MEMS傳感器及其應(yīng)用研究

1、MEMS傳感器及其應(yīng)用 徐敏敏 池明敏 黃夏靜 滕風(fēng)輝 張曉雯 王春柱 余莉莉 周彥祺 黃鈺葭 黃道目錄1 引言2.MEMS的發(fā)展歷史3.什么是MEMS傳感器4.MEMS傳感器的特點(diǎn)5.MEMS傳感器的研究?jī)?nèi)容6.MEMS在各個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用7.MEMS相關(guān)公司介紹8.MEMS的封裝MEMS的發(fā)展歷史MEMS第一輪商業(yè)化浪潮始于20世紀(jì)70年代末80年代初，當(dāng)時(shí)用大型蝕刻硅片結(jié)構(gòu)和背蝕刻膜片制作壓力傳感器。由于薄硅片振動(dòng)膜在壓力下變形，會(huì)影響其表面的壓敏電阻曲線，這種變化可以把壓力轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。后來(lái)的電路則包括電容感應(yīng)移動(dòng)質(zhì)量加速計(jì)，用于觸發(fā)汽車安全氣囊和定位陀螺儀。 第二輪商業(yè)化出現(xiàn)于20世紀(jì)9

2、0年代，主要圍繞著PC和信息技術(shù)的興起。TI公司根據(jù)靜電驅(qū)動(dòng)斜微鏡陣列推出了投影儀，而熱式噴墨打印頭現(xiàn)在仍然大行其道。 第三輪商業(yè)化可以說(shuō)出現(xiàn)于世紀(jì)之交，微光學(xué)器件通過(guò)全光開關(guān)及相關(guān)器件而成為光纖通訊的補(bǔ)充。盡管該市場(chǎng)現(xiàn)在蕭條，但微光學(xué)器件從長(zhǎng)期看來(lái)將是MEMS一個(gè)增長(zhǎng)強(qiáng)勁的領(lǐng)域。 目前MEMS產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)的新趨勢(shì)是產(chǎn)品應(yīng)用的擴(kuò)展，其開始向工業(yè)、醫(yī)療、測(cè)試儀器等新領(lǐng)域擴(kuò)張。推動(dòng)第四輪商業(yè)化的其它應(yīng)用包括一些面向射頻無(wú)源元件、在硅片上制作的音頻、生物和神經(jīng)元探針，以及所謂的片上實(shí)驗(yàn)室生化藥品開發(fā)系統(tǒng)和微型藥品輸送系統(tǒng)的靜態(tài)和移動(dòng)器件。 引言 傳感器種類多樣，因此根據(jù)用途、原理都有特定的分類。例如 霍

3、爾傳感器、溫度傳感器、壓力傳感器等等。而傳感技術(shù)在近年來(lái)也得到了長(zhǎng)足的發(fā)展，MEMS 就是最具代表性的例子，MEMS技術(shù)讓我們能夠在有限的空間內(nèi)最大限度地發(fā)揮傳感器的功能，廣泛用于多種場(chǎng)合。那么什么是MEMS呢？ 什么是MEMS傳感器?微機(jī)電系統(tǒng)（Microelectromechanical Systems，MEMS）是將微電子技術(shù)與機(jī)械工程融合到一起的一種工業(yè)技術(shù)，它的操作范圍在微米范圍內(nèi)。比它更小的，在納米范圍的類似的技術(shù)被稱為納機(jī)電系統(tǒng)。 MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的微型機(jī)電系統(tǒng)。 MEMS特點(diǎn)微型化智能化多功能高集成

4、度適于大批量生產(chǎn) MEMS研究?jī)?nèi)容MEMS技術(shù)的目標(biāo)是通過(guò)系統(tǒng)的微型化、集成化來(lái)探索具有新原理、新功能的元件和系統(tǒng)。MEMS技術(shù)是一種典型的多學(xué)科交叉的前沿性研究領(lǐng)域，幾乎涉及到自然及工程科學(xué)的所有領(lǐng)域，如電子技術(shù)、機(jī)械技術(shù)、物理學(xué)、化學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、能源科學(xué)等。其研究?jī)?nèi)容一般可以歸納為以下三個(gè)基本方面：一、MEMS理論基礎(chǔ)在當(dāng)前MEMS所能達(dá)到的尺度下，宏觀世界基本的物理規(guī)律仍然起作用，但由于尺寸縮小帶來(lái)的影響（Scaling Effects），許多物理現(xiàn)象與宏觀世界有很大區(qū)別，因此許多原來(lái)的理論基礎(chǔ)都會(huì)發(fā)生變化，如力的尺寸效應(yīng)、微結(jié)構(gòu)的表面效應(yīng)、微觀摩擦機(jī)理等，因此有必要對(duì)微動(dòng)力學(xué)

5、、微流體力學(xué)、微熱力學(xué)、微摩擦學(xué)、微光學(xué)和微結(jié)構(gòu)學(xué)進(jìn)行深入的研究。這一方面的研究雖然受到重視，但難度較大，往往需要多學(xué)科的學(xué)者進(jìn)行基礎(chǔ)研究。二、MEMS技術(shù)基礎(chǔ) MEMS的技術(shù)基礎(chǔ)可以分為以下幾個(gè)方面：（1）設(shè)計(jì)與仿真技術(shù)；（2）材料與加工技術(shù)；（3）封裝與裝配技術(shù)；（4）測(cè)量與測(cè)試技術(shù)；（5）集成與系統(tǒng)技術(shù)等 三、MEMS應(yīng)用研究 人們不僅要開發(fā)各種制造MEMS的技術(shù)，更重要的是如何將MEMS技術(shù)與航空航天、信息通信、生物化學(xué)、醫(yī)療、自動(dòng)控制、消費(fèi)電子以及兵器等應(yīng)用領(lǐng)域相結(jié)合，制作出符合各領(lǐng)域要求的微傳感器、微執(zhí)行器、微結(jié)構(gòu)等MEMS器件與系統(tǒng)。MEMS還用于大量聲波雙工器（BulkAcou

6、sticWaveduplexer）與濾波器、麥克風(fēng)、MEMS自動(dòng)聚焦致動(dòng)器、壓力感測(cè)器、MEMS微微型投影儀，甚至MEMS陀螺儀。 MEMS壓力傳感器原理 目前的MEMS壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器，兩者都是在硅片上生成的微機(jī)電傳感器。硅壓阻式壓力傳感器是采用高精密半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測(cè)量電路的，具有較高的測(cè)量精度、較低的功耗，極低的成本。惠斯頓電橋的壓阻式傳感器，如無(wú)壓力變化，其輸出為零，幾乎不耗電。其電原理如圖1所示。硅壓阻式壓力傳感器其應(yīng)變片電橋的光刻版本如圖2。MEMS壓力傳感器MEMS壓力傳感器廣泛應(yīng)用于汽車電子：如TPMS（輪胎壓力監(jiān)測(cè)系

7、統(tǒng)）、發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力傳感器、汽車剎車系統(tǒng)空氣壓力傳感器、汽車發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣歧管壓力傳感器（TMAP）、柴油機(jī)共軌壓力傳感器;消費(fèi)電子，如胎壓計(jì)、血壓計(jì)、櫥用秤、健康秤，洗衣機(jī)、洗碗機(jī)、電冰箱、微波爐、烤箱、吸塵器用壓力傳感器、洗衣機(jī)、飲水機(jī)、洗碗機(jī)、太陽(yáng)能熱水器用液位控制壓力傳感器;工業(yè)電子，如數(shù)字壓力表、數(shù)字流量表、工業(yè)配料稱重等。 典型的MEMS壓力傳感器典型的MEMS壓力傳感器管芯（die）結(jié)構(gòu)和電原理如圖7所示，左是電原理圖，即由電阻應(yīng)變片組成的惠斯頓電橋，右是管芯內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖。典型的MEMS壓力傳感器管芯可以用來(lái)生產(chǎn)各種壓力傳感器產(chǎn)品，如圖8所示。MEMS壓力傳感器管芯可以與儀表放大器和A

8、DC管芯封裝在一個(gè)封裝內(nèi)（MCM），使產(chǎn)品設(shè)計(jì)師很容易使用這個(gè)高度集成的產(chǎn)品設(shè)計(jì)最終產(chǎn)品。 在軍事中的應(yīng)用 作為一個(gè)在海上應(yīng)用的實(shí)例 ,MEMS引信 /保險(xiǎn)和引爆F(xiàn)/SA 裝置已成功地用于潛艇魚雷對(duì)抗武器上。引信 /保險(xiǎn)和引爆裝置的工作包括 3個(gè)獨(dú)立步驟:發(fā)射魚雷后 ,解除炸藥保險(xiǎn)、引爆 引信 和防止在不正確時(shí)間爆炸保險(xiǎn) 。陸地上的應(yīng)用包括靈活且堅(jiān)固的爆破裝置、發(fā)射裝置和其他使用 MEMS慣性制導(dǎo)系統(tǒng)的武器平臺(tái)。MEMS輪胎壓力傳感器已經(jīng)用在美國(guó)軍隊(duì)裝甲運(yùn)兵車的輪胎中。分布式戰(zhàn)場(chǎng)微型傳感器網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)是可以準(zhǔn)確地探測(cè)與查明敵人的作戰(zhàn)部署與軍隊(duì)調(diào)動(dòng)的新型探測(cè)裝置 ,這種微型機(jī)電系統(tǒng)在布設(shè)、耐久和易損

9、性等方面有明顯的優(yōu)點(diǎn)。在空中應(yīng)用方面 ,MEMS壓力傳感器已在 F-14戰(zhàn)斗機(jī)彈射座的助推火箭上進(jìn)行了測(cè)試 。噴射式渦輪發(fā)動(dòng)機(jī)使用的適于在惡劣環(huán)境下工作的材料 ,被用于各種監(jiān)視該類發(fā)動(dòng)機(jī)內(nèi)部動(dòng)力學(xué)特性的傳感器上。 生物醫(yī)療和生物醫(yī)學(xué)方面的應(yīng)用 微機(jī)械技術(shù)在生物醫(yī)療中的應(yīng)用尤其令人驚嘆。例如:將微型傳感器用口服或皮下注射法送入人體 ,就可對(duì)體內(nèi)的五臟六腑進(jìn)行直接有效的監(jiān)測(cè) 。將特制的微型機(jī)器人送入人體 ,可刮去導(dǎo)致心臟病的油脂沉積物 ,除去體內(nèi)的膽固醇 ,可探測(cè)和清除人體內(nèi)的癌細(xì)胞 ,進(jìn)行視網(wǎng)膜開刀時(shí) ,大夫可將遙控機(jī)器人放入眼球內(nèi) ,在細(xì)胞操作、細(xì)胞融合、精細(xì)外科、血管、腸道內(nèi)自動(dòng)送藥等方面應(yīng)

10、用甚廣。MEMS的微小 可進(jìn)入很小的器官和組織 和智能 能自動(dòng)地進(jìn)行細(xì)微精確的操作 的特點(diǎn) ,可大大提高介入治療的精度 ,直接進(jìn)入相應(yīng)病變地進(jìn)行工作 ,降低手術(shù)風(fēng)險(xiǎn)。同時(shí) ,可進(jìn)行基因分析和遺傳診斷 ,利用微加工技術(shù)制造各種微泵、微閥、微攝子、微溝槽、微器皿和微流量計(jì)的器件適合于操作生物細(xì)胞和生物大分子。所以 ,微機(jī)械在現(xiàn)代醫(yī)療技術(shù)中的應(yīng)用潛力巨大 ,為人類最后征服各種絕癥延長(zhǎng)壽命帶來(lái)了希望。游戲機(jī)游戲機(jī)是運(yùn)動(dòng)跟蹤和手勢(shì)識(shí)別應(yīng)用的突出代表，以具有革命性的任天堂Wii游戲機(jī)為例，微型運(yùn)動(dòng)傳感器能夠捕捉到玩家任何細(xì)微的動(dòng)作，并將其轉(zhuǎn)化成游戲動(dòng)作。MEMS技術(shù)讓玩家動(dòng)起來(lái)，玩家陶醉于真實(shí)的游戲體驗(yàn)，

11、通過(guò)不同的動(dòng)作融入到游戲中。例如，模仿一場(chǎng)真實(shí)的網(wǎng)球賽、一場(chǎng)引人入勝高爾夫球賽、一場(chǎng)緊張的拳擊賽或輕松的釣魚比賽的動(dòng)作等（圖3）。圖3：MEMS使玩家動(dòng)起來(lái) 圖 4：MEMS運(yùn)動(dòng)控制式用戶界面 MEMS加速計(jì)MEMS技術(shù)在手機(jī)和PDA中的使用率正在提高，目前市場(chǎng)上采用MEM加速計(jì)的手機(jī)越來(lái)越多。手機(jī)中的MEMS加速計(jì)使人機(jī)界面變得更簡(jiǎn)單、更直觀，通過(guò)手的動(dòng)作就可以操作界面功能，全面增強(qiáng)了用戶的使用體驗(yàn)。 基于MEMS的線性加速計(jì)MEMS加速計(jì)根據(jù)終端設(shè)備的指向，MEMS傳感器可以把圖像、視頻和網(wǎng)頁(yè)(無(wú)論是人物肖像還是風(fēng)景畫面)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。通過(guò)上下左右傾斜手機(jī)，還可以查看手機(jī)菜單；只要輕輕擊打手機(jī)

12、機(jī)身，就可以在屏幕上選中不同的圖標(biāo)，所有這些智能功能離不開新一代MEMS器件內(nèi)嵌的先進(jìn)數(shù)字技術(shù)。有了MEMS加速計(jì)，只要把設(shè)備向某一方向傾斜，就能在小屏幕上詳細(xì)查看地圖，顯示放大的圖像。MEMS還能檢測(cè)到用戶抖動(dòng)手機(jī)和MP3播放器的動(dòng)作，這個(gè)簡(jiǎn)單的手勢(shì)可以讓播放器跳到下一首歌或返回到上一首歌。低功耗的MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器還可用作先進(jìn)的節(jié)能技術(shù)，當(dāng)手機(jī)沒有關(guān)閉放在飯桌上時(shí)，MEMS傳感器將會(huì)把耗電大的模塊(如顯示器背光板和GPS模塊)全部關(guān)閉，以降低手機(jī)和便攜導(dǎo)航儀的能耗。只要碰觸一下機(jī)身，又可以打開全部功能。同樣地，無(wú)論何時(shí)，把手機(jī)正面向下反放在桌子上，手機(jī)設(shè)置就會(huì)切換到靜音模式；只要碰觸一下機(jī)

13、身，就可以關(guān)閉靜音功能。MEMS運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)折射出了未來(lái)手機(jī)的樣子：只有數(shù)量很少的按鍵，不再有普通的鍵盤。向手機(jī)輸入信息時(shí)，用戶在空中書寫數(shù)字和字母，MEMS傳感器識(shí)別這些動(dòng)作，手機(jī)軟件將這些動(dòng)作還原成數(shù)字和字母；軟件還可以把用戶預(yù)定的動(dòng)作變成特殊的自定義功能。MEMS加速計(jì)與陀螺儀配合使用，可以把更先進(jìn)的選擇功能變?yōu)楝F(xiàn)實(shí)，例如：能夠在空中操作的三維鼠標(biāo)和遙控器。在這些設(shè)備中，傳感器檢測(cè)到用戶的手勢(shì)，將其轉(zhuǎn)換成PC屏幕上的光標(biāo)移動(dòng)或機(jī)頂盒和電視機(jī)的頻道和功能選擇。圖5是一個(gè)含有MEMS傳感器的遙控器解決方案，MEMS傳感器組、兩個(gè)陀螺儀和一個(gè)加速計(jì)檢測(cè)手腕或鼠標(biāo)在空中的動(dòng)作，同時(shí)微控制器執(zhí)行動(dòng)

14、作跟蹤和手勢(shì)識(shí)別功能。然后，重組的運(yùn)動(dòng)曲線通過(guò)無(wú)線連接發(fā)送到機(jī)頂盒或PC機(jī)，無(wú)線鏈路可以采用紅外或射頻，具體視應(yīng)用要求而定。圖7 在汽車領(lǐng)域，MEMS被用于導(dǎo)航和信息娛樂設(shè)備中 MEMS陀螺儀 陀螺儀能夠測(cè)量沿一個(gè)軸或幾個(gè)軸運(yùn)動(dòng)的角速度，是補(bǔ)充MEMS加速計(jì)功能的理想技術(shù)。事實(shí)上，如果組合使用加速計(jì)和陀螺儀這兩種傳感器，系統(tǒng)設(shè)計(jì)人員就可以跟蹤并捕捉三維空間的完整運(yùn)動(dòng)，為最終用戶提供現(xiàn)場(chǎng)感更強(qiáng)的用戶使用體驗(yàn)、精確的導(dǎo)航系統(tǒng)以及其它功能。陀螺儀在系統(tǒng)方面，陀螺儀的信號(hào)調(diào)節(jié)電路可簡(jiǎn)化為電機(jī)驅(qū)動(dòng)部分和加速傳感器感應(yīng)電路兩部分：- 電機(jī)驅(qū)動(dòng)部分通過(guò)靜電驅(qū)動(dòng)方法，使機(jī)械元件前后振蕩，產(chǎn)生諧振;- 感應(yīng)部分

15、通過(guò)測(cè)量電容變化來(lái)測(cè)量科里奧利力在感應(yīng)質(zhì)點(diǎn)上產(chǎn)生的位移，這是一個(gè)穩(wěn)健、可靠的技術(shù)，被成功地用于ST的MEMS產(chǎn)品線，能夠提供強(qiáng)度與施加在傳感器上的角速率成正比的模擬或數(shù)字信號(hào)。iPhone目前大多數(shù)手機(jī)都含有MEMS傳感器實(shí)現(xiàn)重力加速計(jì)和陀螺儀的功能，例如被用在iPhone中。通過(guò)對(duì)旋轉(zhuǎn)時(shí)運(yùn)動(dòng)的感知，iPhone可以自動(dòng)地改變橫豎屏顯示，以便消費(fèi)者能夠以合適的水平和垂直視角看到完整的頁(yè)面或者數(shù)字圖片。iPhone4到底用上了哪些傳感器呢？iPhone4中的傳感器1)影像傳感器 簡(jiǎn)單說(shuō)就是相機(jī)鏡頭，由于只牽涉到微光學(xué)與微電子，沒有機(jī)械成份在里頭，即便加入馬達(dá)、機(jī)械驅(qū)動(dòng)的鏡頭，這類的機(jī)械零件 也過(guò)

16、大，不到微的地步，所以此屬于光電半導(dǎo)體，屬于光學(xué)、光電傳感器。2)亮度傳感器外界并不清楚iPhone4用何種方式感應(yīng)環(huán)境光亮度，而最簡(jiǎn)單的實(shí)現(xiàn)方式是用一個(gè)光敏電阻，或者，iPhone4直接用影像傳感器充當(dāng)亮度偵測(cè)，也是可行。無(wú)論如此，此亦不帶機(jī)械成份，屬于光電類傳感器，甚至可能不是微型的，只是一般光學(xué)、光電傳感器。3)磁阻傳感器簡(jiǎn)單講就是感測(cè)地磁，這樣講還是太學(xué)名，感應(yīng)地磁就是指南針原理，將這種地磁感應(yīng)電子化、數(shù)字化，就稱為數(shù)字指南針（DigitalCompass）。老實(shí)說(shuō)，數(shù)字指南針技術(shù)比較偏玩具性，因?yàn)橛脕?lái)感測(cè)地磁的磁阻傳感器，很容易受環(huán)境影響（如高壓電塔旁、馬達(dá)旁），必須時(shí)時(shí)校正才有用。

17、iPhone4中的傳感器4)近接傳感器近接傳感器的實(shí)現(xiàn)技術(shù)非常多種，可以是紅外線（例如便利商店的自動(dòng)門、公共廁所的自動(dòng)沖水器），可以是超音波、雷射等。同樣的，Apple沒講，我們只能亂猜或盡可能網(wǎng)搜，不過(guò)，近接傳感器也沒有迫切微型化的需要，不在熱門MEMS組件之列。5)聲波傳感器學(xué)名聲波傳感器，俗名麥克風(fēng)。是的，iPhone4為了強(qiáng)化聲音質(zhì)量，使用2組麥克風(fēng)與相關(guān)運(yùn)算來(lái)達(dá)到降噪（降低噪音）的效果，這種技術(shù)稱為數(shù)組麥克風(fēng)（ArrayMIC），事實(shí)上早在Apple實(shí)行之前，2004年Wintel就已經(jīng)在PC上提出過(guò)，差別是Apple用于手機(jī)，Wintel用于PC。麥克風(fēng)需要微型化嗎？是的，需要，相

18、當(dāng)需要，且使用一個(gè)以上的麥克風(fēng)，麥克風(fēng)的體積縮小需求就更迫切，麥克風(fēng)也牽涉到機(jī)械（聲波會(huì)使微型機(jī)械振動(dòng)），并將機(jī)械振動(dòng)轉(zhuǎn)換成電子信號(hào)，因此微型化的麥克風(fēng)，是個(gè)不折不扣的MEMS傳感器。iPhone4中的傳感器6)加速度傳感器俗稱加速規(guī)、G-Sensor，可以感應(yīng)物體的加速度性。事實(shí)上加速度傳感器的實(shí)現(xiàn)方式也是許多種，MEMS只是手法之一，用MEMS實(shí)現(xiàn)加速度傳感器確實(shí)是目前的趨勢(shì)。加速度傳感器一般有X、Y兩軸與X、Y、Z三軸兩種，兩軸多用于車、船等平面移動(dòng)為多，三軸多用于飛彈、飛機(jī)等飛行物。而不用多說(shuō)，Wii遙控器也是用三軸，iPhone可以感應(yīng)實(shí)體翻轉(zhuǎn)而自動(dòng)對(duì)應(yīng)翻轉(zhuǎn)畫面，也是靠這個(gè)傳感器。7

19、)角加速度傳感器更簡(jiǎn)單講就是陀螺儀，陀螺儀實(shí)現(xiàn)技術(shù)有機(jī)械式與光學(xué)（紅外線、雷射）式，第六項(xiàng)的加速度傳感器比較能感測(cè)平移性，但對(duì)于物體有個(gè)軸心，進(jìn)行角度性的移動(dòng)，則其感應(yīng)效果不如陀螺儀好，所以許多應(yīng)用多半是混何使用加速度傳感器與陀螺儀，而今iPhone4也從善如流。不過(guò)，iPhone4確實(shí)是率先使用陀螺儀的手機(jī)。說(shuō)了這么多，真的稱得上MEMS傳感器的，其實(shí)只有麥克風(fēng)、加速度傳感器、陀螺儀三個(gè)，其他的傳感器多是夸大延伸，不是不用微型化，就是根本沒用及機(jī)械技術(shù)。MEMS的公司從全球看，MEMS產(chǎn)品是由一些美國(guó)和亞洲公司開發(fā)的，包括意法半導(dǎo)體（ST）、og Devices公司（ADI）、惠普公司（HP

20、）、德州儀器公司（TI），以及Memsic公司。下文將介紹各個(gè)制造商及其主要MEMS產(chǎn)品的現(xiàn)況。意法半導(dǎo)體公司意法半導(dǎo)體公司是最大的MEMS制造商之一，提供單軸和多軸陀螺儀的廣泛選擇，各種滿量程區(qū)間，適用于數(shù)位相機(jī)和數(shù)位錄像機(jī)的影像穩(wěn)定，以及提高戲應(yīng)用中的用戶體驗(yàn)。ST公司還提供3軸陀螺儀，能精確地測(cè)量沿三個(gè)正交軸的角速度。另外，STM還用下一代微電機(jī)聲學(xué)器件擴(kuò)展了自己的產(chǎn)品組合。創(chuàng)新的MEMS麥克風(fēng)采用了Omron的傳感器技術(shù)，能夠大幅地提高聲音質(zhì)量，有出色的可靠性、健壯性，同時(shí)對(duì)現(xiàn)有/新興音頻應(yīng)用都有很好的成本效益，如手機(jī)、無(wú)線設(shè)備以及手持戲機(jī)等。關(guān)鍵是，MEMS麥克風(fēng)可以做得比最小的駐極

21、體電容式麥克風(fēng)（electrets condenser microphone）還要小，而對(duì)度變化、機(jī)械振動(dòng)和電磁干擾更不敏感。 ADI公司ADI公司同時(shí)提供類比與數(shù)位型的全向MEMS麥克風(fēng)。最近，ADI與英飛凌科技公司商定共同發(fā)展下一代的汽車氣囊安全系統(tǒng)。這個(gè)ADI-英飛凌合作計(jì)劃將確保兩家公司相應(yīng)產(chǎn)品發(fā)展藍(lán)圖的協(xié)調(diào)一致，以及各自傳感器與芯片組的互通性。這個(gè)合作也將加速先進(jìn)氣囊系統(tǒng)的發(fā)展，為安全系統(tǒng)供應(yīng)商和OEM商提供一個(gè)完整的設(shè)計(jì)平臺(tái)，從而實(shí)現(xiàn)一種可靠、具成本效益和易于使用的先進(jìn)氣囊方案。惠普公司惠普公司最近推出一種慣性探測(cè)技術(shù)（inertial sensing technology），能夠用來(lái)開發(fā)可當(dāng)作高階傳感器使用的數(shù)位MEMS加速度計(jì)。HP預(yù)計(jì)該技術(shù)將使芯片的靈敏度比今天市場(chǎng)上的批量產(chǎn)品提高1000倍。這種傳感器是以該公司已率先商業(yè)應(yīng)用在其打印機(jī)墨盒的MEMS技術(shù)為基礎(chǔ)。 MEMS的封裝顯然地，MEMS已在我們今天常生活中的各種應(yīng)用中扎下根基。其普及的主要?jiǎng)恿?lái)自于成本低與體積小，從而能夠做出更小、更輕和更廉價(jià)的最終產(chǎn)品。但在MEMS前方并非一片光明