CF潔凈室溫度提升節(jié)能效益評估報(bào)告

1、 CF潔凈室溫度提升節(jié)能效益評估 目錄一、背景說明二、節(jié)能因數(shù)分析三、節(jié)能效果估算四、執(zhí)行計(jì)劃及風(fēng)險(xiǎn)五、需協(xié)調(diào)事項(xiàng)一、背景說明潔凈室溫度要求232，一般控制在23。近一周中控室顯示CF分廠平均溫度（22.82 23.15）如下圖：如在目前基礎(chǔ)上將潔凈室溫度提高1（仍滿足232 ，B1做過類似項(xiàng)目），將對減少空調(diào)能耗產(chǎn)生多少效益？-本次主要對此做專題說明。二、節(jié)能因素分析1、潔凈室氣流示意（MAU風(fēng)量=Exhaust+正壓泄漏量）DCC：溫度DCC：溫度MAU：新風(fēng)、正壓、濕度FFU：潔凈度、循環(huán)動(dòng)力潔凈區(qū)：232，555%Exhaust：制程排氣二、節(jié)能因素分析2. 潔凈室溫度提升1對空調(diào)能耗

2、的影響因素分析 機(jī)環(huán)4.室內(nèi)溫度上升，墻體傳熱量變化1.MAU送風(fēng)露點(diǎn)變化潔凈室溫度提升12.EXH排走的空氣溫度變化5.室內(nèi)溫度上升，生產(chǎn)機(jī)臺(tái)等的發(fā)熱量變化3.潔凈間正壓泄漏的空氣溫度變化二、節(jié)能因素分析3. 影響因素分析進(jìn)一步分析 類別影響因素影響分析結(jié)論機(jī)1.MAU送風(fēng)露點(diǎn)變化CR內(nèi)溫度提升，要保持相對濕度保持不變，空氣中含濕量增大。MAU送風(fēng)露點(diǎn)需要對應(yīng)提高。夏季外氣含濕量大，空調(diào)除濕量減少（節(jié)省低溫冷凍水用量）；冬季外氣含濕量小，空調(diào)加濕量增加（多耗熱水、RO水）。夏季：能耗減少冬季：能耗增加機(jī)2.EXH排走的空氣溫度變化CR內(nèi)溫度提升，EXH系統(tǒng)排走的空氣溫度升高，利于產(chǎn)線熱量排出

3、，節(jié)省DCC的冷凍水消耗量。能耗減少環(huán)3.潔凈間正壓泄漏的空氣溫度變化CR內(nèi)溫度提升，正壓泄漏的空氣溫度溫升高，利于產(chǎn)線熱量排出，節(jié)省DCC的冷凍水消耗量。能耗減少環(huán)4.室內(nèi)溫度上升，墻體傳熱量變化CR內(nèi)溫度提升，夏季室內(nèi)外溫差變小，室外透過墻體傳到室內(nèi)的熱變少，節(jié)省DCC的冷凍水消耗量；冬季室內(nèi)外溫差變大，室內(nèi)透過墻體傳到室外的熱變大，節(jié)省DCC的冷凍水消耗量。能耗減少環(huán)5.室內(nèi)溫度上升，生產(chǎn)機(jī)臺(tái)等的發(fā)熱量變化在過程中生產(chǎn)機(jī)臺(tái)產(chǎn)生的熱量沒有變化無影響三、節(jié)能效果估算MAU送風(fēng)露點(diǎn)升高影響估算 潔凈室溫度上升1，相對濕度保持不變（CF 55%）。對應(yīng)需要提高M(jìn)AU送風(fēng)露點(diǎn)0.93。夏季少耗冷，

4、冬季多耗熱。23 55%23 60%24 60%24 55%冬季夏季MAU除濕耗冷MAU加濕耗熱三、節(jié)能效果估算分廠MAU總風(fēng)量(萬CMH)MAU送風(fēng)露點(diǎn)變化（）露點(diǎn)變化量（）MAU空氣處理焓值變化（kj/kg）焓差（kj/kg）能量變化(kW)CF12013.32-14.250.9337.470-39.9472.477990.8能量變化（kW）：Q= Vh /3600（為空氣密度取=1.2 kg/m，V=風(fēng)量， h=焓差） 按設(shè)計(jì)（滿產(chǎn)）風(fēng)量CF潔凈室溫度上升1，MAU處理空氣后出風(fēng)焓值變化如下：夏季模式每小時(shí)可節(jié)約低溫冷凍水：990.8KW=281.7RT冬季模式每小時(shí)多耗kW熱量：990

5、.8KW冬季模式每小時(shí)多耗RO水：備注： 1.低溫冷凍水按0.65元/RT計(jì)算； 2.熱水按熱回收水0.045元/kW計(jì)算。 3.RO水按0.006元/kg計(jì)算。 按重慶氣候條件，一年中MAU將在夏季模式下運(yùn)行6個(gè)月可節(jié)費(fèi)（281.7RT*0.65元/RT*24小時(shí)*30天*6個(gè)月）791,013.6元，冬季模式下運(yùn)行4.5個(gè)月多消耗（990.8kW*0.045元/kW*24小時(shí)*30天*4.5個(gè)月）144,458.6元。冬季模式下運(yùn)行多消耗RO水費(fèi)（864*0.006*24小時(shí)*30天*4.5個(gè)月）16,796.2元。滿產(chǎn)時(shí)一年運(yùn)行可節(jié)約費(fèi)用： 791,013.6-144,458.6-16,

6、796.2=629,758.8元分廠MAU總風(fēng)量(萬CMH)MAU送風(fēng)露點(diǎn)變化（）露點(diǎn)變化量（）空氣絕對含濕量（g/kg）含濕量差值（g/kg）水量變化(kg)CF12013.32-14.250.939.6-10.20.6864水量變化（kg）：M= Vm /1000（為空氣密度取=1.2 kg/m，V=風(fēng)量， m=含濕量差值） 三、節(jié)能效果估算能量變化（kW）：Q= c Vt /3600（C為空氣比熱 C=1kj /kg，為空氣密度取=1.2 kg/m，V=風(fēng)量， t=溫度差） 2. Exhaust排氣、潔凈室正壓泄漏影響計(jì)算： 因MAU送風(fēng)量= Exhaust排氣量+潔凈室正壓泄漏量，若潔

7、凈室溫升1，排走空氣也溫升1。滿產(chǎn)時(shí)每小時(shí)可幫助DCC帶走熱量計(jì)算如下： 每小時(shí)可節(jié)約DCC中溫冷凍水： 400KW=113.7RT 潔凈室內(nèi)全年需制冷，滿產(chǎn)時(shí)一年運(yùn)行可節(jié)約費(fèi)用： 113.7RT*0.54元/RT*24小時(shí)*365天=537,846.5元分廠MAU總風(fēng)量(萬CMH)潔凈間溫度變化（）能量變化(kW)CF12023-24400備注：1.中溫冷凍水按0.54元/RT計(jì)算.三、節(jié)能效果估算3. 墻體傳熱影響： 此部分影響較小，難于估算，且無不利影響。故不做計(jì)算。 估算結(jié)果： 滿產(chǎn)時(shí)一年可節(jié)費(fèi)629,758.8+ 537,846.5 =1,167,605.3元。目前MAU風(fēng)量大約在50%60% 。預(yù)計(jì)一年可節(jié)費(fèi)70萬。 四、執(zhí)行計(jì)劃2. 執(zhí)行方式 通過調(diào)整DCC出風(fēng)溫度實(shí)現(xiàn)，并同時(shí)上調(diào)MAU出風(fēng)露點(diǎn)。調(diào)整完成后觀察1個(gè)月后結(jié)案。進(jìn)度計(jì)劃負(fù)責(zé)人主擔(dān)當(dāng)：馮文卯窗口：朱海能耗數(shù)據(jù)整理：潘德坤4/4調(diào)到23.35/18提出結(jié)案報(bào)告4/11調(diào)到23.74/18調(diào)到24.01. 時(shí)間計(jì)劃 本周與各工廠、PQE做確認(rèn)，下周開始執(zhí)行 3. 執(zhí)行風(fēng)險(xiǎn) a. 溫度變化可能對制程產(chǎn)生影響； b. 溫度從23 上調(diào)到24 后仍要控制在25以下，對空調(diào)溫度控制精度要求更高。五、需協(xié)調(diào)事項(xiàng)1. 工藝部門 請工藝部門