部分，

23、經(jīng)粗粉碎與清洗后，在電子束融解爐中去除磷和碳雜質(zhì)，直接生成太陽能級(jí)多晶硅。 2）氣液沉積法生產(chǎn)粒狀太陽能級(jí)多晶硅 據(jù)資料報(bào)導(dǎo)以日本Tokuyama公司為代表，目前10噸試驗(yàn)線在運(yùn)行，200噸半商業(yè)化規(guī)模生產(chǎn)線在2005-2006年間投入試運(yùn)行。 主要工藝是：將反應(yīng)器中的石墨管的溫度升高到1500，流體三氯氫硅和氫氣從石墨管的上部注入，在石墨管內(nèi)壁1500高溫處反應(yīng)生成液體狀硅，然后滴入底部，溫度回升變成固體粒狀的太陽能級(jí)多晶硅。 3）重?fù)焦鑿U料提純法生產(chǎn)太陽能級(jí)多晶硅 據(jù)美國(guó)Crystal Systems資料報(bào)導(dǎo)，美國(guó)通過對(duì)重?fù)絾尉Ч枭a(chǎn)過程中產(chǎn)生的硅廢料提純后，可以用作太陽能電池生產(chǎn)用的多晶

24、硅，最終成本價(jià)可望控制在20美元/Kg以下。這里對(duì)幾家國(guó)內(nèi)多晶硅廠和國(guó)外多晶硅廠的設(shè)備技術(shù)做些比較.新光核心技術(shù)是俄羅斯技術(shù),也就是改良西門子技術(shù)同時(shí)還有德國(guó)設(shè)備已經(jīng)取得較大程度的磨合.今年估計(jì)產(chǎn)能300噸.估計(jì)實(shí)際產(chǎn)能會(huì)小于此數(shù).明年預(yù)估800-1000噸洛陽中硅核心技術(shù)也是俄羅斯技術(shù),今年也是300噸,明年預(yù)估1000噸.峨眉半導(dǎo)體核心技術(shù)也是俄羅斯技術(shù)今年200噸.LDK 首先從德國(guó)sunways 買來了兩套現(xiàn)成的 sime 設(shè)備, 包括所有的附件. sunways 幫助安裝,和調(diào)試生產(chǎn). 這兩套設(shè)備年產(chǎn)量1000噸. 按照合同, 今年第四季度兩套設(shè)備會(huì)送到江西. . 明年6月份投產(chǎn).

25、作為回報(bào), LDK 在10 年內(nèi)賣1GW 的wafer 給sunways.這是個(gè)很好的交易, 等于 sunways 幫LDK 培育生產(chǎn)硅料的人才.另外, LDK 還從 美國(guó)GT solar 買新的生產(chǎn)硅料的設(shè)備, 建成后, 2008 年有6000噸的規(guī)模, 2009 年有15000噸的規(guī)模. 整個(gè)施工有美國(guó)Fluor 設(shè)計(jì). Fluor的實(shí)力 強(qiáng)大無比, 只要它還在, 成功的可能性也很大.LDK了解的比較深就多寫些.揚(yáng)州順大引進(jìn)國(guó)外技術(shù),計(jì)劃明年量產(chǎn)6000噸青海亞洲硅業(yè)引進(jìn)國(guó)外技術(shù),計(jì)劃明年量產(chǎn)1000噸同時(shí)STP和亞洲硅業(yè)簽了長(zhǎng)單協(xié)議明年下半年開始供貨其他的就不說了都沒什么可能性.現(xiàn)在說國(guó)

26、外的HEMLOCK.主要工藝是西門子法.2008年實(shí)現(xiàn)以三氯氫硅,二氯二氫硅.硅烷為原料,流化床反應(yīng)器的多晶硅生產(chǎn)新技術(shù).明年增加3000噸產(chǎn)能達(dá)到12000噸.TOKUYAMA二氯二氫硅+工業(yè)硅西門子工藝明年產(chǎn)能6000噸.WACKER二氯二氫硅+工業(yè)硅西門子工藝明年產(chǎn)能9000噸.MEMC流化床工藝明年產(chǎn)能8000噸REC西門子工藝明年產(chǎn)能7000噸國(guó)外多晶硅生產(chǎn)技術(shù)發(fā)展的特點(diǎn)： 1）研發(fā)的新工藝技術(shù)幾乎全是以滿足太陽能光伏硅電池行業(yè)所需要的太陽能級(jí)多晶硅。 2）研發(fā)的新工藝技術(shù)主要集中體現(xiàn)在多晶硅生成反應(yīng)器裝置上，多晶硅生成反應(yīng)器是復(fù)雜的多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)中的一個(gè)提高產(chǎn)能、降低能耗的關(guān)鍵裝置

27、。 3）研發(fā)的流化床反應(yīng)器粒狀多晶硅生成的工藝技術(shù)，將是生產(chǎn)太陽能級(jí)多晶硅首選的工藝技術(shù)。其次是研發(fā)的石墨管狀爐反應(yīng)器，也是降低多晶硅生產(chǎn)電耗，實(shí)現(xiàn)連續(xù)性大規(guī)?；a(chǎn)，提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本的新工藝技術(shù)。 4）流化床反應(yīng)器和石墨管狀爐反應(yīng)器，生成粒狀多晶硅的硅原料可以用硅烷、二氯二氫硅或是三氯氫硅。 5）在2005年前多晶硅擴(kuò)產(chǎn)中100%都采用改良西門子工藝。在2005年后多晶硅擴(kuò)產(chǎn)中除Elkem外，基本上仍采用改良西門子工藝。通過以上分析可以看出，目前多晶硅主要的新增需求來自于太陽能光伏產(chǎn)業(yè)，國(guó)際上已經(jīng)形成開發(fā)低成本、低能耗的太陽能級(jí)多晶硅生產(chǎn)新工藝技術(shù)的熱潮，并趨向于把生產(chǎn)低純度的太陽

28、能級(jí)多晶硅工藝和生產(chǎn)高純度電子級(jí)多晶硅工藝區(qū)分開來，以降低太陽能級(jí)多晶硅生產(chǎn)成本，從而降低太陽能電池制造成本，促進(jìn)太陽能光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，普及太陽能的利用，無疑是一個(gè)重要的技術(shù)決策方向。2，國(guó)內(nèi)多晶硅技術(shù)發(fā)趨勢(shì) 目前國(guó)內(nèi)的幾家多晶硅生產(chǎn)單位的擴(kuò)產(chǎn)，都是采用改良西門子工藝技術(shù)。還沒見到新的工藝技術(shù)有所突破的報(bào)導(dǎo)。在“高耗能和高成本(chngbn)”兩大罪狀之下，如何(rh)破解國(guó)內(nèi)多晶硅產(chǎn)業(yè)過熱的政策調(diào)控魔咒？在日前召開的“2009國(guó)際多晶硅及光伏產(chǎn)業(yè)(淮南)峰會(huì)”上，改良西門子法這一國(guó)際主流多晶硅制造工藝成為與會(huì)代表的眾矢之的。會(huì)議的背景正是9月底國(guó)務(wù)院發(fā)布的38號(hào)文(關(guān)于抑制 部分行業(yè)產(chǎn)能過剩

29、和重復(fù)建設(shè)引導(dǎo)(yndo)產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展的若干意見)，除了將多晶硅制造劃入高耗能和高污染的“黑名單”外，38號(hào)文還對(duì)國(guó)內(nèi)多晶硅制造從生產(chǎn)規(guī)模和用地規(guī)模作出了規(guī)定。這一紙限令，讓采用硅烷法、冶金法等工藝制備多晶硅的企業(yè)看到了重新改寫市場(chǎng)格局的機(jī)會(huì)。而此前，改良西門子法壟斷多晶硅制造市場(chǎng)已經(jīng)多年，市場(chǎng)占有率高達(dá)80%。這一次，是不是又只是(zhsh)一次叫板？改良西門子法：罪魁禍?zhǔn)?zu ku hu shu)還是冤大頭？一波未平，一波又起。由于西方金融危機(jī)的影響，多晶硅價(jià)格在2008年到2009年間經(jīng)歷了戲劇性的價(jià)格變化：2008年年初，多晶硅曾高達(dá)500美元/公斤(n jn)，而到 2009年初時(shí)

30、，已經(jīng)跌至80美元/公斤。9月底，38號(hào)文的出臺(tái)再次將處于行業(yè)低谷的國(guó)內(nèi)多晶硅制造企業(yè)置于“高能耗”、“高污染”的聲討之中?！拔覈?guó)的光伏產(chǎn)業(yè)剛剛起步，而現(xiàn)在國(guó)內(nèi)很多多晶硅項(xiàng)目技術(shù)不是很先進(jìn)，很多制造工藝是在低水平的競(jìng)爭(zhēng)，政府希望提高多晶硅制造行業(yè)的門檻，限制無序高能耗、低技術(shù)水平的重復(fù)建設(shè)，同時(shí)促進(jìn)新技術(shù)的研究和發(fā)展?！敝袊?guó)化工信息副總工程師程長(zhǎng)進(jìn)如是對(duì)筆者解讀38號(hào)文。中國(guó)工程院院士聞立時(shí)則指出，國(guó)內(nèi)部分企業(yè)應(yīng)用一些老的技術(shù)進(jìn)行多晶硅制造時(shí)，除了耗電量十分巨大外，每提純一噸多晶硅就會(huì)有八噸以上的四氯化硅副產(chǎn)品產(chǎn)出，以及三氯氫硅、氯氣等廢液廢氣排出，是高能耗和高污染的始作俑者。而他所指的“老技

31、術(shù)”，正是國(guó)內(nèi)目前應(yīng)用最為廣泛的改良西門子法。多晶硅的制備工藝過程是硅原料的提純過程，是將2N(一個(gè)N即表示一個(gè)9，2N即表示99%)的工業(yè)硅提純到711N的高純硅工藝過程。這是一個(gè)能耗較高的產(chǎn)業(yè)，平均每噸多晶硅的電耗在20萬千瓦時(shí)以上，提純一噸多晶硅，投資高達(dá)70100萬元人民幣。在多晶硅制造的技術(shù)方面，多種生產(chǎn)工藝路線并存。主要有改良西門子法、硅烷法和冶金法。而國(guó)內(nèi)應(yīng)用最為廣泛的技術(shù)是改良西門子法，約占在建和已運(yùn)行多晶硅項(xiàng)目的80%，產(chǎn)能達(dá)到近10萬噸?！艾F(xiàn)在對(duì)于改良西門子法的爭(zhēng)論很大，我認(rèn)為焦點(diǎn)不在于產(chǎn)能大小，關(guān)鍵在能耗和成本。如今歐洲和其他國(guó)家的多晶硅市場(chǎng)正在逐步回暖，需求也會(huì)逐漸回升

32、，如果能耗和成本能降下來，10萬噸也不一定夠用?！甭劻r(shí)解釋，國(guó)外大型企業(yè)使用改良西門子法的綜合能耗在150度/千克左右，國(guó)內(nèi)在 250300度/千克之間，有的甚至達(dá)到400度/千克。而國(guó)內(nèi)的成本也在60美元/千克左右，是國(guó)際大廠生產(chǎn)成本的兩倍。“政府對(duì)于多晶硅的排放和單位能耗進(jìn)行限制(xinzh)是十分正確的，但是高污染高能耗兩頂帽子只能扣在目前的改良西門子法一種工藝的頭上?！庇写碇毖浴Ｃ鎸?duì)這樣的集體發(fā)難，四川永祥多晶硅有限公司副總經(jīng)理易正義則并不同意?！皩?duì)于改良西門子法生產(chǎn)多晶硅高污染高能耗的說法我持保留意見，國(guó)內(nèi)在 2005年之后實(shí)現(xiàn)閉路循環(huán)生產(chǎn)后，基本沒有(mi yu)污染了，生產(chǎn)過

33、程中不可避免的廢氣排放跟一些化工公司相比也根本就不算什么?！痹谒磥恚牧嘉鏖T子法是如今國(guó)際和國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的主流多晶硅制造應(yīng)用工藝，2010年仍會(huì)有70%80%的占有率。據(jù)筆者了解，改良西門子法的閉路循環(huán)生產(chǎn)(shngchn)系統(tǒng)適合于建成年產(chǎn)3000噸以上的大型多晶硅工廠，而要建立起這樣的生產(chǎn)流程需要大量的資金以及較高的技術(shù)要求，目前國(guó)內(nèi)能掌握此項(xiàng)技術(shù)的生產(chǎn)企業(yè)并不多。聞立時(shí)院士認(rèn)為，改良西門子法在國(guó)內(nèi)多晶硅制造領(lǐng)域的壟斷地位將會(huì)很快發(fā)生改變?！斑@種制作工藝封閉且保守，如今流化床法、冶金法等能耗低和成本低的優(yōu)勢(shì)已經(jīng)漸漸顯現(xiàn)?！毙鹿に嚦脛?shì)出擊根據(jù)38號(hào)文要求，未來新建多晶硅項(xiàng)目太陽能級(jí)多晶硅還原電

34、耗要小于60度/千克，而作為目前最先進(jìn)的工藝，改良西門子法也不到這個(gè)水平，這意味著國(guó)家今后將不會(huì)再審批此類多晶硅項(xiàng)目，新一代低成本多晶硅工藝技術(shù)的研究也開始空前活躍。跟冶金法比較而言，硅烷法、流化床法等都在降低能耗和成本上有較大優(yōu)勢(shì)。據(jù)筆者了解，冶金法的成本優(yōu)勢(shì)最為明顯，每公斤1020美元是目前所知最低的生產(chǎn)成本，其綜合電耗能控制在50度/千克，不過其弱勢(shì)也比較明顯：物理的冶金法難以保證多晶硅的純度以及穩(wěn)定性。“冶金法多晶硅產(chǎn)業(yè)目標(biāo)是在三年內(nèi)實(shí)現(xiàn)大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化?！鄙虾Ｆ樟_新能源有限公司總裁史對(duì)筆者介紹，電池轉(zhuǎn)化效率從10%上升到15%，改良西門子法用了6年時(shí)間，而冶金法只用了兩年時(shí)間，并有希望在

35、2010年達(dá)到改良西門子法制備多晶硅電池的轉(zhuǎn)化率。面對(duì)冶金法制造多晶硅目前大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化還存在純度不夠等問題，史強(qiáng)調(diào)，太陽能所需多晶硅純度只要求6N左右，7N以上多晶硅反而無法用來直接作太陽能電池，還需摻入硼或磷來降低純度?！爸苯由a(chǎn)6N太陽能多晶硅工藝開始被人們所探索，而冶金法制備多晶硅純度在46N，是目前規(guī)?；a(chǎn)前景最好的新工藝之一?！蓖瑫r(shí)希望進(jìn)入這一領(lǐng)域的，還有湖北武大有機(jī)硅新材料(cilio)股份有限公司推出的以烷氧基硅烷為基礎(chǔ)的多晶硅制造體系。據(jù)該公司總經(jīng)理廖俊介紹，該工業(yè)體系是在綜合了眾多制備多晶硅的技術(shù)路線的基礎(chǔ)上提出的新體系，相對(duì)于改良西門子法，降耗達(dá)60%80%，綜合后的最后

36、成本低于20美元/公斤。不過廖俊也表示(biosh)，該體系如果要產(chǎn)業(yè)化估計(jì)還要等3年以上?！澳壳斑€都在單打獨(dú)斗，希望與下游有經(jīng)驗(yàn)的企業(yè)合作來加快工業(yè)化進(jìn)程?！惫萝妸^戰(zhàn)的不止這一個(gè)。據(jù)了解，冶金法制備多晶硅雖然在今年9月已經(jīng)在廈門成立了冶金法太陽能多晶硅產(chǎn)業(yè)(chny)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟，但目前已建和在建的多晶硅項(xiàng)目在整個(gè)市場(chǎng)占有率仍然是個(gè)位數(shù)。也有業(yè)內(nèi)人士發(fā)出呼吁，國(guó)內(nèi)各多晶硅制造企業(yè)應(yīng)該成立一個(gè)統(tǒng)一的多晶硅戰(zhàn)略聯(lián)盟?！芭c其相互為敵互相指證，不如聯(lián)合起來解決問題，為行業(yè)問題尋求政策支持，促進(jìn)光伏產(chǎn)業(yè)上下游的整合與合作。”據(jù)專家介紹，未來對(duì)光伏用多晶硅的質(zhì)量要求會(huì)更高，多晶硅的暴利時(shí)代也一去不復(fù)

37、返，行業(yè)應(yīng)該尋求理性回歸，并期待光伏發(fā)電補(bǔ)貼政策具體細(xì)則推出和實(shí)施。中國(guó)可再生能源學(xué)會(huì)常務(wù)理事長(zhǎng)馬學(xué)祿對(duì)筆者透露，光伏發(fā)電上網(wǎng)電價(jià)方面已經(jīng)有基本方案了，在1.11.2元之間，“這個(gè)價(jià)格在資源條件優(yōu)良和成本控制能力比較強(qiáng)的光伏企業(yè)來說是可行的，但對(duì)于上游產(chǎn)業(yè)的成本控制將是一個(gè)新的考驗(yàn)?！瘪R學(xué)祿說。物料代號(hào)(diho)說明：DCS-SiH2Cl2 二氯二氫硅/二氯硅烷STC-SiCl4TCS-SiHCl3工程承包(chngbo)方式：EPC(Engineer Procure Construct)、EP、PC、PMC(Project Management Consultant)國(guó)內(nèi)能夠從事多晶硅項(xiàng)目

38、設(shè)計(jì)(shj)的公司：華陸-西安-原化工部第六設(shè)計(jì)院天辰-北京-原化工部第一設(shè)計(jì)院成達(dá)-成都-原化工部第八設(shè)計(jì)院南化Fluro-美國(guó)福陸公司涉足多晶硅生產(chǎn)的十大上市公司（網(wǎng)摘） ( HYPERLINK /900198-1/%20%20http:/countgutxad.php?site=/180002-1/48450412_48450412.htm t _blank 中國(guó)連續(xù)五個(gè)月減持美國(guó)國(guó)債) HYPERLINK /countgutxad.php?site=/news/jiaoyi.htm t _blank 今日操盤必讀四大熱點(diǎn) HYPERLINK /countgutxad.php?site

39、=/hot_stock/default.aspx t _blank 實(shí)力機(jī)構(gòu)評(píng)級(jí) 牛股值得關(guān)注 HYPERLINK /countgutxad.php?site=/board/900259/ t _blank 釋放你心中的怨氣“打爆”它的頭一、有關(guān)多晶硅的基本概述隨著國(guó)際原油價(jià)格的不斷上漲、無錫尚德在美國(guó)上市讓施正榮一度成為中國(guó)首富的財(cái)富故事的流傳、以及我國(guó)可再生能源法的頒布并將發(fā)展新能源和可再生能源提高到了未來經(jīng)濟(jì)發(fā)展的戰(zhàn)略高度，多晶硅概念目前已在國(guó)內(nèi)資本市場(chǎng)上引起了越來越多的關(guān)注。自上世紀(jì)50年代第一個(gè)實(shí)用性的硅太陽電池在美國(guó)貝爾實(shí)驗(yàn)室內(nèi)誕生(不久，它即被用于人造衛(wèi)星的發(fā)電系統(tǒng)上)，太陽能光

40、伏技術(shù)已歷經(jīng)了半個(gè)多世紀(jì)。據(jù)統(tǒng)計(jì)，2001-2006年，全球太陽能電池產(chǎn)量從386mw增至2500.3mw，增長(zhǎng)了5.48倍，年均增長(zhǎng)45%左右，已經(jīng)成為一個(gè)快速發(fā)展的新產(chǎn)業(yè)。有專家預(yù)測(cè)太陽能光伏產(chǎn)業(yè)在二十一世紀(jì)前半期，將超過核電成為最重要的基礎(chǔ)能源之一。我國(guó)的光伏產(chǎn)業(yè)目前雖然還沒有太多的上游原料的產(chǎn)出，其產(chǎn)業(yè)規(guī)模也還小，但是其太陽能電池的產(chǎn)量卻超越了美國(guó)，僅排在日本、德國(guó)之后，而且還誕生了像無錫尚德這樣的世界級(jí)光伏企業(yè)。在我國(guó)萬平方公里土地上，有三分之二的地區(qū)年日照時(shí)間在小時(shí)以上，因此具有豐富的陽光資源和發(fā)展光伏產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)前景。光伏產(chǎn)業(yè)最重要的晶體硅材料包括了多晶硅和單晶硅，其市場(chǎng)占有率在9

41、0%以上，而且在今后相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)期內(nèi)也依然是太陽能電池的主流材料。要生產(chǎn)出太陽能電池，首先要用硅原料生產(chǎn)出硅片，再用硅片生產(chǎn)出電池片，最后用電池片生產(chǎn)出電池組，從而形成一個(gè)完整的產(chǎn)業(yè)鏈。目前在晶體硅、硅片、太陽能電池、電池組件四個(gè)環(huán)節(jié)當(dāng)中，其前端環(huán)節(jié)的產(chǎn)能增速均落后于后面的環(huán)節(jié)，因此晶體硅供應(yīng)的不足已成為全球性的問題，但是下游企業(yè)的產(chǎn)能卻還在擴(kuò)大之中(該產(chǎn)業(yè)鏈狀況帶來的目前結(jié)果是，越往下游，其議價(jià)能力就越低，其毛利率就遞減)。由于國(guó)際上98%以上的光伏電池都是利用高純多晶體硅制成，因此近年來，由于光伏產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，多晶硅原材料已十分緊缺，其價(jià)格也持續(xù)上漲。據(jù)媒體報(bào)道，2006年，我國(guó)多晶硅產(chǎn)

42、量約為300噸，僅夠30mwp太陽能電池的生產(chǎn)需求，而2006年，我國(guó)光伏電池產(chǎn)量卻為369.5mwp，即90%以上的原材料需要依靠進(jìn)口；2007年全世界多晶硅總產(chǎn)能約3.1萬噸，但仍不能滿足迅速增長(zhǎng)的市場(chǎng)需求，其中半導(dǎo)體多晶硅的缺口達(dá)6000噸，太陽能多晶硅缺口達(dá)7000噸，并已導(dǎo)致全球多晶硅價(jià)格暴漲；近期多晶硅的銷售均價(jià)已從170萬元/噸、190萬元/噸上漲到270萬元/噸左右，其中優(yōu)質(zhì)硅料售價(jià)突破了300萬元/噸，即使品質(zhì)較差的硅料售價(jià)也超過了200萬元/噸，以此計(jì)算其毛利率已接近80%。一個(gè)1000噸左右的多晶硅生產(chǎn)線，如同一個(gè)中型的現(xiàn)代石化公司，投資大，技術(shù)要求也很高。世界多晶硅主要

43、生產(chǎn)企業(yè)有日本的tokuyama、三菱、住友公司、美國(guó)的hemlock、asimi、sgs、memc公司，德國(guó)的wacker公司等，其年產(chǎn)能絕大部分在1000噸以上，其中tokuyama、hemlock、wacker三個(gè)公司生產(chǎn)規(guī)模最大，年產(chǎn)能均在30005000噸。根據(jù)國(guó)泰君安研究報(bào)告，2006年至2010年，全球光伏產(chǎn)業(yè)復(fù)合增長(zhǎng)率在20%-22%；其中2007年全球光伏產(chǎn)業(yè)新增裝機(jī)數(shù)量為2000兆瓦至2200兆瓦，2008年為2500兆瓦至2800兆瓦。若按照每兆瓦需要9噸多晶硅計(jì)算，2008年全球需新增多晶硅產(chǎn)量2.2萬噸以上，才能滿足太陽能電池生產(chǎn)的需要。在目前呈金字塔式分布的光伏產(chǎn)業(yè)

44、鏈中，由于上游產(chǎn)品的高利潤(rùn)率，已經(jīng)吸引了具有實(shí)力的國(guó)內(nèi)企業(yè)正在積極地投入到多晶硅項(xiàng)目中去。但目前國(guó)內(nèi)能夠真正產(chǎn)出多晶硅的企業(yè)數(shù)量并不多，而且2007年產(chǎn)量也都只有兩三百噸，其中主要的生產(chǎn)企業(yè)是四川樂山的新光硅業(yè)、峨眉半導(dǎo)體、洛陽中硅和江蘇中能等，其他企業(yè)的多晶硅項(xiàng)目多數(shù)還處于在建或擬建的狀態(tài)之中。其中洛陽中硅2000噸多晶硅項(xiàng)目已在洛陽新區(qū)科技園奠基，計(jì)劃2008年建成投產(chǎn)。峨嵋半導(dǎo)體廠已經(jīng)定下了三年滾動(dòng)發(fā)展的規(guī)劃，即完善200噸/年多晶硅生產(chǎn)線技術(shù)工藝系統(tǒng)；抓緊建設(shè)31500噸/年多晶硅生產(chǎn)線；規(guī)劃萬噸級(jí)多晶硅項(xiàng)目建設(shè)。由于該兩個(gè)企業(yè)具有一定的技術(shù)優(yōu)勢(shì)及行業(yè)地位，因此近兩年之內(nèi)，這兩家企業(yè)可

45、能會(huì)繼續(xù)主導(dǎo)我國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)的上游市場(chǎng)(多晶硅市場(chǎng))。多晶硅生產(chǎn)提純技術(shù)門檻高、投資大，且主流技術(shù)長(zhǎng)期以來掌握在美、日、德3國(guó)7個(gè)公司的10家工廠手中。事實(shí)上，多晶硅的上游原材料石英砂在我國(guó)并不缺乏，不少海外的多晶硅公司都是從中國(guó)直接采購(gòu)。我國(guó)每年都從石英石中提取大量98純度的工業(yè)硅，并以較低的價(jià)格出口到德國(guó)、美國(guó)和日本等地，這些國(guó)家把工業(yè)硅加工成99.9999純度的多晶硅后，再以高出原料價(jià)數(shù)十倍甚至近百倍的市場(chǎng)價(jià)格，賣給我國(guó)的太陽能企業(yè)。2005年11月，河南洛陽中硅高科公司300噸多晶硅項(xiàng)目第一爐產(chǎn)品成功出爐，標(biāo)志著國(guó)外對(duì)我國(guó)多晶硅生產(chǎn)技術(shù)的封鎖壟斷已被打破，但我國(guó)計(jì)劃新建的多晶硅項(xiàng)目多為引進(jìn)

46、俄羅斯的技術(shù)。而在涉足多晶硅生產(chǎn)的企業(yè)之中，目前也只有峨嵋半導(dǎo)體和洛陽中硅擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的提純技術(shù)。該兩個(gè)企業(yè)在早期引進(jìn)俄羅斯西門子改良技術(shù)的基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)了一定的自主創(chuàng)新，逐步具備了千噸級(jí)的生產(chǎn)能力。我國(guó)多晶硅產(chǎn)量從2004年的60噸，到2005年的180噸，再到2006年突破300噸，主要?dú)w功于這兩家企業(yè)。2007年，四川新光硅業(yè)高科技有限責(zé)任公司的多晶硅項(xiàng)目已經(jīng)投料生產(chǎn)，產(chǎn)量約230噸；南玻a、江蘇陽光、四川永祥等公司的多晶硅項(xiàng)目正在建設(shè)之中，預(yù)計(jì)2008年投料生產(chǎn)，無錫尚德太陽能電力有限公司的亞洲硅業(yè)青海項(xiàng)目已經(jīng)破土動(dòng)工。2007年以來至2008年初，國(guó)內(nèi)已有多家公司宣布投資多晶硅項(xiàng)目，

47、其中從2007年6月以來，僅四川宣布上馬多晶硅產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目的公司就已超10家，總投資超過100億元，其中一半涉及上市公司。多晶硅的需求主要來自于半導(dǎo)體和太陽能電池、按純度要求不同，分為電子級(jí)和太陽能級(jí)。根據(jù)中國(guó)工業(yè)報(bào)記者對(duì)目前國(guó)內(nèi)14家規(guī)模較大的企業(yè)發(fā)布的多晶硅產(chǎn)能規(guī)劃統(tǒng)計(jì)，2010年之前我國(guó)多晶硅總產(chǎn)能將達(dá)到67260噸以上，其總投資將超過435億元人民幣。這些項(xiàng)目在未來一旦投產(chǎn)或達(dá)產(chǎn)后，其產(chǎn)能的增加有可能會(huì)造成產(chǎn)品銷售價(jià)格的下降。若一旦產(chǎn)能過剩引起了市場(chǎng)反轉(zhuǎn)，則下游的硅片生產(chǎn)廠家和太陽能電池及組件廠商就可以得利，但對(duì)于多晶硅生產(chǎn)企業(yè)來說，其風(fēng)險(xiǎn)也就可能會(huì)出現(xiàn)了。但pvnews根據(jù)上述14個(gè)項(xiàng)目

48、可行性統(tǒng)計(jì)出的結(jié)果顯示：到2010年中國(guó)的多晶硅潛在產(chǎn)能只為22100噸，其實(shí)際產(chǎn)能可能僅為7300噸。其理由是短期內(nèi)中國(guó)很難突破多晶硅提純的技術(shù)壁壘。與此同時(shí)，目前的多晶硅生產(chǎn)企業(yè)也面臨著相對(duì)廉價(jià)的多晶硅生產(chǎn)新技術(shù)替代西門子法的風(fēng)險(xiǎn)。其中，河南迅天宇科技有限公司采用中科院上海技術(shù)物理研究院自主研發(fā)的物理法提純技術(shù)，已于2007年7月27日宣布生產(chǎn)出了99.9999%以上純度的太陽能電池硅產(chǎn)品，其電耗和水耗分別只有“西門子化學(xué)法”的1/3和1/10。此外，流化床法、直接冶煉法、氣液沉積法，以及一些非晶硅技術(shù)(薄膜電池)已經(jīng)逐漸得到應(yīng)用。不容忽視的是，這些相對(duì)廉價(jià)的提純新技術(shù)一旦大規(guī)模地替代現(xiàn)有

49、的技術(shù)，則國(guó)內(nèi)一些高成本的多晶硅生產(chǎn)企業(yè)無疑將會(huì)首當(dāng)其沖。相關(guān)專業(yè)人士對(duì)多晶硅價(jià)格未來兩年走勢(shì)的判斷是：2008年上半年多晶硅仍舊緊張，價(jià)格可能上漲，下半年價(jià)格有望小幅回落；2009年因?yàn)殡姵仄瑥S商需求缺口很大，將放大對(duì)多晶硅的實(shí)際需求，因此其價(jià)格下滑的幅度不會(huì)很大。也有專家表示，2010年全球共計(jì)多晶硅市場(chǎng)需求8.5萬噸左右，但總供給只有5.88萬噸，即缺口達(dá)2.62萬噸。二、涉足多晶硅生產(chǎn)的十大上市公司(按上市公司總股本從大至小依序排列)1南玻a(000012)：2008年2月29日收盤價(jià)22.85元?？偣杀?流通股：118796萬股/38746萬股a股、44858萬股b股；2007年19

50、月每股收益/每股凈資產(chǎn)：0.29元/2.47元；2007年年報(bào)公布時(shí)間：3月19日。2006年10月已在湖北宜昌開工建設(shè)總投資高達(dá)60億元的多晶硅項(xiàng)目，規(guī)劃占地面積為1500畝，一、二、三期工程統(tǒng)一規(guī)劃布局，總規(guī)模為年產(chǎn)5000噸高純多晶硅、450兆瓦太陽能電池組件，年銷售收入約100億人民幣。其中，一期工程擬投資1.5億美元，建設(shè)年產(chǎn)1500噸高純多晶硅生產(chǎn)基地，占地約500畝，包括太陽能級(jí)和電子級(jí)高純多晶硅材料及太陽能硅片等產(chǎn)品，建設(shè)周期約為18個(gè)月。南玻集團(tuán)宜昌硅材料基地是由南玻與香港華儀有限公司、宜昌力源科技開發(fā)有限公司共同投資建設(shè)的以生產(chǎn)高純多晶硅為主的新材料項(xiàng)目，南玻集團(tuán)絕對(duì)控股。

51、該項(xiàng)目已被列入湖北省“十一五”三大重點(diǎn)項(xiàng)目之一。隨著宜昌南玻高純多晶硅材料項(xiàng)目的開工建設(shè)，南玻集團(tuán)將在全球多晶硅產(chǎn)業(yè)乃至整個(gè)太陽能產(chǎn)業(yè)中占有重要一席，并將形成以多晶硅材料為龍頭的“多晶硅材料硅片電池片太陽能電池”完整的產(chǎn)業(yè)鏈。2江蘇陽光(600220)：2008年2月29日收盤價(jià)11.2元。總股本/流通股：96397萬股/63686萬股；2007年19月每股收益/每股凈資產(chǎn)：0.11元/2.66元。2007年年報(bào)公布時(shí)間：3月11日?？毓?5%的寧夏陽光硅業(yè)有限公司多晶硅項(xiàng)目一期1500噸生產(chǎn)線已于2007年4月在寧夏石嘴山正式開工建設(shè)，一期生產(chǎn)線投資15億元，計(jì)劃2008年年底竣工投產(chǎn)。公司

52、擬總投資40億元人民幣，建成年產(chǎn)4500噸多晶硅的能力，建設(shè)周期為4年，分二期投資建設(shè)，一期生產(chǎn)線達(dá)產(chǎn)后，2009年啟動(dòng)二期3000噸生產(chǎn)線的建設(shè)，并計(jì)劃于2010年12月實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)多晶硅4500噸的規(guī)模。寧夏陽光硅業(yè)有限公司系由江蘇陽光、寧夏東方有色金屬集團(tuán)有限公司、寧夏電力投資集團(tuán)有限責(zé)任公司三方共同出資組建的主營(yíng)多晶硅、單晶硅原料和產(chǎn)品以及太陽能電池等制品的高新技術(shù)企業(yè)，其出資比例分別為65%、25%和10%。該項(xiàng)目技術(shù)和工程設(shè)計(jì)合作方為中國(guó)成達(dá)工程公司。成達(dá)公司始建于1955年，是以設(shè)計(jì)為主體實(shí)行工程總承包的國(guó)際型工程公司。2002年開始承擔(dān)的四川新光硅業(yè)公司1000噸年項(xiàng)目的設(shè)計(jì)任務(wù)，

53、該項(xiàng)目已于2007年2月26日成功投產(chǎn)，產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到電子級(jí)，這是我國(guó)首套千噸級(jí)多晶硅工業(yè)化裝置，它的投產(chǎn)標(biāo)志著我國(guó)已掌握并擁有了千噸級(jí)多晶硅的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)技術(shù)。3特變電工(600089)：2008年2月29日收盤價(jià)30.35元?？偣杀?流通股：85404萬股/57619萬股；2007年度每股收益/每股凈資產(chǎn)：0.63元/2.89元；2007年度分配預(yù)案：10送2股轉(zhuǎn)增1股派0.25元(2007年中期曾10股轉(zhuǎn)10股)該公司2008年初與峨嵋半導(dǎo)體研究所、特變集團(tuán)、上海宏聯(lián)公司簽署了特變電工多晶硅公司出資協(xié)議書，擬共同投資設(shè)立特變電工多晶硅有限公司，注冊(cè)資本4億元，公司擬投資3億元，占多晶硅公司注

54、冊(cè)資本的75%，多晶硅公司擬建設(shè)1500噸/年太陽能級(jí)多晶硅項(xiàng)目。多晶硅公司的技術(shù)由峨嵋半導(dǎo)體以技術(shù)許可及服務(wù)方式提供，多晶硅公司向峨嵋半導(dǎo)體支付技術(shù)許可及技術(shù)服務(wù)費(fèi)合計(jì)8000萬元人民幣。作為上述投資的條件之一，公司將與峨嵋半導(dǎo)體材料廠以項(xiàng)目合作方式共同在樂山建設(shè)120兆瓦太陽能光伏產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目，該項(xiàng)目固定資產(chǎn)投資10億元，公司向該項(xiàng)目提供1億元人民幣的建設(shè)資金，并對(duì)該資金支出進(jìn)行監(jiān)管。4航天機(jī)電(600151)：2008年2月29日收盤價(jià)14.01元?？偣杀?流通股：74854萬股/29872萬股；2007年度每股收益/每股凈資產(chǎn)：0.072元/1.7元(業(yè)績(jī)快報(bào))；2007年年報(bào)公布時(shí)間：3

55、月11日。2007年5月，該公司全資子公司神州新能源在內(nèi)蒙古呼和浩特金橋經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)投資設(shè)立了注冊(cè)資金1億元的內(nèi)蒙古神州硅業(yè)有限責(zé)任公司，并擬在內(nèi)蒙古呼和浩特建設(shè)1500噸/年多晶硅項(xiàng)目，總投資約18億元。后通過增資擴(kuò)股，已引進(jìn)上海航天工業(yè)總公司作為硅業(yè)公司的股東，上海航天工業(yè)總公司以現(xiàn)金出資方式向硅業(yè)公司增資1.6億元。本次增資后，硅業(yè)公司的注冊(cè)資本達(dá)到2.6億元，上海航天工業(yè)總公司持有61.54%的股份，神州新能源持有38.46%的股份。上海航天工業(yè)總公司目前為航天機(jī)電的控股股東。此外，該公司控股70%的上海太陽能科技有限公司已與德國(guó)ConergyAG公司簽訂了太陽能光伏組件供貨合同，合同總

56、金額7800萬歐元。太陽能公司成立于2000年，主要從事地面太陽電池及光伏發(fā)電系統(tǒng)產(chǎn)品的研發(fā)。目前，年組件生產(chǎn)能力達(dá)到80兆瓦，并規(guī)劃在“十一五”期間投入3.2億元建設(shè)世界一流的太陽能工程技術(shù)中心，在此基礎(chǔ)上建成100兆瓦太陽電池組件和100兆瓦太陽電池單體生產(chǎn)線。太陽能公司目前已成為國(guó)內(nèi)最大的太陽能產(chǎn)品技術(shù)研發(fā)和生產(chǎn)銷售公司，不僅建造了全國(guó)第一座千瓦太陽能電站，而且建造了全國(guó)最大的太陽能設(shè)施生產(chǎn)新廠房。5天威保變(600550)：2008年2月29日收盤價(jià)57.03元?？偣杀?流通股：73000萬股/35770萬股；2007年度每股收益/每股凈資產(chǎn)：0.56元/3.42元(業(yè)績(jī)快報(bào))；200

57、7年年報(bào)公布時(shí)間：4月22日。該公司的控股子公司天威英利擁有全套的太陽能硅片、電池和組件生產(chǎn)線，因此天威保變是目前國(guó)內(nèi)唯一具備完整產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu)的光伏企業(yè)。該公司目前持股35.66%的四川新光硅業(yè)科技有限責(zé)任公司，其在建項(xiàng)目投產(chǎn)后可年產(chǎn)多晶硅1260噸。新光硅業(yè)成立于2005年10月，是四川省西部大開發(fā)的一號(hào)工程，其承建的1260噸/年多晶硅項(xiàng)目是原國(guó)家發(fā)計(jì)委唯一批準(zhǔn)建設(shè)的高技術(shù)示范性產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，項(xiàng)目概算總投資約12.9億元，已于2007年2月26日投料試車成功，并計(jì)劃2007年全年累計(jì)生產(chǎn)200噸。四川新光硅業(yè)的注冊(cè)資本為3.085億元，其中四川投資集團(tuán)原持有四川新光硅業(yè)38.9的股份，為第一大

58、股東，現(xiàn)已將股權(quán)全部轉(zhuǎn)讓給川投能源(600674)；天威保變持有其35.66的股權(quán)，為其第二大股東。2007年12月，該公司與樂山電力簽署了關(guān)于在樂山市新建3000噸/年多晶硅項(xiàng)目的出資人協(xié)議，投資組建了樂電天威硅業(yè)公司。，其注冊(cè)資本為5億元人民幣，實(shí)收資本為1億元人民幣。其中該公司對(duì)其注冊(cè)資本出資額24500萬元、實(shí)收資本出資額4900萬元，持股比例為49%。2008年2月，樂電天威硅業(yè)公司已與美國(guó)多晶硅設(shè)備工程公司簽訂了樂山3000噸/年多晶硅項(xiàng)目設(shè)備采購(gòu)合同，合同總價(jià)款近4000萬歐元。該多晶硅項(xiàng)目預(yù)計(jì)總投資22億元。2007年12月，該公司還與四川省投資集團(tuán)有限責(zé)任公司、四川岷江水利電

59、力股份有限公司簽署了關(guān)于在成都市新津新建3000噸/年多晶硅項(xiàng)目的出資人協(xié)議，三方在原四川川投硅業(yè)有限公司的基礎(chǔ)上通過股東轉(zhuǎn)讓股權(quán)和增加注冊(cè)資本的方式組建了天威四川硅業(yè)有限責(zé)任公司，天威硅業(yè)注冊(cè)資本和實(shí)收資本分別為人民幣94500萬元、47250萬元，其中，該公司對(duì)其注冊(cè)資本和實(shí)收資本的出資額分別為48195萬元、24097.5萬元，持股比例為51%。該項(xiàng)多晶硅項(xiàng)目預(yù)計(jì)總投資27億元。6通威股份(600438)：2008年2月29日收盤價(jià)25.31元總股本/流通股：68752萬股/34337萬股；2007年度每股收益/每股凈資產(chǎn)：0.19元/1.4元；2007年度利潤(rùn)不分配。2008年2月，該

60、公司宣布出資1.91億元收購(gòu)四川永祥股份有限公司50%股權(quán)，成為了永祥公司的第一大股東，永祥公司的業(yè)務(wù)遂成為其“第二大主業(yè)”。永祥公司主要資產(chǎn)包括了年生產(chǎn)能力為12萬噸的pvc項(xiàng)目，以及利用pvc電石渣年產(chǎn)75萬噸的水泥生產(chǎn)線(預(yù)計(jì)將于今年7月建成投產(chǎn))；另控股60%永祥硅業(yè)(2007年2月已建成了年設(shè)計(jì)能力為5000噸的三氯氫硅及其系列產(chǎn)品生產(chǎn)線)，同時(shí)100%地控股了四川永祥多晶硅有限公司(正在建設(shè)年產(chǎn)1000噸多晶硅項(xiàng)目)。永祥公司預(yù)計(jì)在2008年6月達(dá)產(chǎn)一期1000噸/年多晶硅項(xiàng)目，其3000噸生產(chǎn)線預(yù)計(jì)在2009年6月達(dá)產(chǎn)，公司的長(zhǎng)遠(yuǎn)達(dá)產(chǎn)目標(biāo)是10000噸/年。在達(dá)產(chǎn)3000噸以前，