《真空泵百科》word版

1、真空泵百科名片 真空泵空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡庙氂星凹壉门浜戏娇墒褂迷谳^寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。目錄 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 1 基本概述 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 1_1 分類 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 1_2 用途 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 1_3 產(chǎn)品 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=

2、tt l 2 機械原理 工作原理 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 4 機械分類 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 5 粗真空系列 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 5_1 2SK、SK系列雙級水環(huán)式真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 5_2 2BA、2BV系列水環(huán)式真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 5_3 W型往復(fù)式真空泵 WLW型立式無油真空泵 HYPERLINK /view/1

3、36044.html?wtp=tt l 6 高真空系列 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 6_1 H、2H型滑閥式真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 6_2 2X型旋片式真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 6_3 2XZ型旋片式真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 6_4 ZJH系列羅茨真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 6_5 JZJH2H羅茨滑閥真空機組 HYPERLIN

4、K /view/136044.html?wtp=tt l 6_6 JZJHX型羅茨旋片泵機組 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 6_7 JZJHS型羅茨水環(huán)泵機組 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 6_8 JZJHBA型羅茨水環(huán)泵機組 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 7 機械選擇 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 8 機械安裝 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 9 注意事項 HYPERLINK

5、/view/136044.html?wtp=tt l 9_1 確定工作真空范圍 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 9_2 確定極限真空度 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 9_3 被抽氣體種類與抽氣量 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 9_4 真空容積 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 9_5 主真空泵的選擇計算 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 10 機械使用 油的要求 HYPERLINK /v

6、iew/136044.html?wtp=tt l 11_1 極低的蒸氣壓 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 11_2 合適的粘度和良好的粘溫特性 良好的熱氧化安定性 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 11_4 良好的抗腐蝕性和抗乳化性 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 11_5 較高的閃點 較低的極限壓力 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 12 維護保養(yǎng) HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 13 國

7、內(nèi)應(yīng)用 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 13_1 液環(huán)泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 13_2 滑閥泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 13_3 直聯(lián)旋片泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 13_4 羅茨泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 13_5 分子泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 13_6 干泵 HYPERLINK /view/136

8、044.html?wtp=tt l 13_7 水環(huán)泵術(shù)語解釋 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 15 測量方式分類： HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 15_1 熱偶真空計 電離真空計 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 15_3 復(fù)合真空計 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 15_4 冷陰極電離計 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 15_5 電阻真空計 HYPERLINK /view/136044

9、.html?wtp=tt l 15_6 麥克勞真空計 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 15_7 BA規(guī)電容薄膜真空計 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 16 真空泵名稱解釋 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 16_1 水環(huán)真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 16_2 往復(fù)真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 16_3 油封機械真空泵 HYPERLINK /view/136044.htm

10、l?wtp=tt l 16_4 羅茨真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 16_5 渦輪分子真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 16_6 油擴散真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 16_7 低溫真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 17 旋片式真空泵的工作原理說明 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 18 真空泵性能參數(shù) 真空泵結(jié)構(gòu)優(yōu)化及分類概述 HYPERLINK /view/

11、136044.html?wtp=tt l 20 特點 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 21 結(jié)構(gòu) 泵總體結(jié)構(gòu)型式 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 21_2 泵的傳動方式 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 1 基本概述 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 1_1 分類 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 1_2 用途 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 1_3

12、產(chǎn)品 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 2 機械原理工作原理 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 4 機械分類 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 5 粗真空系列 2SK、SK系列雙級水環(huán)式真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 5_2 2BA、2BV系列水環(huán)式真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 5_3 W型往復(fù)式真空泵 WLW型立式無油真空泵 HYPERLINK /view/136044.h

13、tml?wtp=tt l 6 高真空系列 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 6_1 H、2H型滑閥式真空泵 2X型旋片式真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 6_3 2XZ型旋片式真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 6_4 ZJH系列羅茨真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 6_5 JZJH2H羅茨滑閥真空機組 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 6_6 JZJHX型羅茨旋片泵機組 H

14、YPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 6_7 JZJHS型羅茨水環(huán)泵機組 JZJHBA型羅茨水環(huán)泵機組 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 7 機械選擇 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 8 機械安裝 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 9 注意事項 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 9_1 確定工作真空范圍 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 9_2 確定極限真空度

15、HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 9_3 被抽氣體種類與抽氣量 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 9_4 真空容積 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 9_5 主真空泵的選擇計算 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 10 機械使用油的要求 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 11_1 極低的蒸氣壓 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 11_2 合適的粘度和良好的粘溫

16、特性 良好的熱氧化安定性 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 11_4 良好的抗腐蝕性和抗乳化性 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 11_5 較高的閃點 較低的極限壓力 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 12 維護保養(yǎng) HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 13 國內(nèi)應(yīng)用 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 13_1 液環(huán)泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 13_

17、2 滑閥泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 13_3 直聯(lián)旋片泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 13_4 羅茨泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 13_5 分子泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 13_6 干泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 13_7 水環(huán)泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 14 術(shù)語解釋 HYPERLINK /view/13

18、6044.html?wtp=tt l 15 測量方式分類： HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 15_1 熱偶真空計 電離真空計 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 15_3 復(fù)合真空計 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 15_4 冷陰極電離計 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 15_5 電阻真空計 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 15_6 麥克勞真空計 HYPERLINK /view/136044

19、.html?wtp=tt l 15_7 BA規(guī)電容薄膜真空計 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 16 真空泵名稱解釋 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 16_1 水環(huán)真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 16_2 往復(fù)真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 16_3 油封機械真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 16_4 羅茨真空泵 HYPERLINK /view/136044.html

20、?wtp=tt l 16_5 渦輪分子真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 16_6 油擴散真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 16_7 低溫真空泵 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 17 旋片式真空泵的工作原理說明 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 18 真空泵性能參數(shù)真空泵結(jié)構(gòu)優(yōu)化及分類概述 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 20 特點 HYPERLINK /view/136044.

21、html?wtp=tt l 21 結(jié)構(gòu) 泵總體結(jié)構(gòu)型式 HYPERLINK /view/136044.html?wtp=tt l 21_2 泵的傳動方式展開編輯本段基本概述分類真空泵分類廣泛，主要有WLW系列立式無油真空泵、W型往復(fù)式真空泵、2X,2XZ型旋片式真空泵、ZJ，ZJH型羅茨真空泵（ZJH型為專利產(chǎn) 真空泵品）、2SK，SK型水環(huán)式真空泵、2BV，2BA型水環(huán)式真空泵、1H,2H型滑閥真空泵、TLZ型真空泵、SL型羅茨鼓風機、JZJHX型羅茨旋片真空機組、JZJHS型羅茨水環(huán)真空機組、JZJHWLW型立式無油真空機組、JZJP型羅茨水噴射真空機組、JZJHBA型羅茨水環(huán)真空機組、R

22、PP型水噴射真空泵、JZJH2H型羅茨滑閥式真空2機組等型號。 用途真空泵廣泛用于塑料機械、農(nóng)藥化工、染料化工、磚瓦機械、低溫設(shè)備、造紙機械、醫(yī)藥化工、食品機械、工業(yè)電爐、電子行業(yè)、真空設(shè)備、化肥、冶金、石油、礦山、地基處理等領(lǐng)域。 產(chǎn)品2BA型水環(huán)式真空泵是為滿足真空泵可帶水吸氣這一要求，在原SKF型和2FA型水環(huán)式真空泵的基礎(chǔ)上，自行開發(fā)研制而成的新一代水環(huán)式真空泵。它設(shè)計先進、結(jié)構(gòu)新穎，適用于各種較為苛刻、復(fù)雜的應(yīng)用領(lǐng)域。它可抽吸含有大量水氣，可凝汽的介質(zhì)，在抽吸易燃，易爆或有毒、有腐蝕性氣體時不易發(fā)生危險，故可廣泛應(yīng)用于機械、石油、化工、電力、制藥、食品、陶瓷、制糖、印染、冶金、塑料、

23、瓦磚、皮革等行業(yè)，特別適用于塑料配套使用，2BA型水環(huán)式真空泵分別取代SZ、SK、2SK-3、2SK-6、2S-185、2SK-230和W型往復(fù)式真空泵。 人們在使用過程中經(jīng)常碰到輸送化學(xué)氣體，這就需要引進耐腐蝕真空泵的新概念。它是利用陶瓷、不銹鋼、合金等特殊介質(zhì)來做過流部分的，真正符合了通常的“耐磨、耐酸、耐堿、耐高溫”的要求。 編輯本段機械原理GG17玻璃膨脹系數(shù)低，能更好地耐受很高的溫度差變，故該泵比同型泵能受得起高溫而且使用壽命也更長。該泵適用于電子工業(yè)，如電子管。顯像管。X光管，以及半導(dǎo)體單晶硅的冶煉提純，高沸點的油脂蒸餾提純分離，日光燈，保溫瓶高真空排氣的儀器。 先由轉(zhuǎn)動真空泵把系

24、統(tǒng)抽到10-2Pa擴散泵油被加熱沸騰,以高速從噴出的油蒸汽流不斷將系統(tǒng)內(nèi)氣體分子帶到泵的側(cè)臂彎管球泡處集結(jié),待氣體密度達到機械真空泵的工作范圍而被抽出,從而逐漸獲得高真空.。 水環(huán)真空泵（簡稱水環(huán)泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為20004000Pa，串聯(lián)大氣噴射器 W型往復(fù)式真空泵可達270670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機，稱為水環(huán)式壓縮機，是屬于低壓的壓縮機，其壓力范圍為12105Pa表壓力。 水環(huán)泵最初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣

25、等，水環(huán)泵得到廣泛的應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展，水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。 在泵體中裝有適量的水作為工作液。當葉輪順時針方向旋轉(zhuǎn)時，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切，水環(huán)的上部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸（實際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度）。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部0為起點，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前1

26、80時小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時氣體被吸入，當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕；當葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當小腔與排氣口相通時，氣體便被排出泵外。綜上所述，水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡谩?羅茨泵在泵腔內(nèi)，有二個“8”字形的轉(zhuǎn)子相互中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。 羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀

27、態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。但當轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時，由于排氣側(cè)氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然增高。當轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時，氣體排出泵外。 編輯本段工作原理按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。氣體傳輸泵是一 雙極旋片真空泵種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵。氣體捕集泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上，從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達到抽氣目的的真空泵。 真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的

28、方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。隨著真空應(yīng)用技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對其應(yīng)用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過程的要求，由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要

29、求組合起來，以機組型式應(yīng)用。 編輯本段機械分類按其工作原理，基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。氣體輸送泵包括：1、液環(huán)真空泵（水環(huán)式真空泵）2、往復(fù)式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復(fù)合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴散泵等。氣體捕集泵包括：吸附泵和低溫泵等。工業(yè)中應(yīng)用最多的是水環(huán)式真空泵和旋片式真空泵等。 按其真空度可以分為：粗真空、高真空、超高真空三大類。 編輯本段粗真空系列2SK、SK系列雙級水環(huán)式真空泵( Model 2SK、2SK-P1 Wa

30、ter Ring Vacuum Pump ) 主要用來抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。廣泛用于食品、紡織、醫(yī)藥、化工等行業(yè)的真空蒸發(fā)、濃縮、浸漬、干燥等工藝過程中。該型泵具有真空度高、結(jié)構(gòu)簡單，使用方便、工作可靠、維護方便的特點。 2BA、2BV系列水環(huán)式真空泵( Model 2BA Water Ring Vacuum Pump ) 主要用于粗真空。抽氣量大的工藝過程中。它主要用來抽除空氣和其它無腐蝕，不溶于水，含有少量固體顆粒的氣體，以便在密閉容器中形成真空。所吸氣體中允許混有少量液體。它被廣泛應(yīng)用于機械、制藥、食品、石油化工等行業(yè)中。 W型往復(fù)式真空泵(

31、Model W Piston Vacuum Pump ) 是獲得粗真空的主要真空設(shè)備之一。廣泛應(yīng)用于化工，食品，建材等部門，特別是在真空結(jié)晶，干燥，過濾，蒸發(fā)等工藝過程中更為適宜。 WLW型立式無油真空泵（ WLW Vertical Oil-Free ） WLW型無油(耐腐蝕)立式往復(fù)真空泵是W型臥式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，是獲得粗真空的主要設(shè)備。由于采用全密封裝置，實現(xiàn)了曲軸箱和汽缸的完全隔離；加上活塞環(huán)使用了自潤滑材料，便實現(xiàn)了先進的無油潤滑。由于無污水排放，所以該型真空泵特別適用于化工、醫(yī)藥和食品等行業(yè)的真空蒸餾、真空蒸發(fā)、真空干燥、真空濃縮、真空浸漬等工藝過程中。 編輯本段高真空系列H、

32、2H型滑閥式真空泵（Rotary Piston Vacuum Pump） 廣泛應(yīng)用于真空拉晶、真空鍍膜、真空冶金、真空熱處理、真空浸漬、真空干燥、真空蒸餾、真空練泥、航空航天模擬試驗等新材料、新技術(shù)、新工藝的生產(chǎn)與研制中。 滑閥真空泵可單獨使用，也可作為羅茨真空泵、油增壓泵、油擴散泵的前級泵的使用。當抽吸對黑色金屬有腐蝕、對真空油起化學(xué)反應(yīng)、含大量蒸汽、大量粉塵的氣體時，需附加裝置。 優(yōu)點：相比旋片式真空泵耐用5倍以上，有取代旋片真空泵的趨勢。價格相對高一點。 2X型旋片式真空泵用來抽除密閉容器的氣體的基本設(shè)備之一。它可以單獨使用，也可作為增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵使用。該型泵廣泛應(yīng)用于冶

33、金、機械、電子、化工、石油、醫(yī)藥等行業(yè)的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空干燥等工藝過程中。 2XZ型旋片式真空泵( Model 2XZ Sliding Vane Rotary Vacuum Pump ) 具有結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，重量輕，噪音低，振動小等優(yōu)點。所以，它適用于作擴散泵的前級泵，而且更適用于精密儀器配套和實驗室使用。例如：質(zhì)譜儀器，冰箱流水線，真空冷凍干燥機等。 ZJH系列羅茨真空泵( Model ZJH Roots Vacuum Pump ) 是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡庙氂星凹壉门浜戏娇墒褂迷谳^寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感廣泛用于冶金、化工、食品、電

34、子鍍膜等行業(yè)。主要用于真空機組的主泵，不能單獨使用。需要用前級泵輔助。如：水環(huán)式真空泵，滑閥真空泵，立式無油真空泵，分子真空泵等。最大羅茨真空泵保持紀錄為10000L/S生產(chǎn)企業(yè)為上海益化真空設(shè)備有限公司（成功運用于中國石化集團）。 JZJH2H羅茨滑閥真空機組(Roots Pump with Rotary Piston Pump Vacuum System) 由羅茨真空泵與滑閥真空泵串聯(lián)組成，滑閥真空泵作為預(yù)抽真空泵以及羅茨真空泵的前級真空泵使用，羅茨真空泵左右主抽真空泵。羅茨真空泵與滑閥真空泵抽速比大小選擇的主要依據(jù)是真空機組長期工作的真空度，真空機組長期工作區(qū)間在低真空，宜選擇較小的抽速

35、比（2：1至4：1），如果真空機組長時間在高真空工作，則可選擇較大的抽速比（4:1至10：1） 型羅茨滑閥真空泵機組。推薦企業(yè)：浙江真空設(shè)備集團有限公司、海門市華豐真空設(shè)備有限公司等。 JZJHX型羅茨旋片泵機組( Model JZJHX Roots-Sliding Vane Rotary Vacuum Pump System ) JZJHX型羅茨-旋片泵機組是以羅茨泵為主泵，以旋片泵為前泵串聯(lián)而成。其結(jié)構(gòu)緊湊，操作方便。使用于抽除空氣及其它無可凝性及無腐蝕性氣體，廣泛應(yīng)用于需要大抽速和高真空的各種真空系統(tǒng)中。如：真空冶煉、電力電容器、變壓器、真空浸漬處理、真空鍍膜設(shè)備中的預(yù)抽等。 JZJHS

36、型羅茨水環(huán)泵機組( Model JZJHS Roots-Water Ring Vacuum Pump System ) 本機組由于采用水環(huán)泵作為前級泵，因而特別適用于抽除含有大量水蒸氣和帶有一定腐蝕性和可凝性氣體的工藝過程中。如：真空蒸餾、蒸發(fā)、脫水、結(jié)晶、干燥等工藝過程中。 JZJHBA型羅茨水環(huán)泵機組( Model JZJHBA Roots-Water Ring Vacuum Pump System ) 本機組由于采用水環(huán)泵作為前級泵，因而特別適用于抽除含有大量水蒸氣和帶有一定腐蝕性和可凝性氣體的工藝過程中。如：真空蒸餾、蒸發(fā)、脫水、結(jié)晶、干燥等工藝過程中. 編輯本段機械選擇選擇真空泵注意

37、事項： 1、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。 2、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知 旋片真空泵道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。 3、真空泵在其工作壓強下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。 4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦

38、，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。 5、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。 6、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強范圍760mmHg25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強

39、范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強而變化（詳細變化情況參照泵的性能曲線），其穩(wěn)定的工作壓強范圍為76060mmHg。因而，泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)較為適宜，而不能讓它在2530mmHg下長期工作。 7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。 8、真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，最好能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個到一個數(shù)量級。 9、真空泵的價格、運轉(zhuǎn)及維修費用。 編輯本段機械安裝1、真空泵

40、應(yīng)安裝在地面結(jié)實堅固的場所，周圍應(yīng)留有充分的余地，便于檢查、維護、保養(yǎng)。 安裝原理圖2、真空泵底座下應(yīng)保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保真空泵運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，振動小。 3、真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少彎頭。（焊接管路時應(yīng)清除管道中焊渣，嚴禁焊渣進入真空泵腔。） 4、在連接管路中，用戶可在真空泵進氣口上方安裝閥門及真空計，隨時可檢查真空泵的極限壓力。 5、按電動機標牌規(guī)定連接電源，并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。 6、真空泵通電試運轉(zhuǎn)時

41、，須取下電機皮帶，確認真空泵轉(zhuǎn)向符合規(guī)定方向方可投入使用，以防真空泵反轉(zhuǎn)噴油。（轉(zhuǎn)向按防護罩指示方向） 7、對于有冷卻水的真空泵，按規(guī)定接通冷卻水。 8、如真空泵口安裝電磁閥時，閥與真空泵應(yīng)同時動作。 9、當真空泵排出氣體影響工作環(huán)境時，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。 編輯本段注意事項真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此，為達到不同產(chǎn)品的工藝指標、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達到最佳配置，選擇真空系統(tǒng)時，

42、應(yīng)考慮下述各點： 確定工作真空范圍首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍，必須認真研究確定之。 確定極限真空度在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因為系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的最佳工作真空度。一般來講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。 被抽氣體種類與抽氣量檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。 真空容積檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。 考慮達到要求真空度

43、后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。 主真空泵的選擇計算s=2.303v/tlog(p1/p2) 其中： s為真空泵抽氣速率(l/s) v為真空室容積(l) t為達到要求真空度所需時間(s) p1為初始真空度(torr) p2為要求真空度(torr) 編輯本段機械使用真空泵（簡稱旋片泵）工作壓強范圍為1013251.3310-2（Pa）屬于低真空泵。它可以單獨使用，也可 環(huán)式真空泵以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵。它已廣泛地應(yīng)用于冶金、機械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門。 旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮(zhèn)裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但

44、它不適于抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣體。 旋片泵是真空技術(shù)中最基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級和雙級兩種。所謂雙級，就是在結(jié)構(gòu)上將兩個單級泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。 旋片泵的抽速與入口壓強的關(guān)系規(guī)定如下：在入口壓強為1333Pa、1.33Pa和1.3310-1（Pa）下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。 旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切（二者有很小的間隙），轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個旋片。旋轉(zhuǎn)時，靠離心力和

45、彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動。 兩個旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，當轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時，與吸氣口相通的空間A 的容積是逐漸增大的，正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大（即膨脹），氣體壓強降低，泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內(nèi)的壓強，因此將氣體吸入。當空間A與吸氣口隔絕時，即轉(zhuǎn)至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，最后與排氣口相通。當被壓縮氣體超過排氣壓強時，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油

46、箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運轉(zhuǎn)，達到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級（低真空級），由低真空級抽走，再經(jīng)低真空級壓縮后排至大氣中，即組成了雙級泵。這時總的壓縮比由兩級來負擔，因而提高了極限真空度。 編輯本段油的要求在真空泵中真空泵油不僅作為獲得真空的介質(zhì)，還對機械摩擦點起潤滑、冷卻和密封作用。 真空泵油主要性能要求： 極低的蒸氣壓這是真空泵油的最重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蠟基窄餾分潤滑油，對于擴散真空泵，還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。 合適的粘度和良好的粘溫特性真空泵腔內(nèi)容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應(yīng)具有合適的粘度和粘溫特性。 良好的

47、熱氧化安定性真空泵不斷向高速度發(fā)展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，油品很容易氧化分解，尤其擴散泵往往處于很高的溫度環(huán)境下工作，使系統(tǒng)內(nèi)蒸氣壓升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的熱氧化安定性。 良好的抗腐蝕性和抗乳化性真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會與油發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，腐蝕泵內(nèi)零件；吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。 較高的閃點主要要求真空泵中不攜帶輕質(zhì)組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。 較低的極限壓力極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標以了解在最低真空極限壓力下真空泵的極限壓力。 編輯本段維護保養(yǎng)1、經(jīng)常檢查油位位置，不

48、符合規(guī)定時須調(diào)整使之符合要求。以真空泵運轉(zhuǎn)時，油位到油標中心為準。 2、經(jīng)常檢查油質(zhì)情況，發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時更換新油，確保真空泵工作正常。 3、換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。一般新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時，建議在工作100小時左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后，以后可適當延長換油期限。 4、一般情況下，真空泵工作2000小時后應(yīng)進行檢修，檢查橡膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內(nèi)的零件，如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等。一般用汽油清洗，并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時應(yīng)輕拿輕放小心碰傷。

49、 5、有條件的對管中同樣進行清理，確保管路暢通。 6、重新裝配后應(yīng)進行試運行，一般須空運轉(zhuǎn)2小時并換油二次，因清洗時在真空泵中會留有一定量易揮發(fā)物，待運轉(zhuǎn)正常后，再投入正常工作。 7、檢查真空泵管路及結(jié)合處有無松動現(xiàn)象。用手轉(zhuǎn)動真空泵，試看真空泵是否靈活。 8、向軸承體內(nèi)加入軸承潤滑機油，觀察油位應(yīng)在油標的中心線處，潤滑油應(yīng)及時更換或補充。 9、擰下真空泵泵體的引水螺塞，灌注引水（或引漿）。 10、關(guān)好出水管路的閘閥和出口壓力表及進口真空表。 11、點動電機，試看電機轉(zhuǎn)向是否正確。 12、開動電機，當真空泵正常運轉(zhuǎn)后，打開出口壓力表和進口真空泵，視其顯示出適當壓力后，逐漸打開閘閥，同時檢查電機

50、負荷情況。 13、盡量控制真空泵的流量和揚程在標牌上注明的范圍內(nèi)，以保證真空泵在最高效率點運轉(zhuǎn)，才能獲得最大的節(jié)能效果。 14、真空泵在運行過程中，軸承溫度不能超過環(huán)境溫度35C，最高溫度不得超過80C 。 15、如發(fā)現(xiàn)真空泵有異常聲音應(yīng)立即停車檢查原因。 16、真空泵要停止使用時，先關(guān)閉閘閥、壓力表，然后停止電機。 17、真空泵在工作第一個月內(nèi)，經(jīng)100小時更換潤滑油，以后每個500小時，換油一次。 18、經(jīng)常調(diào)整填料壓蓋，保證填料室內(nèi)的滴漏情況正常（以成滴漏出為宜）。 19、定期檢查軸套的磨損情況，磨損較大后應(yīng)及時更換。 20、真空泵在寒冬季節(jié)使用時，停車后，需將泵體下部放水螺塞擰開將介質(zhì)

51、放凈。防止凍裂。 21、真空泵長期停用，需將泵全部拆開，擦干水分，將轉(zhuǎn)動部位及結(jié)合處涂以油脂裝好，妥善保管。 編輯本段國內(nèi)應(yīng)用中國生產(chǎn)真空泵的廠家很多，全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右，僅相當于美國Kinney公司一家真空泵的年銷售額。通過對全球真空泵市場的分析我們可以看出，各類真空泵的市場及應(yīng)用領(lǐng)域都在不斷變化和發(fā)展。中國真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎(chǔ)，國產(chǎn)真空泵已經(jīng)在各個不同領(lǐng)域得到應(yīng)用并經(jīng)過驗證，有些泵還出口國外，得到國外用戶的認可并受到好評，應(yīng)該說中國真空泵制造業(yè)在國內(nèi)外市場仍然有著巨大的發(fā)展空間。 液環(huán)泵雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵，但在中國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、

52、醫(yī)藥等領(lǐng)域仍然有著很大的市場。在國外，液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場的14%，僅次于干泵，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在中國投資建廠或建立銷售網(wǎng)絡(luò)，不斷擴大在中國的市場份額。由于液環(huán)泵大部分是鑄件，加工要求也不高，屬勞動密集型產(chǎn)品，所以國產(chǎn)液環(huán)泵在價格上有競爭優(yōu)勢，關(guān)鍵是要改進設(shè)計，縮小體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。 滑閥泵由于滑閥泵比較耐用、可靠，國內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進入國際市場，必須進一步降低泵的振動噪聲，杜絕噴油和漏油，提

53、高滑閥泵長期運行的可靠性。 直聯(lián)旋片泵隨著真空技術(shù)在各個應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴大，直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數(shù)量很多，加工裝配工作量很大，價格又很低，所以有的國外真空廠商在中國建立專業(yè)廠。國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過關(guān)，價格又遠比國外的泵便宜，所以國產(chǎn)泵仍然有競爭優(yōu)勢，關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問題，確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運行可靠，同時還要進一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。 羅茨泵從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷

54、售額的比例都沒超過5%，這5家總計才20%，羅茨泵產(chǎn)量不大，但國外羅茨泵的價格遠比國產(chǎn)泵要高得多。目前，國內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵，所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國內(nèi)市場基礎(chǔ)上設(shè)法進入國際市場，這樣就必須進一步降低國產(chǎn)羅茨泵的振動噪聲，徹底解決軸封漏油問題，改進泵的外觀質(zhì)量，提高泵內(nèi)的光潔度和清潔度。另外，還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長期運行的可靠性。 目前，國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快，技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以

55、冷卻轉(zhuǎn)子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì)，實際上也是屬于干泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機轉(zhuǎn)子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應(yīng)該在國內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。 分子泵分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。 由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時

56、間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130-150的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要。 干泵國外干泵市場的不斷增長，其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式

57、機械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa10-2Pa，抽速從20m3h500m3h。據(jù)統(tǒng)計，目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%，國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進口，其價格十分昂貴。所以，中國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵，使干泵成為中國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長點。 水環(huán)泵水環(huán)真空泵（簡稱水環(huán)泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為20004000Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達270670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機，稱為水環(huán)式壓縮機，是屬于低壓的壓縮機，其壓力范圍

58、為12105Pa表壓力。 水環(huán)泵最初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環(huán)泵得到廣泛的應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展，水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。 真空泵如圖：在泵體中裝有適量的水作為工作液。當葉輪按圖中順時針方向旋轉(zhuǎn)時，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)

59、表面恰好與葉輪輪轂相切，水環(huán)的上部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸（實際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入 深度）。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部0為起點，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180時小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時氣體被吸入，當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕；當葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當小腔與排氣口相通時，氣體便被排出泵外。 綜上所述，水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡谩?水環(huán)泵和其它類型的機械真空泵相比有如下優(yōu)點： 結(jié)構(gòu)簡單，制造精度要求不高，容易加工。 結(jié)構(gòu)緊

60、湊，泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高，一般可與電動機直聯(lián)，無須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。 壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。 由于泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面，無須對泵內(nèi)進行潤滑，而且磨損很小。轉(zhuǎn)動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。 吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，操作簡單，維修方便。 水環(huán)泵也有其缺點： 效率低，一般在30%左右，較好的可達50%。 真空度低，這不僅是因為受到結(jié)構(gòu)上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液，極限壓強只能達到20004000Pa。用油作工作液，可達130Pa。 總之，由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可以抽除易燃、易爆的氣