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文檔簡介

1、Good is good, but better carries it.精益求精,善益求善。LP1300鍍膜機(jī)操作流程-上海映象光電科技有限公司LP1300鍍膜機(jī)作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書核準(zhǔn):文管中心:單位主管:制定:文件編號(hào):版本:發(fā)行日期:映象光電科技有限公司制定部門樹脂鍍膜文件編號(hào)LP1300作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書制定日期頁數(shù)第1/0修訂記錄表修訂次修訂日期修訂內(nèi)容頁次版次備注映象光電科技有限公司制定部門樹脂鍍膜文件編號(hào)LP1300作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書制定日期頁數(shù)第1/1一目的規(guī)范LP1300機(jī)臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)操作之動(dòng)作、手法。二范圍本標(biāo)準(zhǔn)適用于LP1300之鍍膜流程。鍍膜機(jī)腔體電子槍電源箱鍍膜機(jī)主機(jī)映象光電科技有限公司制定部門樹脂

2、鍍膜文件編號(hào)LP1300作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書制定日期頁數(shù)第1/2三操作流程1.暖機(jī)1.1打開各電源開關(guān)電源箱開關(guān)(1)、POLDCOLY電源開關(guān)、電子槍電源開關(guān)、觸屏開關(guān)(2)及電腦開關(guān)(3);確保指示燈亮POLYCOLD開關(guān)POLYCOLD開關(guān)(1)電子槍開關(guān)(2)映象光電科技有限公司制定部門樹脂鍍膜文件編號(hào)LP1300作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書制定日期頁數(shù)第1/3(3)1.2按“中文/Chinese”進(jìn)入主畫面后,按按鈕(1)“自動(dòng)”,再按按鈕(2)“幫浦起動(dòng)”,開始暖機(jī);映象光電科技有限公司制定部門樹脂鍍膜文件編號(hào)LP1300作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書制定日期頁數(shù)第1/4(2)(1)1.3如(1)所示達(dá)到設(shè)定溫度后,暖機(jī)結(jié)(1)

3、DP溫度綠色字體為設(shè)定值映象光電科技有限公司制定部門樹脂鍍膜文件編號(hào)LP1300作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書制定日期頁數(shù)第1/52.上鏡片2.1按F1后再按(1)“排氣”,開始抽真空,抽真空30分鐘后,按按鈕(2)“洩?dú)狻?,泄氣完畢后機(jī)器自動(dòng)打開倉門,按下(3)“警報(bào)確認(rèn)”解除警報(bào);(2)(1)2.2用吸塵器清理機(jī)臺(tái)如圖(1),清理完畢后給機(jī)臺(tái)加藥,首先按F2后再按按鈕(2),進(jìn)入界面后按圖示(3)中數(shù)字按鈕選擇坩堝添加藥品如圖(4),加完藥品后可按F2退出(注意藥品與坩堝平齊即可);(1)映象光電科技有限公司制定部門樹脂鍍膜文件編號(hào)LP1300作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書制定日期頁數(shù)第1/6(2)(3)映象光電科技有限公司制定

4、部門樹脂鍍膜文件編號(hào)LP1300作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書制定日期頁數(shù)第1/7(4)2.3加完藥后確認(rèn)監(jiān)控片更新取出裝鏡片的監(jiān)控杯映象光電科技有限公司制定部門樹脂鍍膜文件編號(hào)LP1300作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書制定日期頁數(shù)第1/8倒出監(jiān)控杯內(nèi)的舊監(jiān)控片裝入新監(jiān)控片映象光電科技有限公司制定部門樹脂鍍膜文件編號(hào)LP1300作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書制定日期頁數(shù)第1/92.4.1從無塵工作爐取來已裝入鏡片的傘具,如圖將傘具放入腔體回轉(zhuǎn)上;2.4.2放入回轉(zhuǎn)上確認(rèn)鏡片有無放平;3.鍍膜3.1關(guān)上倉門,按F2后點(diǎn)擊按鈕(1)門開關(guān)由“Open”變?yōu)椤癈lose”;(1)映象光電科技有限公司制定部門樹脂鍍膜文件編號(hào)LP1300作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書制定日期頁數(shù)第

5、1/103.2按F1后再按圖示(1)按鈕“排氣”開始抽真空,抽真空15分鐘以上真空度達(dá)到8.0E-5以下開始打開離子槍;抽真空15分鐘以后(1)確保真空度8.0E-5Torr以下映象光電科技有限公司制定部門樹脂鍍膜文件編號(hào)LP1300作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書制定日期頁數(shù)第1/113.3打開離子槍電源開關(guān),圖示(1)電壓、電流及流量數(shù)據(jù),在所設(shè)定范圍之間鍍23分鐘即可關(guān)閉;3.4離子輔助完成后,真空度達(dá)到處6.0E-5以下開始鍍膜,移動(dòng)電腦光標(biāo)選擇“OpenDataFile”按回車后選擇制程,選擇完畢后再按回車退出;OpenDataFile圖標(biāo)Deposition圖標(biāo)3.5制程確認(rèn)選好后,移動(dòng)光標(biāo)選擇“Dep

6、osition”按回車鍵進(jìn)入鍍膜菜單,再選擇“Depprocess”開始蒸鍍映象光電科技有限公司制定部門樹脂鍍膜文件編號(hào)LP1300作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書制定日期頁數(shù)第1/12DepProcess圖標(biāo)光標(biāo)移動(dòng)鍵Enter回車鍵ESC鍵映象光電科技有限公司制定部門樹脂鍍膜文件編號(hào)LP1300作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書制定日期頁數(shù)第1/133.6鍍膜過程中應(yīng)注意事項(xiàng):3.6.1如實(shí)填寫手順記錄;3.6.2確保如圖所示中曲線與設(shè)定線(黃色曲線)大致吻合;3.7最后一層蒸鍍完畢,按F1后點(diǎn)擊圖標(biāo)“洩?dú)狻?;泄氣完畢,機(jī)器自動(dòng)開倉時(shí),應(yīng)點(diǎn)擊“警報(bào)確認(rèn)”解除警報(bào)。報(bào)警確認(rèn)泄氣氣映象光電科技有限公司制定部門樹脂鍍膜文件編號(hào)LP1300作

7、業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書制定日期頁數(shù)第1/144.下鏡片4.1手動(dòng)移開倉門后,打開吸塵器清潔機(jī)臺(tái)(操作見2.2),并給坩堝添加藥品(操作見2.3重復(fù)部分);在將鍍好之鏡片放在無塵工作爐臺(tái)上收??;4.2開啟并推動(dòng)升降車進(jìn)入鍍膜機(jī)腔體內(nèi),車身緊靠機(jī)臺(tái)后按寸動(dòng)按鈕緩慢將升降臺(tái)升高抬起傘具,撥動(dòng)并移開吊具,按下降按鈕,待停止后拉出升降車。4.3繼續(xù)按下降按鈕,待停止后應(yīng)由兩人協(xié)力取下鏡片置放于指定處(注意必須戴好防護(hù)手套和口罩)如圖(1)。5.關(guān)機(jī)工作結(jié)束確認(rèn)鍍膜腔內(nèi)無鏡片后,關(guān)上倉門(操作見3.1),按按鈕“排氣”,5分鐘后再按“閥門全閉”,切換到F7關(guān)機(jī)按鈕(1),40分鐘后會(huì)自動(dòng)關(guān)機(jī)或按按鈕(2)“STOP”后,再關(guān)閉圖示開關(guān)(3)呈“off”狀態(tài),即可完成關(guān)機(jī)動(dòng)作。(1)映象光電科技有限公司制定部門樹脂鍍膜文件編號(hào)LP1300作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)書制定日期頁數(shù)第1/15(2)(3)四注意事項(xiàng)1鏡片傘具放入腔體后確認(rèn)鏡片是否放平,避免有膜欠不良。2更換電子槍座及離子槍鎢絲時(shí)請(qǐng)務(wù)必先關(guān)閉電源,使用乳膠手套安裝部件,不可直接用手觸摸,以防止鎢絲壽命

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