光學(xué)薄膜技術(shù)標準發(fā)展綜述課件

1、薄膜光學(xué)光學(xué)薄膜技術(shù)標準發(fā)展綜述1、光學(xué)薄膜的歷史背景4、光學(xué)薄膜標準發(fā)展建議3、光學(xué)薄膜標準的發(fā)展概況2、光學(xué)薄膜技術(shù)相關(guān)領(lǐng)域 目 錄光學(xué)薄膜的使用始于20世紀30年代，至今已應(yīng)形成一門獨立的技術(shù)，廣泛應(yīng)用在天文、軍事、醫(yī)學(xué)、科學(xué)檢測、光顯示和光通訊等行業(yè)。光學(xué)薄膜能改善系統(tǒng)性能（如：分束、濾光等），是滿足目標的必要手段，對光學(xué)儀器的質(zhì)量起著重要或決定性的作用。近三十年來，隨著我國光學(xué)與光電子產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，光學(xué)薄膜技術(shù)在鍍制設(shè)備、膜系設(shè)計、特性測試和應(yīng)用開發(fā)等方面取得了廣泛的成果，形成了相當(dāng)?shù)漠a(chǎn)業(yè)規(guī)模，產(chǎn)品正在走向國際化“隨著光學(xué)薄膜技術(shù)產(chǎn)業(yè)化的擴大，其生產(chǎn)的社會化程度逐漸提高，技術(shù)要求日

2、趨復(fù)雜，因此對標準化的要求也越來越高”。光學(xué)薄膜的歷史背景什么是標準化？所謂標準化，是為了在一定范圍內(nèi)獲得最佳秩序，對現(xiàn)實問題或潛在問題制定共同使用和重復(fù)使用的條款的活動。“標準化活動最終會形成標準，其定義為：為了在一定范圍內(nèi)獲得最佳秩序，經(jīng)協(xié)商一致制定并由公認機構(gòu)批準，共同使用的和重復(fù)使用的一種規(guī)范性文件?！巴晟频臉藴驶w系對促進產(chǎn)品在技術(shù)上的相互協(xié)調(diào)配合、優(yōu)化產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)、增強產(chǎn)品的市場競爭力等方面具有不可估量的作用。是國民經(jīng)濟和社會發(fā)展的重要技術(shù)支撐”。環(huán)境適應(yīng)性膜層功能產(chǎn)品應(yīng)用表面疵病面型偏差膜層功能光學(xué)薄膜可實現(xiàn)諸如反射、增透、濾光、分束等不同功能，以滿足多樣化的設(shè)計要求，不同膜層功能需

3、要用不同的技術(shù)指標去描述和評判光學(xué)薄膜技術(shù)相關(guān)領(lǐng)域?qū)嶋H光學(xué)表面與理想光學(xué)表面必然存在一定的偏差，這稱為面形偏差，在光學(xué)薄膜領(lǐng)域，面形偏差一方面由基片加工水平?jīng)Q定，另一方面也會受到膜層應(yīng)力的影響而降低或加劇鍍膜表面會存在一定的缺陷，如麻點、擦痕等，統(tǒng)稱為表面疵病“。表面疵病程度會影響光學(xué)系統(tǒng)的性能，進而制約著光學(xué)薄膜的用途光學(xué)薄膜必然工作于一定的環(huán)境條件，如：溫度、濕度等，而在該條件下薄膜能否長久穩(wěn)定工作，體現(xiàn)了光學(xué)薄膜環(huán)境適應(yīng)性的強弱“環(huán)境適應(yīng)性是評判光學(xué)薄膜的一項重要因素，需要用一定的環(huán)境試驗來檢驗光學(xué)薄膜最終會形成產(chǎn)品，光學(xué)元件，安裝在儀器中以滿足一定的使用要求，一種應(yīng)用類型的光學(xué)薄膜產(chǎn)品

4、中可能涉及多個功能的膜層。面形偏差類標準的發(fā)展國內(nèi)面形偏差類標準只有GB/T2831,其最早是頒布于1982年，即GB2831-81光學(xué)零部件的面型偏差檢驗方法（光圈識別）。該標準適用于以等厚光波干涉原理檢驗球（包括平面）光學(xué)零部件的面形偏差，其提出的用“光圈”描述面形偏差的方法，在國內(nèi)獲得普遍應(yīng)用。2009年，該標準參照國際標準ISO10110-5:2007進行修訂，即GB/T2831-29光學(xué)零件的面形偏差，國際標準的接軌。修訂后保留了“光圈”的描述方式，同時引進了國際上描述面型偏差的術(shù)語，如“PV值”“rms值”等，初步實現(xiàn)了與國際標準的接軌。表面疵病類標準的發(fā)展（1）GB1185-74

5、光學(xué)零件表面疵病（2）GB1185-89光學(xué)零件表面疵?。?）GB1185-2006 光學(xué)零件表面疵病“89版標準”在2006年再次進行了修訂，此次修訂是根據(jù)ISO110-7:1996和ISO14997；2003這兩個國際標準重新起草的。“06版標準”延續(xù)了“89版標準”的表面疵病表征方式，增加了表面疵病未注公差，可視度要求等技術(shù)內(nèi)容，標準顯得更加細膩。目前，“06版標準”修訂時參照的兩個國際標準已更新為ISO10110-7:2008和ISO14997:2011，“06版”也將面臨再次修改。光學(xué)薄膜標準的發(fā)展概況（1）19771987年 膜層功能類標準的“起步階段”（2）19881995年 膜層功能類標準的“快速發(fā)展階段”（3）19962009年 膜層功能類標準的“發(fā)展停滯階段”（4）2010現(xiàn)在 膜層功能類標準的“發(fā)展復(fù)蘇階段”光學(xué)薄膜技術(shù)標準發(fā)展建議經(jīng)過幾十年的發(fā)展，我國的標準化工作取得了相當(dāng)?shù)某尚?，標準的?shù)量和質(zhì)量都不斷提升，并開始逐步與國際接軌，這從上文對光學(xué)薄膜領(lǐng)域標準發(fā)展情況的分析中可窺見一斑。今后，建議從以下幾個方面來完善光學(xué)薄膜技術(shù)標準：（1）對落后標準的更新；（2）標 準 系 列 化 發(fā) 展；（3）標準引用統(tǒng)一；（4）為復(fù)雜