國產(chǎn)集成電路生產(chǎn)設(shè)備 JPECVD(單片式)HPVD(濺射)

1、國產(chǎn)集成電路生產(chǎn)設(shè)備JPECVD （單片式）HPVD （濺射）單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)及驗收范例JPECVD（單片式）：試運(yùn)轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查以下工程，并應(yīng)在符合要求后進(jìn)行單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)；1環(huán)境潔凈度等級應(yīng)為5級，環(huán)境溫度應(yīng)為220.5,相對濕度應(yīng)為45%5%；2 三相交流電源：AC380V10%,頻率50lHz。AC208V10%,頻率50士1Hz；3設(shè)備機(jī)殼應(yīng)有良好的接地，接地電阻W1Q；4系統(tǒng)控制柜、傳送系統(tǒng)、工藝腔室系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、射頻系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、 水冷系統(tǒng)等均可正常運(yùn)行；5二次配管系統(tǒng)的連接、標(biāo)識、壓力、閥門狀態(tài)等檢查正常；4驅(qū)動氮氣壓力：0.50.7MPa；6真空本底壓力：8E-8 Torr；7工藝?yán)鋮s

2、水壓力應(yīng)為0.5MPa；8射頻電源頻率13.56MHz,負(fù)載匹配良好；9所有平安互鎖功能正常開啟；10正常上電開機(jī)后無故障報警。驗收工程應(yīng)符合以下要求：1整機(jī)系統(tǒng)上電后，系統(tǒng)界面顯示各模塊在線，系統(tǒng)及各模塊運(yùn)行正常；2傳輸模塊和工藝模塊工作正常，無異常報警；3EMO功能正常，且平安互鎖工作正常；4系統(tǒng)傳片測試，連續(xù)傳片500片無報警，晶圓外表無劃傷；5整機(jī)系統(tǒng)控制正常，平安防護(hù)功能正常。HPVD（濺射）試運(yùn)轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查以下工程，并應(yīng)在符合要求后進(jìn)行單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)：1環(huán)境潔凈度等級應(yīng)為5級，環(huán)境溫度應(yīng)為220.5,相對濕度應(yīng)為45% 5%；2 三相交流電源：AC380V10%,頻率50lHz。AC20

3、8V10%,頻率50士 1Hz；3設(shè)備機(jī)殼應(yīng)有良好的接地，接地電阻W1Q；4系統(tǒng)控制柜、硅片傳送系統(tǒng)、工藝腔室系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、抽真空系統(tǒng)、水 冷系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)等均可正常運(yùn)行；5二次配管系統(tǒng)的連接、標(biāo)識、壓力、閥門狀態(tài)等檢查正常；6壓縮空氣壓力：0.50.7MPa；7真空本底壓力：8E-8Torr；8工藝?yán)鋮s水壓力：0.220.25MPa;9氫氣壓力：靜態(tài)壓力應(yīng)為2.32.35MPa,動態(tài)壓力應(yīng)為2.93.2MPa；10安裝間內(nèi)不得有腐蝕性氣體、電磁輻射，振動頻率大于等于10Hz時，安 裝機(jī)器周圍的振動幅度應(yīng)小于3 u m,振動頻率小于10Hz時，安裝機(jī)器周圍的振 動幅度應(yīng)小于1.5 p m；11所有平安互鎖功能正常開啟；11正常上電開機(jī)后無故障報警。 驗收工程應(yīng)符合以下要求：1整機(jī)系統(tǒng)組裝調(diào)整無誤，各電纜接線連接正確、可靠,系統(tǒng)上電后無故障；2上位機(jī)圖形用戶界面顯示各模塊在線，系統(tǒng)及各模塊運(yùn)行正常；3傳輸模塊和工藝模塊的真空度、漏率指標(biāo)：真空度8E-8Torr,壓升率: lOOOOnTorr/min；4 EMO功能