半導體劃片操作36p精選課件

1、劃片員工操作技術培訓1第1頁，共36頁。目錄1.劃片的目的2.DAD321型劃片機總介紹3.劃片流程及劃片前的檢查工作4.開機操作步驟5.機器的預熱6.操作面板各鍵的功能7.測高功能（Setup）8.DEVICE DATA 參數(shù)9.切割的操作10.劃片過程中的校準11.劃片刀的更換12.關機方法13.安全操作說明2第2頁，共36頁。1.劃片的目的將連在一起的芯片分成單個芯片。 已貼膜的硅片已劃過的硅片3第3頁，共36頁。2.DAD321型劃片機總介紹載盤監(jiān)視器急停按鈕電源開關電源指示燈BLADE冷卻水流量計SHOWER冷卻水流量計真空指示設備運行狀態(tài)指示燈顯微鏡操作面板防水蓋氣槍亮度調整旋鈕維

2、修開關焦距調整鈕4第4頁，共36頁。3.劃片工序流程5第5頁，共36頁。3.1 劃片刀是否已安裝好如果劃片刀沒有安裝,按照后面介紹的安裝步驟進行安裝劃片前的檢查工作3.2 去離子水壓力0.3MPa6第6頁，共36頁。3.4 活性劑打開相應劃片機的活性劑開關3.3 去離子水電阻率: 0.52M.cm實際去離子水電阻率值設定去離子水電阻率值7第7頁，共36頁。3.6 檢查沒有工具或異物在設備里.3.5 壓縮空氣打開8第8頁，共36頁。打開壓縮空氣開關，并確認機器的后面壓力表壓力在4.0-6.0kgf/C。4.開機操作步驟9第9頁，共36頁。打開主軸冷卻水和切割水開關。（要求壓力0.3MPa）打開機

3、器背后的主電源開關，確認電源指示等點亮并檢查機器前后EMO開關是否被打開。10第10頁，共36頁。旋轉機器前面板上的鑰匙開關到“ON”的位置。此時機器被打開（操作面板上自“SETUP”指示燈到“C/TVAC”指示燈依次閃爍），并在30秒后顯示器上將出現(xiàn)“DISCO”標記，然后進入主菜單。機器啟動完畢。注意: 關閉電源或按下急停按鈕后,等待一分鐘后才能重新啟動設備。關閉電源前確認主軸已停轉.11第11頁，共36頁。5.機器的預熱機器啟動后會提示“系統(tǒng)初始化”。按操作面板上“System initial”鍵，對機器系統(tǒng)進行初始化。大約30秒后，機器的各個軸將分別移動到它們的初始位置。按操作面板上“

4、F4”選好“DEVICE NO.”(劃片程序) ，然后按“ENTER”鍵確認。再按“EXIT”鍵返回主菜單。按操作面板上“SPINDLE”鍵，主軸被開啟并將逐步升到所選的“DEVICE NO.”中設定的主軸轉速。（在執(zhí)行此操作前，機器的防水蓋必須關好。）按操作面板上“CUT WATER”鍵，打開切割水。通過調節(jié)流量計，達到工藝要求設定的水流量(1.22.0L/min)。通過防水蓋觀察噴水是否正常。保持此狀態(tài)2分鐘，機器的預熱完畢。12第12頁，共36頁。單一功能鍵 輸入和編輯功能鍵軸的移動鍵備用鍵操作鍵6.操作面板各鍵的功能操作面板由五部分構成。13第13頁，共36頁。單一功能鍵：SET UP

5、用來做內定方式的“SETUP”DISPLAY MODE轉換不同的顯示模式，為能在顯示器上得到較合適的圖形效果。SYSTEM INITIAL執(zhí)行機器系統(tǒng)初始化操作。SPINDLE手動控制主軸旋轉和停止。CUT WATER手動控制切割水的開啟與關閉。CHUCK TABLE VAC控制工作盤的真空系統(tǒng)的開啟與關閉。14第14頁，共36頁。輸入和編輯功能鍵：09，數(shù)字鍵和小數(shù)點+/-輸入正值和負值。CE清除鍵。光標移動到下一個位置。ENTER輸入確認鍵或執(zhí)行功能鍵。EXIT退出當前被顯示的界面且返回前一個界面。他也可被用于取消一個操作。 光標移動鍵。HOME將光標返回到界面的內定原點位置鍵。F1F10

6、在操作界面中所使用的功能鍵。DEVICE DATA按此鍵可直接進入“DEVICE DATA”清單界面，以便選擇所需的“DEVICE DATA”。HAIR WIDE用來增大基準線寬度鍵。HAIR NARROW用來減小基準線寬度鍵。SHIFT換擋鍵。按亮此鍵后，鍵盤上左下方的符號才能被使用。15第15頁，共36頁。軸的移動鍵：INDEX按亮此鍵后，再按X軸、Y軸或軸時，它們將按照“DEVICE DATA”中設定的步進值移動。SLOW按亮此鍵后，再按X軸、Y軸或它們將按照操作維護參數(shù)中設定的低速值移動。XX軸左，右移動鍵。Y, YY軸前，后移動鍵。Z, ZZ軸上，下移動鍵。此操作僅在“CONDITI

7、ON”功能中才有效。 ， 軸的順時針與逆時針轉動鍵。16第16頁，共36頁。備用鍵：OPTION此鍵僅在某些設備選擇特殊功能后才起作用。操作鍵：ALARM CLEAR/HELP此鍵用來清除錯誤提示和消除報警聲音。START/STOP此鍵用來開始或暫停機器的切割。Z EMZ軸緊急制動鍵。按此鍵，Z軸升到最高點且X軸、Y軸、軸立刻停止運行，并發(fā)出報警聲。17第17頁，共36頁。7.測高功能（Setup）按“SPNDL”鍵，旋轉主軸。按“CUTWATER”鍵打開切割水，保持此狀態(tài)10分鐘。然后再按“CUT WATER”鍵關閉切割水，再按“SPINDLE”鍵停止主軸旋轉。若劃片機沒有非接觸傳感器（NC

8、S），按操作面板上的SETUP鍵測高。若劃片機有非接觸傳感器（NCS），設備斷電，關機后重新開機，壓縮空氣中斷后重新恢復正常，設備維護人員若移動了載盤需要按照下面的操作步驟執(zhí)行測高 。否則直接按操作面板上的“SETUP”按鍵測高在主菜單下，按“F5”鍵進入“BLADE MAINTENANCE”界面，再按F3鍵進入“SETUP”界面。按F4：傳感器校準“SETUP”（先執(zhí)行工作盤接觸“SETUP”，然后移到傳感器上，再做傳感器校準。這是為以后非接觸“setup”作基準參考值。）18第18頁，共36頁。無論選用那種“SETUP”，在執(zhí)行“SETUP”前，都應首先確認：主軸轉速、刀片外徑、工作盤尺寸

9、、工作盤種類。確認無誤后，按照屏幕提示執(zhí)行“SETUP”。注：在執(zhí)行非接觸“SETUP”和傳感器校準“SETUP”前，應確認非接觸傳感器（NCS）靈敏度的讀數(shù)在100%2%之間。從“BLADE MAINTENANCE”界面中，按F8進入非接觸“SETUP”傳感器清洗界面（或從非接觸“SETUP”界面中按F6也可進入該界面）。進入清洗界面后通過按F1和F2來分別控制水和氣的開閉，在僅打開氣的情況下檢查敏感器的值。如果敏感器的值低于98%，請用蘸了去離子水的棉簽清潔“NCS”的表面（切記不要用酒精棉球）并按F1打開水進行沖洗，然后關閉水并打開氣，檢查敏感器的值。反復幾次若還達不到要求，請維護人員來

10、調整“NCS”的放大器。如果敏感器的值高于102%，請維護人員來調整“NCS”的放大器。然后再做SETUP。非接觸傳感器(NCS)19第19頁，共36頁。8.DEVICE DATA 參數(shù)在主菜單下，按F4鍵，或者從操作面板上按“DEVICE DATA”鍵。進入“DEVICE DATA LIST”界面。20第20頁，共36頁。ROUND WORK SIZE ： 硅片直徑WORK THICKNESS ：硅片厚度。TAPE THICKNESS ：藍膜的厚度。BLADE HIGHT ：未切割的厚度。FEED SPEED ：切割時X軸（工作臺）移動的速度。Y INDEX CHI ：Y軸在CHI方向上的步

11、進量。 CH2 ：Y軸在CH2方向上的步進量。SPINDLE REV ：主軸轉速。21第21頁，共36頁。9.切割的操作切割前應首先確認操作面板上“SET UP”和“SYS INIT”鍵上方的指示燈是否點亮。如果“SYS INIT”鍵上方的指示燈沒有點亮，首先執(zhí)行系統(tǒng)初始化。（按“SYS INIT”鍵）如果“SET UP”鍵上方的指示燈沒有點亮，首先執(zhí)行“SETUP”操作 上述工作完成后，可以執(zhí)行切割操作。具體操作如下：從主菜單界面下，按F4進入“DEVICE DATA LIST”界面，通過光標選擇要使用的“DEVICE NO.”，按“ENTER”鍵進入該選用的“DEVICE DATA”中，確

12、認參數(shù)無誤后，按“EXIT”鍵，界面將返回主菜單。將被加工的工件放在工作盤上，按“C/T VAC”鍵，確認機器前面上的真空表指針是指在綠色區(qū)域內。22第22頁，共36頁。從主菜單界面上，可選擇切割方式。切割方式有兩種：F1：全自動切割在自動切割中，機器將連續(xù)的切割CH2和CH1。具體操作如下：（1）從主菜單界面上，按F1鍵，工作盤自動的移到顯微鏡下，此時自動切割界面出現(xiàn)，調整顯示器右邊的光線調節(jié)旋鈕和顯微鏡右側焦距調整鈕，使得工件在屏幕上清晰的顯示。（2）用“順時針旋轉”和 “逆時針旋轉”及Y和Y 鍵，在慢速狀態(tài)下，校準工件“CH1”角度。按F5（角度校準）鍵，工作盤自動的移到左邊，再進行校準

13、后，再按F5鍵工作盤自動的移到右邊。反復上述操作直到被切割工件的切割區(qū)與基準線平行為止。注意角度校準完畢后請按“順時針旋轉”鍵結束操作。此鍵也稱的離手鍵。（3）用Y和Y及“HAIR WIDE”和“HAIR NARROW”鍵，移動切割區(qū)與基準線重合并使基準線寬度與切割區(qū)相符。注意結束該校準前，請按Y鍵結束。此鍵也稱Y方向的離手鍵。（4）按亮“INDEX”鍵，用Y和Y鍵來確認Y步進值與被加工工件在CH1方向上的步進相符。（5）按“ENTER”鍵結束工件CH1的校準，此時工作盤將自動旋轉90度，以便執(zhí)行工件CH2的校準。方法同CH1校準相同。（6）按“ENTER”鍵結束CH2的校準后，按“START

14、”鍵開始執(zhí)行自動切割。此時機器上面的信號塔的綠燈亮起，主軸自動旋轉到設置的轉速，切割水自動打開。切割先從CH2切，待CH2切割完畢后，然后工作盤自動旋轉90度，開始CH1切割（CH2和CH1切割方向均為從前向后切），直到切割結束。（7）按“C/T VAC”鍵，再按“C/T VAC”鍵，工作盤自動的向右移動且顯微鏡移到后面，然后真空關閉。此時可取下工件。23第23頁，共36頁。F2: 半自動切割在半自動切割中，機器僅能切割一個CH。具體操作如下：（1）從主菜單下，按F2鍵，工作盤自動的移到顯微鏡下。此時半自動切割界面出現(xiàn)。通過調整顯示器右邊的光線調節(jié)旋鈕和顯微鏡右側的焦距調節(jié)旋鈕，使得工件在屏幕

15、上清晰的顯示。（2）按F4鍵，單一街區(qū)校準界面出現(xiàn)。CH1的校準和切割區(qū)與基準線校準及步進效驗方法同自動切割相同。（3）完成上述調整后，在執(zhí)行切割前，應通過選擇F5（向后切）和F10（向前切）來選擇切割方向。確認切割方向后，按“START”鍵，此時半自動切割開始，機器上面的信號塔的綠燈亮起，主軸自動旋轉到設置的轉速，切割水自動打開。直到CH1切割完畢。注意：切割的起始點，可以自選。（4）按“C/T VAC” 鍵，再按“C/T VAC”鍵，工作盤自動的向右移動且顯微鏡移到后面，然后真空關閉。此時可取下工件。24第24頁，共36頁?；鶞示€校準修正：在切割中，為了使切割痕與基準線保持一致即，使切割在

16、所校準的位置上執(zhí)行而作的修正。具體操作如下： （1）在切割過程，按“START/STOP”鍵，機器會暫停切割，工作盤移動顯微鏡下， 修正界面出現(xiàn)。 （2）用Y或Y鍵使基準線與實際的切割痕調到相吻合。注意：應用Y結束調整。 （3）按F1鍵，機器將修正基準線與切割痕的偏差。 （4）按“START/STOP”鍵，機器將重新開始切割。 （5）再按“START/STOP”鍵，檢查修正是否精確，如若需要繼續(xù)修正，重復上述過程。 （6）按“START/STOP”鍵，機器重新開始切割。10.劃片過程中的校準25第25頁，共36頁。切割位置修正： 在切割中，為了使切割痕位置處于切割區(qū)的中心所作的修正。這一操作在

17、軟刀換硬刀,硬刀換軟刀時尤其重要。具體操作如下： （1）在切割過程，按“START/STOP”鍵，機器會暫停切割，工作盤移動顯微鏡下， 修正界面出現(xiàn)。注意：若發(fā)現(xiàn)基準線與切割痕不重合應首先做基準線與切割痕的修正。 （2）用Y或Y鍵將基準線與切割區(qū)調到相吻合。注意：應用Y結束調整。 （3）按F5鍵，機器將修正切割痕與切割區(qū)位置的偏差。 （4）按“START/STOP”鍵，機器將重新開始切割。 （5）再按“START/STOP”鍵，檢查修正是否精確，如若需要繼續(xù)修正，重復上述過程。 （6）按“START/STOP”鍵，機器重新開始切割。26第26頁，共36頁。切割速度的改變： 在切割進行或切割暫停

18、中，切割速度可以被改變。具體方法如下: 在切割進行中的方法： （1）在切割界面中，用數(shù)字鍵在“速度改變”欄中，輸入新的速度。 （2）按F7鍵，機器在切下一線時，開始執(zhí)行新的速度。 在切割暫停中的方法： （1）在切割暫停界面中，用數(shù)字鍵在“速度改變”欄中，輸入新的速度。 （2）按F7鍵，再按“START/STOP”鍵，機器在切下一線時，開始執(zhí)行新的速度。27第27頁，共36頁。11.劃片刀的更換在主菜單界面下，按F5鍵，進入“刀片維護”界面，然后再按F1鍵，進入“刀片更換”界面。此時主軸停止旋轉，切割水停止噴出且Y軸向后移動到換刀位置。打開防水蓋，取下前噴水蓋。如若機器帶“BBD”（刀片破損檢測

19、器），還應將“BBD”升到最高點，以便卸刀。使用換刀工具卸下固定刀的螺母，取下刀片。28第28頁，共36頁。用蘸了去離子水的棉簽清潔“BBD”傳感器的表面（切記不要用酒精棉球） ，按F10鍵，進入“刀片破損檢測的調整”界面。檢查靈敏度的讀數(shù)是否在90%至100%范圍。反復清潔幾次，仍達不到要求，找設備維護人員執(zhí)行放大器調整，使之達到正常范圍內。裝上新的刀片，并確認刀片與刀架之間應接觸良好。用設有大于30kgf.cm扭力矩上緊刀片固定螺母。如若機器帶“BBD”（刀片破損檢測器），調節(jié)BBD的下降旋鈕并在“刀片破損檢測的調整”界面中檢查并確認敏感器電壓在515%之間。BBD傳感器29第29頁，共3

20、6頁。檢查并確認刀片種類、規(guī)格是否正確。否則按F5進入，再按F10鍵，進入刀片庫中選出正確的規(guī)格。硬刀選用27HECC,軟刀選用SOFTBLADE再退回“刀片更換”界面，此時界面已經更換了新的種類及規(guī)格?；蛘呤謩虞斎氲镀母黜梾?shù)。將光標移到“新/舊”攔，按F1鍵，選擇新刀或舊刀。硬刀換軟刀或軟刀換硬刀時要更改主軸轉速和使用壽命。硬刀: 30000rpm, 4500feet軟刀: 18000rpm,850feet再按“ENTER”鍵確認刀片已更換。裝上前噴水蓋，關上防水蓋。按“SYS INIT”鍵，機器執(zhí)行初始化。按“EXIT”鍵，界面將返回“刀片維護”界面，再按“EXIT”鍵，界面將返回主菜

21、單界面。更換新刀片后,會自動調用磨刀程序。30第30頁，共36頁。硬刀裝配示意圖31第31頁，共36頁。軟刀裝配示意圖32第32頁，共36頁。按”EXIT”將畫面退到主菜單界面下。讓主軸帶著切割水自由運轉5到15分鐘。關閉切割水，再讓主軸自由運轉15分鐘。關閉主軸，按“SYS INIT”鍵，對機器做初始化。用X軸方向鍵，移動工作盤到左端。打開防水蓋。戴好防護手套，用鑷子將碎屑撿出，再用軟刷清理右邊“BELLOW”上的贓物。關上防水蓋，用X軸方向鍵移動工作盤到右端。打開防水蓋，用鑷子將碎屑揀出，再用軟刷清理左邊“BELLOW”上的贓物。關上防水蓋，按“SYSINIT”鍵，對機器做初始化。將機器前面板上的鑰匙旋轉到“OFF”位置，此時鑰匙上方的電源指示燈熄滅。將機器后面電路斷路開關旋轉到“OFF”位置。關掉變壓器開關。關掉主軸冷卻水和切割水以及壓縮空氣的閥門。12.關機方法33第33頁，共36頁。13.安全操作說明 13.1 只有在劃片刀軸停止轉動后，才能去掉保護裝置。 13.2 當機器處于工作裝態(tài)時，不要把手或其它東西放在機器運動部件的