國家標準《電子工廠潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》中強制性條文講解

1、國家標準電子工廠潔凈廠房設(shè)計規(guī)范中強制性條文講解GB 50472-20081、電子工廠潔凈廠房特點2、章節(jié)內(nèi)容簡介3、強制性條文等介紹4、結(jié)語1、電子工廠潔凈廠房特點電子產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展迅猛 IC特征尺寸m,1216 ，64G TFT第六代產(chǎn)品對化學污染物的嚴格要求大面積、大體量、組合式、多層潔凈廠房投資大、能量消耗大1、電子工廠潔凈廠房特點集成電路對化學污染物的控制指標 電子工廠潔凈廠房的特點：微?？刂剖謬栏?、要求控制m甚至更小粒徑 ISO1級或更嚴格。高純物質(zhì)，包括高純水、高純氣體高純化學品的供應、輸 送。對微振控制十分嚴格、需制定切實可行的規(guī)定對防靜電、電磁兼容等大體量、多層單向流潔凈室，

2、二層/三層布置數(shù)萬m2。1、電子工廠潔凈廠房特點1、電子工廠潔凈廠房特點項目位置狀況規(guī)格（）潔凈生產(chǎn)區(qū)面積（）建筑高度芯片廠1大陸生產(chǎn)運行200（8）870020.0芯片廠2臺灣生產(chǎn)運行300/200（12/8）1400026.8芯片廠3臺灣生產(chǎn)運行300（12）900029.4芯片廠4臺灣生產(chǎn)運行300（12）900026.8芯片廠5韓國生產(chǎn)運行200（8）1000031.0芯片廠6韓國生產(chǎn)運行200（8）1000031.0芯片廠7韓國生產(chǎn)運行200（8）1000037.0芯片廠8韓國生產(chǎn)運行200（8）1000037.0芯片廠9愛爾蘭生產(chǎn)運行200（8）889225.4芯片廠10美國生產(chǎn)運

3、行200（8）1581022.00芯片廠11美國生產(chǎn)運行200（8）1581022.00芯片廠12美國生產(chǎn)運行300（12）1385717.00芯片廠13愛爾蘭生產(chǎn)運行300（12）1218317.00芯片廠14磁力生產(chǎn)運行300（12）874020.40芯片廠15臺灣生產(chǎn)運行200（8）790050.30芯片廠16法國生產(chǎn)運行200（8）650021.00芯片廠17新加坡生產(chǎn)運行200（8）800025.00表1 國內(nèi)外一些微電子潔凈廠房的高度和潔凈生產(chǎn)區(qū)面積1、電子工廠潔凈廠房特點項目位置狀況規(guī)格（）潔凈生產(chǎn)區(qū)面積（）建筑高度芯片廠18上海生產(chǎn)運行300（12）1200029.00芯片廠1

4、9上海生產(chǎn)運行300（12）940030.00芯片廠20成都生產(chǎn)運行200（8）7408.821芯片廠21上海生產(chǎn)運行200（8）1032128.55芯片廠22蘇州生產(chǎn)運行200（8）1200024.4芯片廠23重慶建設(shè)中200（8）150028芯片廠24浙江生產(chǎn)運行150（6）516019TFT-LCD/1北京生產(chǎn)運行5代，110013002800023.00TFT-LCD/2上海生產(chǎn)運行5代，11001300220001400020.30TFT-LCD/3昆山試生產(chǎn)5代，11001300300026.50TFT-LCD/4深圳正在建設(shè)5代，110013003300026.50TFT-LCD

5、/5臺灣生產(chǎn)運行6代，150018003600027TFT-LCD/6上海正籌建6代，150018003400027TFT-LCD/7北京正籌建6代，150018003600027TFT-LCD/8日本生產(chǎn)運行8代，216024609000030.00表1 國內(nèi)外一些微電子潔凈廠房的高度和潔凈生產(chǎn)區(qū)面積1、電子工廠潔凈廠房特點表22 幾類電子產(chǎn)品所需氣體品種1、電子工廠潔凈廠房特點表 25 集成電路芯片（64M）生產(chǎn)過程部分化學品的質(zhì)量要求微粒（PC/CC）化學品種類0.1m0.2m金屬離子H3PO4HClH2SO4H2O2NH4OH403020202020201010101.0X10-91.0X10-91.0X10-91.0X10-91.0X10-9HNO349%HF5%HF1%HF30303030202020201.0X10-91.0X10-91.0X10-9122424見D.3.3見D.3.5見D.3.6見D.3.6見D.3.8 見D.3.7見D.3.10見D.3.113、強制性條文等介紹1、GB50472是依據(jù)電子工廠潔凈廠房特點，參照國際標準，經(jīng)過國內(nèi)調(diào)研后制定。2、強制性標準中的“強條”