半導(dǎo)體行業(yè)：IC東進(jìn)勢已起電子特氣迎春風(fēng)

1、目錄 HYPERLINK l _TOC_250027 產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移背景下的半導(dǎo)體材料投資機(jī)遇 5 HYPERLINK l _TOC_250026 半導(dǎo)體行業(yè)東進(jìn)帶動(dòng)支撐業(yè)需求 5 HYPERLINK l _TOC_250025 材料：自主可控意義重大，進(jìn)口替代行在路上 6 HYPERLINK l _TOC_250024 半導(dǎo)體材料是產(chǎn)業(yè)鏈中重要一環(huán) 6 HYPERLINK l _TOC_250023 材料國產(chǎn)化率有較大提升空間 7 HYPERLINK l _TOC_250022 政策端：二期大基金加強(qiáng)對(duì)材料的支持 7 HYPERLINK l _TOC_250021 重點(diǎn)關(guān)注半導(dǎo)體材料中的電子特氣

2、9 HYPERLINK l _TOC_250020 半導(dǎo)體電子特氣：半導(dǎo)體工業(yè)的關(guān)鍵原料 9 HYPERLINK l _TOC_250019 行業(yè)兼具技術(shù)、客戶認(rèn)證等壁壘 10 HYPERLINK l _TOC_250018 市場潛力大，電子特氣需求迅速增長 11 HYPERLINK l _TOC_250017 半導(dǎo)體行業(yè)支撐電子特氣需求 11 HYPERLINK l _TOC_250016 復(fù)雜芯片制造刺激電子特氣需求 12 HYPERLINK l _TOC_250015 進(jìn)口替代大勢所趨，供給格局向國內(nèi)集中 15 HYPERLINK l _TOC_250014 進(jìn)口替代勢在必行，本土企業(yè)優(yōu)

3、勢顯現(xiàn) 15 HYPERLINK l _TOC_250013 國外龍頭壟斷市場，進(jìn)口替代空間廣闊 15 HYPERLINK l _TOC_250012 與其他半導(dǎo)體材料相比，電子特氣國產(chǎn)替代已先行一步 15 HYPERLINK l _TOC_250011 高運(yùn)維成本造就本地化配套優(yōu)勢 16 HYPERLINK l _TOC_250010 業(yè)務(wù)模式與國內(nèi)企業(yè)競爭格局 17 HYPERLINK l _TOC_250009 海外成熟企業(yè)的業(yè)務(wù)模式 17 HYPERLINK l _TOC_250008 國內(nèi)企業(yè)各具優(yōu)勢，競爭錯(cuò)位 19 HYPERLINK l _TOC_250007 產(chǎn)業(yè)鏈重點(diǎn)公司 2

4、3 HYPERLINK l _TOC_250006 華特氣體：特種氣體國產(chǎn)化先行者 23 HYPERLINK l _TOC_250005 雅克科技：國內(nèi)含氟氣體龍頭 24 HYPERLINK l _TOC_250004 昊華科技：國內(nèi)高端氟材料及電子特氣領(lǐng)軍者 25 HYPERLINK l _TOC_250003 南大光電：MO 源龍頭進(jìn)軍電子特氣市場 26 HYPERLINK l _TOC_250002 巨化股份：氟化工一體化龍頭，布局電子特氣業(yè)務(wù) 27 HYPERLINK l _TOC_250001 凱美特氣：國內(nèi)食品級(jí)液體 CO2 龍頭 28 HYPERLINK l _TOC_25000

5、0 金宏氣體：深耕長三角地區(qū)，氣體行業(yè)領(lǐng)跑者 29圖表目錄圖 1：半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)進(jìn)入第三輪景氣周期 5圖 2：5G 及汽車電子化趨勢有望提升半導(dǎo)體在汽車、物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域的需求 5圖 3：2018 年國內(nèi)晶圓廠設(shè)備投資額為 2014 年 3 倍 5圖 4：2014-2017 年各國家/地區(qū)半導(dǎo)體晶圓廠投產(chǎn)個(gè)數(shù) 5圖 5：1998-2015 年國內(nèi)中外資晶圓廠產(chǎn)能規(guī)模 6圖 6：2015 年至今國內(nèi)中外資晶圓廠產(chǎn)能規(guī)模 6圖 7：我國半導(dǎo)體材料市場規(guī)模占比顯著提升 6圖 8：我國半導(dǎo)體設(shè)備需求占比持續(xù)提升 6圖 9：半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)疽鈭D 7圖 10：半導(dǎo)體材料國產(chǎn)化情況 7圖 11：電子特種氣體為工業(yè)氣體的

6、重要分支 9圖 12：半導(dǎo)體晶圓制造各環(huán)節(jié)用到的特種氣體及對(duì)應(yīng)工藝 9圖 13：全球晶圓制造材料增速高且較為穩(wěn)定 11圖 14：全球半導(dǎo)體制造材料銷售額中電子氣體占比 12.9%（2018） 11圖 15：全球半導(dǎo)體市場規(guī)模及增速 11圖 16：全球集成電路用電子氣體市場規(guī)模及增速 12圖 17：中國電子特氣市場規(guī)模及增速 12圖 18：全球 12 英寸晶圓廠數(shù)量持續(xù)增長 12圖 19：2019 年硅晶圓出貨面積及營收較高 12圖 20：集成電路銷售額占半導(dǎo)體 80%以上 13圖 21：邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片銷售額占集成電路比例較高 13圖 22：中國電子特氣市場格局 15圖 23：全球各大氣體龍

7、頭在中國/亞洲的業(yè)務(wù)占比變化 15圖 24：林德集團(tuán)在中國大陸的特種氣體工廠較少 17圖 25：林德集團(tuán)向中國大陸運(yùn)輸電子氣體需花費(fèi) 10-15 天 17圖 26：慧瞻材料設(shè)備安裝及現(xiàn)場維護(hù)業(yè)務(wù)的成本較高（億美元） 17圖 27：晶圓廠氣體供應(yīng)包括現(xiàn)場制氣以及零售氣 18圖 28：林德集團(tuán)立足空分氣體向電子、醫(yī)療用氣拓展 18圖 29：林德集團(tuán)醫(yī)療用氣占比逐步提升（百萬歐元） 18圖 30：慧瞻材料專注電子特氣 19圖 31：慧瞻材料 EBITDA 持續(xù)增長 19圖 32：慧瞻材料具有穩(wěn)定的現(xiàn)金流 19圖 33：半導(dǎo)體晶圓制造各環(huán)節(jié)對(duì)應(yīng)的典型國內(nèi)氣體企業(yè) 20圖 34：華特氣體營業(yè)收入、歸屬凈

8、利潤及其增速情況 23圖 35：2019H1 華特氣體產(chǎn)品營收占比及毛利占比 23圖 36：雅克科技營業(yè)收入、歸屬凈利潤及其增速情況 24圖 37：2019H1 雅克科技產(chǎn)品營收占比及毛利占比 24圖 38：昊華科技營業(yè)收入、歸屬凈利潤及其增速情況 25圖 39：2018 年昊華科技產(chǎn)品營收占比及毛利占比 25圖 40：南大光電營業(yè)收入、歸屬凈利潤及其增速情況 26圖 41：2019H1 南大光電產(chǎn)品營收占比及毛利占比 26圖 42：中巨芯科技股權(quán)結(jié)構(gòu) 27圖 43：凱美特氣營業(yè)收入及增速情況 28圖 44：凱美特氣歸屬凈利潤及增速情況 28圖 45：金宏氣體營業(yè)收入、歸屬凈利潤及其增速情況

9、29圖 46：2019 年金宏氣體營收占比及毛利占比 29表 1：大基金二期細(xì)化情況梳理 8表 2：芯片線寬越小，對(duì)電子特氣所含雜質(zhì)容忍度越低 10表 3：半導(dǎo)體晶圓制造各環(huán)節(jié)用到的特種氣體用途及用量 13表 4：國內(nèi)半導(dǎo)體材料頭部公司工藝水平 15表 5：國內(nèi)特種氣體公司已實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代并規(guī)?；?yīng)的產(chǎn)品 16表 6：國內(nèi)特種氣體典型企業(yè)對(duì)比 21表 7：國內(nèi)特種氣體典型企業(yè)現(xiàn)有產(chǎn)能與新增年產(chǎn)能（噸） 22表 8：博瑞電子及其子公司博瑞中硝建成及在建產(chǎn)能情況 27產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移背景下的半導(dǎo)體材料投資機(jī)遇半導(dǎo)體行業(yè)東進(jìn)帶動(dòng)支撐業(yè)需求全球半導(dǎo)體市場景氣有望向上。2019 年全球半導(dǎo)體市場規(guī)模達(dá) 4065

10、.9 億美元，同比下降 13.2%，主要由于行業(yè)受到 DRAM 及其他芯片價(jià)格下跌、貿(mào)易摩擦及手機(jī)等終端需求增速下滑等多重因素影響。長期來看，未來 5G 及汽車電子化的發(fā)展，有望帶動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)進(jìn)入新的增長期。圖 1：半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)進(jìn)入第三輪景氣周期圖 2：5G 及汽車電子化趨勢有望提升半導(dǎo)體在汽車、物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域的需求500045004000350030002500200015001000500市場規(guī)模（億美元） 增速（右軸）PC移動(dòng)設(shè)備IOT、汽車電子、AI50%40%30%20%10%0%-10%-20%-30%1987198819891990199119921993199419951996199

11、719981999200020012002200320042005200620072008200920102011201220132014201520162017201820190-40%資料來源：Statista，SEMI，長江證券研究所資料來源：IC Insights，長江證券研究所半導(dǎo)體行業(yè)東進(jìn)趨勢明確，有望強(qiáng)化本土配套優(yōu)勢。由終端需求拉動(dòng)的第三次產(chǎn)能轉(zhuǎn)移1持續(xù)推進(jìn)，2018 年國內(nèi)晶圓廠設(shè)備投資額總計(jì)為 131.1 億美元，是 2014 年的 3.0 倍，2014-2018 年的復(fù)合增速達(dá) 31.6%，均高于世界其他國家及地區(qū)。2014-2017 年中國大陸新投產(chǎn)晶圓廠數(shù)量占全球的 4

12、4.6%。與以往不同的是，內(nèi)資企業(yè)將成為此次半導(dǎo)體產(chǎn)能擴(kuò)張的主角，未來在國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的話語權(quán)將增強(qiáng)。2015 年以前，國內(nèi)大型晶圓廠以外資為主，而 2015 年以后，內(nèi)資晶圓廠大規(guī)模崛起，其在中國大陸的設(shè)備投資額近幾年穩(wěn)中有升，未來有望超過外資晶圓廠。而從歷史數(shù)據(jù)來看，本地化配套是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的長期趨勢，美國、日本、韓國、中國臺(tái)灣的半導(dǎo)體配套廠商在本地的營收占比持續(xù)高于海外。內(nèi)資晶圓廠的崛起有望強(qiáng)化本地化配套優(yōu)勢。圖 3：2018 年中國大陸晶圓廠設(shè)備投資額為 2014 年 3 倍圖 4：2014-2017 年各國家/地區(qū)半導(dǎo)體晶圓廠投產(chǎn)個(gè)數(shù)十億美元2018161412108642020142

13、0152016201720182019E2020E 18中國大陸世界其他國家及地區(qū)中國161412108642中國大陸歐洲日本韓國北美東南亞 中國臺(tái)灣02014201520162017資料來源：SEMI，長江證券研究所資料來源：SEMI，長江證券研究所11960-1980 年半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)產(chǎn)能由美國轉(zhuǎn)向日本，1980-2000 年由日本轉(zhuǎn)向韓臺(tái)，2000年至今由韓臺(tái)轉(zhuǎn)向中國大陸圖 5：1998-2015 年中國大陸中外資晶圓廠產(chǎn)能規(guī)模圖 6：2015 年至今中國大陸中外資晶圓廠產(chǎn)能規(guī)模資料來源：林德集團(tuán)，長江證券研究所資料來源：林德集團(tuán)，長江證券研究所產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移拉動(dòng)材料、設(shè)備等半導(dǎo)體支撐業(yè)需求。從近

14、幾年大陸半導(dǎo)體材料、設(shè)備的需求占比來看，產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移確實(shí)能帶動(dòng)本地配套需求的提升，大陸半導(dǎo)體材料市場規(guī)模占全球的比重由 2013 年的約 4%提升到 2018 年的約 16%，大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模占全球比重由 2016 年的約 16%提升到 2018 年的約 20%。而可預(yù)見的未來，國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)能的增加將進(jìn)一步帶動(dòng)本地半導(dǎo)體支撐業(yè)需求。圖 7：我國半導(dǎo)體材料市場規(guī)模占比顯著提升圖 8：我國半導(dǎo)體設(shè)備需求占比持續(xù)提升100%90%80%70%60%50%40%30%16%15%20%22%25%25%中國大陸 歐洲 日本 韓國 北美 全球其他地區(qū) 中國臺(tái)灣20%10%0%2016201720182

15、019E2020F2021F 資料來源：SEMI，長江證券研究所資料來源：SEMI，長江證券研究所材料：自主可控意義重大，進(jìn)口替代行在路上半導(dǎo)體材料是產(chǎn)業(yè)鏈中重要一環(huán)半導(dǎo)體材料在產(chǎn)業(yè)鏈中至關(guān)重要。完整的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈大致分為三塊：EDA/IP/設(shè)計(jì)服務(wù)、芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造/封裝測試。其中 EDA/IP 和設(shè)計(jì)服務(wù)部分是整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)源頭；芯片設(shè)計(jì)是產(chǎn)業(yè)鏈中體量較大的一環(huán)；晶圓制造和封測部分屬于典型的資本密集型產(chǎn)業(yè)，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中至關(guān)重要的工序，在產(chǎn)業(yè)鏈中具有卡口地位，制造工藝的高低直接影響半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的先進(jìn)程度，地位十分重要。圖 9：半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)疽鈭D資料來源：WSTS，長江證券研究所材料

16、國產(chǎn)化率有較大提升空間從供給端來看，半導(dǎo)體材料國產(chǎn)化率仍然較低。內(nèi)資晶圓廠的崛起將帶動(dòng)國內(nèi)半導(dǎo)體材料需求的提升，而高對(duì)外依存度將為國內(nèi)半導(dǎo)體材料企業(yè)提供更為廣闊的發(fā)展空間。從目前來看，雖然各大主要品類均有國內(nèi)企業(yè)涉足，但整體對(duì)外依存度仍在 60%以上，特別地，大尺寸半導(dǎo)體硅片、光刻膠、電子特氣等材料更為依賴進(jìn)口，進(jìn)口替代空間巨大。圖 10：半導(dǎo)體材料國產(chǎn)化情況資料來源：中國產(chǎn)業(yè)信息網(wǎng)，長江證券研究所政策端：二期大基金加強(qiáng)對(duì)材料的支持一期大基金聚焦晶圓制造，二期大基金對(duì)半導(dǎo)體支撐業(yè)的支持值得關(guān)注。由于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)具有投資規(guī)模大，回報(bào)周期長的特點(diǎn)，因此需要國有資本的支持，國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金（大

17、基金）首期募資 1387 億元左右，加上地方產(chǎn)業(yè)基金，總計(jì)規(guī)模超 5000億元。截至 2017 年底，大基金累計(jì)有效決策投資 67 個(gè)項(xiàng)目，累計(jì)承諾投資額約 1188億元，實(shí)際出資約 818 億元，分別占一期募資總額的 86%、61%左右。從半導(dǎo)體各產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)來看，大基金將集成電路制造作為一期的投資重點(diǎn)，占比達(dá) 67%左右，而設(shè)備/材料僅占 6%左右，主要在于，一方面，半導(dǎo)體制造起基石作用，后續(xù)能夠催生材料、設(shè)備等配套產(chǎn)業(yè)的需求，同時(shí)也將保障和帶動(dòng)國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)計(jì)企業(yè)的發(fā)展，率先布局合情合理；另一方面，由于相對(duì)輕資產(chǎn)的項(xiàng)目屬性以及國內(nèi)企業(yè)成熟度較低的特點(diǎn)，產(chǎn)業(yè)基金投資半導(dǎo)體支撐業(yè)的額度相對(duì)較少。

18、大基金二期預(yù)期將加大對(duì)半導(dǎo)體上游設(shè)備和材料的投入力度，材料及設(shè)備行業(yè)龍頭企業(yè)或?qū)⒅苯邮芤妗４蠡鸲谝延?2019 年底成立，注冊(cè)資本 2041.5 億元，共包含中國電信、聯(lián)通資本、中國電子信息產(chǎn)業(yè)集團(tuán)、紫光通信等在內(nèi)的 27 位股東。大基金二期表 1：大基金二期細(xì)化情況梳理資金規(guī)模注冊(cè)資本2041.5億元，是一期注冊(cè)資本的兩倍有余擬投資領(lǐng)域擬重點(diǎn)扶持材料和設(shè)備國產(chǎn)化，包括存儲(chǔ)芯片領(lǐng)域、5G，刻蝕機(jī)、薄膜設(shè)備、測試設(shè)備、清洗設(shè)備、光刻機(jī)、化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備等設(shè)備領(lǐng)域未來投向及重點(diǎn)支持領(lǐng)域大基金管理機(jī)構(gòu)總裁丁文武表示：將對(duì)在刻蝕機(jī)、薄膜設(shè)備、測試設(shè)備和清洗設(shè)備等領(lǐng)域已布局的企業(yè)保持高強(qiáng)度的持續(xù)支持

19、，推動(dòng)龍頭企業(yè)做大最強(qiáng)，形成系列化、成套化裝備產(chǎn)品；繼續(xù)填補(bǔ)空白，加快開展光刻機(jī)、化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備等核心設(shè)備以及關(guān)鍵零部件的投資布局，保障產(chǎn)業(yè)鏈安全。打造一個(gè)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)體系，每個(gè)環(huán)節(jié)要與用戶有機(jī)地結(jié)合起來，尤其是國產(chǎn)裝備、材料等上游產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)資料來源：天眼查，半導(dǎo)體集成電路零部件峰會(huì)，長江證券研究所重點(diǎn)關(guān)注半導(dǎo)體材料中的電子特氣半導(dǎo)體電子特氣：半導(dǎo)體工業(yè)的關(guān)鍵原料電子特氣是電子工業(yè)的關(guān)鍵原料，屬于工業(yè)氣體的重要分支。工業(yè)氣體是現(xiàn)代工業(yè)的基礎(chǔ)原材料，而電子特氣是工業(yè)氣體中附加值較高的品種，與傳統(tǒng)工業(yè)氣體的區(qū)別在于純度更高（如高純氣體）或者具有特殊用途（如參與化學(xué)反應(yīng)），是極大規(guī)模集成電路

20、、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的基礎(chǔ)和支撐性材料之一，相關(guān)下游領(lǐng)域的快速發(fā)展將帶動(dòng)未來特種氣體的增量需求。圖 11：電子特種氣體為工業(yè)氣體的重要分支資料來源：金宏氣體招股說明書，長江證券研究所半導(dǎo)體特氣應(yīng)用于晶圓制造的各個(gè)環(huán)節(jié)。狹義的“電子氣體”特指電子半導(dǎo)體行業(yè)用的特種氣體，主要應(yīng)用于前端晶圓制造中的化學(xué)氣相沉積、光刻、刻蝕、摻雜等諸多環(huán)節(jié)。電子特種氣體的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準(zhǔn)確性，對(duì)于半導(dǎo)體集成電路芯片的質(zhì)量和性能具有重要意義。圖 12：半導(dǎo)體晶圓制造

21、各環(huán)節(jié)用到的特種氣體及對(duì)應(yīng)工藝資料來源：林德集團(tuán)，長江證券研究所行業(yè)兼具技術(shù)、客戶認(rèn)證等壁壘半導(dǎo)體電子特氣行業(yè)具有較高的技術(shù)壁壘。半導(dǎo)體電子特種氣體在生產(chǎn)過程中涉及合成、純化、混合氣配制、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項(xiàng)工藝技術(shù)，每一步均有嚴(yán)格的技術(shù)參數(shù)要求和質(zhì)量控制措施。為了保證半導(dǎo)體器件的質(zhì)量與成品率，特種氣體產(chǎn)品要同時(shí)滿足“超純”和“超凈”的要求，“超純”要求氣體純度達(dá)到 4.5N、5N 甚至 6N、 7N（N 是 Nine 的簡寫，幾個(gè) N 就代表有幾個(gè) 9，例如 3N 的純度為 99.9%），“超凈”即要求嚴(yán)格控制粒子與金屬雜質(zhì)的含量。作為特種氣體的核心參數(shù)，純度每提升一個(gè) N，粒子、

22、金屬雜質(zhì)含量濃度每降低一個(gè)數(shù)量級(jí)，都將帶來工藝復(fù)雜度和難度的顯著提升。對(duì)于混合氣而言，配比的精度是核心參數(shù)，隨著產(chǎn)品組分的增加、配制精度的上升，客戶常要求氣體供應(yīng)商能夠?qū)Χ喾N ppm（part per million，百萬分之）乃至 ppb（part per billion，十億分之）級(jí)濃度的氣體組分進(jìn)行精細(xì)操作，其配制過程的難度與復(fù)雜程度也顯著增大。此外，氣瓶處理、氣體分析檢測、氣體配送等環(huán)節(jié)亦對(duì)生產(chǎn)企業(yè)提出了較高的技術(shù)要求。表 2：芯片線寬越小，對(duì)電子特氣所含雜質(zhì)容忍度越低芯片尺寸線寬氣體純度（%） 氣體雜質(zhì)（ppm）金屬雜質(zhì)塵埃粒子（英寸）1290-65nm99.999-99.99991

23、0種以上，雜質(zhì)總和小于 10-1ppm金屬元素雜質(zhì)控制20余種以上，單 0.1m顆粒小于3個(gè)/L項(xiàng)小于10-100ppb金屬元素雜質(zhì)控80.25-0.13m99.999 8種以上，雜質(zhì)總和小于10ppm 制10余種以上，單 0.1m顆粒小于3個(gè)/L項(xiàng)小于100ppb60.5-0.25m99.995 6種左右，雜質(zhì)總和小于50ppm 個(gè)別有要求基本不要求4-51.2m99.99 5種左右，雜質(zhì)總和小于100ppm 不要求不要求資料來源：光明化工研究院，長江證券研究所下游客戶認(rèn)證亦是攻堅(jiān)難點(diǎn)。作為關(guān)鍵性材料，特種氣體的產(chǎn)品質(zhì)量對(duì)下游產(chǎn)業(yè)的正常生產(chǎn)影響巨大。如果晶圓加工環(huán)節(jié)所使用的氣體發(fā)生質(zhì)量問題，

24、將導(dǎo)致整條生產(chǎn)線產(chǎn)品報(bào)廢，造成巨額損失。因此極大規(guī)模集成電路、新型顯示面板等精密化程度非常高的下游產(chǎn)業(yè)客戶對(duì)氣體供應(yīng)商的選擇極為嚴(yán)格、審慎，需要經(jīng)過審廠、產(chǎn)品認(rèn)證 2 輪嚴(yán)格的審核認(rèn)證，集成電路領(lǐng)域的審核認(rèn)證周期長達(dá) 2-3 年。另一方面，為了保持氣體供應(yīng)穩(wěn)定，客戶在與氣體供應(yīng)商建立合作關(guān)系后不會(huì)輕易更換氣體供應(yīng)商，且雙方會(huì)建立反饋機(jī)制以滿足客戶的個(gè)性化需求，客戶粘性不斷強(qiáng)化。因此，對(duì)新進(jìn)入者而言，長認(rèn)證周期與強(qiáng)客戶粘性形成了較高的客戶壁壘。行業(yè)還具有營銷網(wǎng)絡(luò)、服務(wù)壁壘。營銷網(wǎng)絡(luò)主要體現(xiàn)在氣體公司需要投入大量人力物力進(jìn)行鋪點(diǎn)建設(shè)，不斷擴(kuò)大營銷服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，以滿足下游客戶對(duì)氣體種類、響應(yīng)速度、服務(wù)質(zhì)

25、量的高要求。氣體下游客戶需要的服務(wù)則包括包裝容器處理、檢測、維修及供氣系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、安裝乃至氣體供應(yīng)商的配送服務(wù)等。市場潛力大，電子特氣需求迅速增長半導(dǎo)體行業(yè)支撐電子特氣需求電子特氣在半導(dǎo)體制造材料中占比僅次于硅片。半導(dǎo)體材料包括晶圓制造材料和封裝材料。其中晶圓制造材料包括硅片、光掩模、光刻膠、光刻膠輔助材料、工藝化學(xué)品、電子特氣、靶材、CMP 拋光材料及其他材料。2018 年全球半導(dǎo)體晶圓材料市場規(guī)模為322.0 億美元，同比增長 15.8%，全球半導(dǎo)體封裝測試材料市場規(guī)模為 197.0 億美元，同比增長 3.1%。根據(jù) SEMI 的數(shù)據(jù)，2018 年電子氣體在晶圓制造材料市場中占比達(dá)到 12

26、.9%，僅次于占比 36.6%的硅片，市場規(guī)模巨大。圖 13：全球晶圓制造材料增速高且較為穩(wěn)定圖 14：全球半導(dǎo)體制造材料銷售額中電子氣體占比 12.9%（2018）3503002502001501005002009 2010 2011 2012 2013 2014 2015 2016 2017 201840% 制造材料增速（右軸）晶圓制造材料（億美元）封裝材料（億美元） 封裝材料增速（右軸）30%20%10%0%-10%-20%-30%硅片電子氣體光掩模光刻膠配套化學(xué)品拋光材料光刻膠濕法化學(xué)品濺射靶材 其他 資料來源：Wind，長江證券研究所資料來源：SEMI，長江證券研究所全球半導(dǎo)體市場規(guī)

27、模龐大，晶圓廠數(shù)目不斷增加，電子特氣需求量不斷提升。全球范圍來看，隨著全球半導(dǎo)體市場規(guī)模在 2018 年的高增長，全球集成電路用電子氣體的市場規(guī)模達(dá)到 45.1 億美元，市場規(guī)模較上年同比增加了 15.9%，但從整體來看，2013-2018年的平均增速稍低，僅為 6.3%。國內(nèi)范圍來看，2018 年，我國電子氣體市場規(guī)模達(dá)到了 121.6 億元，較上年同比增加了 11.2%，2013-2018 年的增速達(dá) 13.3%。圖 15：全球半導(dǎo)體市場規(guī)模及增速5,0004,5004,0003,5003,0002,5002,0001,5001,0005000全球半導(dǎo)體市場規(guī)模（億美元）同比（右軸）200

28、8 2009 2010 2011 2012 2013 2014 2015 2016 2017 2018 2019E 2020E35%30%25%20%15%10%5%0%-5%-10%-15%資料來源：WSTS，長江證券研究所圖 16：全球集成電路用電子氣體市場規(guī)模及增速圖 17：中國電子特氣市場規(guī)模及增速全球集成電路用電子氣體市場規(guī)模（億美元）增長率（右軸）5020%4015%3010%20105%1401201008060402040%中國電子特氣市場規(guī)模（億元）增長率（右軸）35%30%25%20%15%10%00%20132014201520162017201805%2010 2011

29、 2012 2013 2014 2015 2016 2017 2018 資料來源：中國產(chǎn)業(yè)信息，長江證券研究所資料來源：中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)，長江證券研究所根據(jù) IC Insights 的統(tǒng)計(jì)，2018 年全球共有 112 家 12 英寸晶圓廠，至 2023 年這一數(shù)字有望增至 138 家。根據(jù) SEMI 數(shù)據(jù)，2019 年硅晶圓的出貨面積為 118.1 億平方英寸，營收達(dá)112 億美元，均為較高水平。2013-2018 年半導(dǎo)體市場規(guī)模的平均增長率達(dá)8.9%， 2020 年半導(dǎo)體下游需求可能會(huì)受疫情影響，但從中長期看，隨著 5G 技術(shù)、新能源汽車、云服務(wù)器等市場的增長，有望帶動(dòng)行業(yè)進(jìn)入新的增長

30、期。作為半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)中占比第二高的材料，電子特氣的需求也有望不斷提升。圖 18：全球 12 英寸晶圓廠數(shù)量持續(xù)增長圖 19：2019 年硅晶圓出貨面積及營收較高全球12英寸晶圓廠數(shù)量16014012010080604020014012晶圓出貨面積（億平方英寸）營收（十億美元，右軸）120111001080960840207200220032004200520062007200820092010201120122013201420152016201720182019E2020E2021E2022E2023E062008 2009 2010 2011 2012 2013 2014 2015 20

31、16 2017 2018 2019資料來源：IC Insights，長江證券研究所資料來源：SEMI，長江證券研究所復(fù)雜芯片制造刺激電子特氣需求邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片為集成電路主要增長動(dòng)力。根據(jù) WSTS 的數(shù)據(jù)，集成電路是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中最主要的市場，規(guī)模占比維持在 80%以上。集成電路可分為邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片、微處理芯片和模擬芯片。2019 年邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片銷售額分別為 1046.2 億美元和 1059.1 億美元，占集成電路比例分別為 31.7%和 32.1%，為集成電路的主要增長動(dòng)力。由于價(jià)格大幅波動(dòng)等原因，2019 年邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片的銷售額出現(xiàn)較大幅度下滑，但WSTS 預(yù)測 2020

32、 年有望繼續(xù)恢復(fù)增長。圖 20：集成電路銷售額占半導(dǎo)體 80%以上圖 21：邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片銷售額占集成電路比例較高億美元5,0004,5004,0003,5003,0002,5002,0001,5001,00050020090分立器件光電子傳感器集成電路億美元4,5004,0003,5003,0002,5002,0001,5001,00050020102011201220132014201520162017201820192020E20090模擬芯片微處理芯片邏輯芯片存儲(chǔ)芯片 20102011201220132014201520162017201820192020E資料來源：Wind，WS

33、TS，長江證券研究所資料來源：Wind，WSTS，長江證券研究所隨著集成電路制造要求復(fù)雜度的提升，制造中所使用的電子特氣用量也將提升。根據(jù)德國普爾茨海姆應(yīng)用技術(shù)大學(xué)工業(yè)生態(tài)研究所（INEC）的 Mario Schmidt 教授等人共同撰寫的論文用于微電子芯片和太陽能電池硅片加工的生命周期評(píng)估，硅晶圓的加工離不開大量化學(xué)試劑以及特殊氣體，這些氣體可以用于包括清洗、蝕刻、光刻、外延、摻雜等工序。經(jīng)測算，每平方米邏輯電路晶圓加工所需要的電子特氣約為 37.3kg，每平方米存儲(chǔ)電路晶圓加工需要約 12.0kg 的電子特氣。邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片本身在集成電路中的占比就超 6 成，隨著未來 5G 和汽車電子

34、化的趨勢以及集成電路技術(shù)與制造工藝的提升，電子特氣的用量也會(huì)得到大幅度的提升。表 3：半導(dǎo)體晶圓制造各環(huán)節(jié)用到的特種氣體用途及用量體用量（克）體用量（克）每平方米存儲(chǔ)電路晶圓氣 每平方米邏輯電路晶圓氣用途氣體名稱化學(xué)式有時(shí)也作為某些淀積工藝的工藝氣體UHP-N2超高純度氮?dú)馀懦鰵埩粼跉怏w配送系統(tǒng)和工藝腔中的濕氣和殘余氣體，7220.022400.0UHP-O2超高純度氧氣工藝腔氣體1960.0 6080.0UHP-Ar超高純度氬氣在硅片工藝過程中用在工藝腔體中1200.0 3720.0外延層工藝的運(yùn)載氣體，也用于在二氧化工藝中與O2反應(yīng)H2氫氣生產(chǎn)水蒸氣638.01980.0C2F6六氟乙烷金

35、屬沉積工藝中的氟源193.0 601.0外延層工藝的運(yùn)載氣體，也用于在二氧化工藝中與O2反應(yīng)UHP-H2超高純度氫氣生產(chǎn)水蒸氣130.0405.0N2O笑氣與硅反應(yīng)生產(chǎn)二氧化硅的氮源118.0 365.0WF6六氟化鎢金屬沉積工藝中的鎢源111.0 345.0CF4四氟化碳金屬沉積工藝中的氟源86.3 268.0UHP-He超高純度氦氣工藝腔氣體，也用于真空室的漏氣檢查72.6 226.0HCl鹽酸工藝腔體清潔氣體和去污劑69.6 216.0NF3三氟化氮等離子刻蝕工藝中的氟離子源51.7 161.0Si(OC2H5)4原硅酸四乙酯氣相沉積工藝的二氧化硅源48.8 152.0SiH4甲硅烷氣相

36、沉積工藝的硅源23.5 72.9C4F8八氟環(huán)丁烷金屬沉積工藝中的氟源18.5 57.4SiH2Cl2二氯甲硅烷氣相沉積工藝的硅源17.052.9C5F8八氟環(huán)戊烯金屬沉積工藝中的氟源16.952.7NH3氨氣工藝氣體用來和SiH2Cl2反應(yīng)生產(chǎn)沉積用的SiN316.350.6Cl2氯氣金屬刻蝕中所用的氯源13.241.1BCl3三氯化硼P型硅片離子注入的硼源和金屬刻蝕中的氯源7.724.0CH2F2二氟甲烷等離子刻蝕工藝中的氟離子源6.219.2CHF3三氟甲烷等離子刻蝕工藝中的氟離子源2.26.9AsH3砷化氫n型硅片離子注入的砷源1.34.0CO一氧化碳用在刻蝕工藝中1.23.7PH3磷

37、化氫n型硅片離子注入的磷源1.13.5B2H6 5% in N2濃度5%氮?dú)庵械囊遗鹜镻型硅片離子注入的硼源1.13.4CH3F氟甲烷等離子刻蝕工藝中的氟離子源1.13.4SiF4四氟化硅沉積、注入和刻蝕工藝中的硅和氟離子源0.51.7總計(jì)12027.137317.2資料來源：Life cycle assessment of silicon wafer processing for microelectronic chips and solar cells，長江證券研究所進(jìn)口替代大勢所趨，供給格局向國內(nèi)集中進(jìn)口替代勢在必行，本土企業(yè)優(yōu)勢顯現(xiàn)國外龍頭壟斷市場，進(jìn)口替代空間廣闊國外龍頭壟斷國內(nèi)市場

38、，進(jìn)口替代空間廣闊。空氣化工、普萊克斯、林德集團(tuán)、法液空、大陽日酸等海外企業(yè)合計(jì)占據(jù)國內(nèi)電子特氣約 88%的市場份額，市場高度集中。這些企業(yè)多為全球工業(yè)氣體龍頭，具有長期的技術(shù)積淀和客戶積累，實(shí)力強(qiáng)勁，電子特氣僅為其業(yè)務(wù)的一部分。目前國內(nèi)尚缺體量與上述龍頭相匹敵的電子特氣公司，但通過分析國內(nèi)發(fā)展環(huán)境的變化，特種氣體產(chǎn)品特征，以及國外龍頭企業(yè)特質(zhì)等方面，我們認(rèn)為國內(nèi)電子特氣企業(yè)逐步實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代是大勢所趨。圖 22：中國電子特氣市場格局圖 23：全球各大氣體龍頭在中國/亞洲的業(yè)務(wù)占比變化林德（中國）普萊克斯（亞洲）國內(nèi)氣體公司, 12%大陽日酸, 17%法國液化空氣, 23%美國空氣化工, 25%

39、普萊克斯, 16%林德集團(tuán), 7%25%20%15%10%5%0%法液空（亞洲）空氣化工（中國）2012201320142015201620172018 資料來源：中國產(chǎn)業(yè)信息網(wǎng)，長江證券研究所資料來源：Bloomberg，長江證券研究所注：2018 年林德與普萊克斯合并，因此數(shù)據(jù)缺失與其他半導(dǎo)體材料相比，電子特氣國產(chǎn)替代已先行一步橫向?qū)Ρ认拢娮犹貧膺M(jìn)口替代進(jìn)度更快，國內(nèi)企業(yè)正逐步突破。半導(dǎo)體材料各品類均有較高的技術(shù)及客戶壁壘，通過對(duì)比各半導(dǎo)體材料國內(nèi)頭部公司的工藝水平，不難發(fā)現(xiàn)，部分電子特氣已能達(dá)到 14nm 或 7nm 制程節(jié)點(diǎn)，進(jìn)口替代進(jìn)程相對(duì)更快。另外，由于特種氣體種類多樣，各類氣體

40、之間制備難度參差不齊，國內(nèi)企業(yè)可以借助六氟化硫、四氟化碳等制備難度相對(duì)較小的刻蝕氣、清洗氣產(chǎn)品打入晶圓廠供應(yīng)鏈，后續(xù)逐步配套摻雜氣、CVD 前驅(qū)體等高端產(chǎn)品，或直接收購海外高端產(chǎn)品公司，豐富產(chǎn)品線的同時(shí)增加客戶儲(chǔ)備。雖然我國電子氣體已經(jīng)擺脫了完全依賴于進(jìn)口的局面，但是面對(duì)國外龍頭公司壟斷較高壁壘的市場，國內(nèi)電子特氣企業(yè)依然面臨著較大的競爭壓力。表 4：國內(nèi)半導(dǎo)體材料頭部公司工藝水平材料典型公司工藝水平光掩膜清溢光電拋光材料安集科技已經(jīng)擁有8.5代TFT-LCD膜版生產(chǎn)線，掌握了顯影蝕刻的關(guān)鍵技術(shù)，包括基于光刻環(huán)節(jié)和顯影蝕刻環(huán)節(jié)對(duì)CD精度的控制，經(jīng)測試和驗(yàn)證發(fā)行人CD控制精度在800960mm面

41、積范圍內(nèi)已達(dá)到80nm控制水準(zhǔn)，各項(xiàng)指標(biāo)已等同或接近于國際先進(jìn)水平化學(xué)機(jī)械拋光液已在130-28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)實(shí)現(xiàn)規(guī)?；N售，14nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)產(chǎn)品已進(jìn)入客戶認(rèn)證階段，10-7nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)正在研發(fā)中靶材江豐電子江豐電子目前在7nm先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)用濺射靶材方面已掌握核心技術(shù)電子氣體華特氣體高純四氟化碳，高純?nèi)淄榈犬a(chǎn)品已達(dá)到14nm乃至7nm制程中應(yīng)用地要求光刻膠北京科華硅上海新昇有一條年產(chǎn)500噸i線光刻膠生產(chǎn)線，已完成年產(chǎn)10噸的248nm KrF光刻膠生產(chǎn)線的建設(shè)，193nm的 ArF干法光刻膠中試產(chǎn)品已完成測試28nm邏輯、3D-NAND存儲(chǔ)正片通過了長江存儲(chǔ)的認(rèn)證，國內(nèi)大硅片產(chǎn)品突破了國外

42、的壟斷，有望逐步實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代資料來源：安集科技招股說明書，各公司公告，各公司官網(wǎng)，長江證券研究所公司名稱主要產(chǎn)品表 5：國內(nèi)特種氣體公司已實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代并規(guī)?；?yīng)的產(chǎn)品華特氣體高純六氟乙烷、高純四氟化碳、高純二氧化碳、高純一氧化碳、光刻氣、高純一氧化氮等20余種中船重工七一八所六氟化鎢、三氟化氮等黎明化工研究院六氟化硫、三氟化氮等南大光電砷烷、磷烷等金宏氣體超純氨、氫氣等綠菱氣體高純六氟乙烷、高純?nèi)淄椤⒏呒儼朔h(huán)丁烷等資料來源：華特氣體招股說明書，長江證券研究所高運(yùn)維成本造就本地化配套優(yōu)勢較高的運(yùn)輸和現(xiàn)場維護(hù)成本造就本地化配套優(yōu)勢。多品少量是電子特氣的特點(diǎn)，因此相比現(xiàn)場制氣的空分氣體，采用

43、零售方式進(jìn)行氣體銷售更為普遍，但零售氣體對(duì)于國外企業(yè)來講，需要付出更高的運(yùn)輸和維護(hù)成本。運(yùn)輸成本方面，以林德集團(tuán)為例，作為全球工業(yè)氣體龍頭，林德在國內(nèi)的空分裝置點(diǎn)有11 個(gè)，相比較之下，特種氣體工廠僅 2 個(gè)?？紤]到林德集團(tuán)在國內(nèi)的特種氣體工廠較少，因此大量的特種氣體需從海外運(yùn)輸，而從歐洲、美國運(yùn)至國內(nèi)耗時(shí)約 30 天，運(yùn)輸費(fèi)用預(yù)計(jì)不低于國內(nèi)的長途運(yùn)輸，運(yùn)輸成本將更高。隨著國內(nèi)半導(dǎo)體晶圓廠從華東、華北向全國范圍擴(kuò)散，未來本地特氣企業(yè)將具有顯著的運(yùn)輸成本優(yōu)勢。維護(hù)成本方面，我們以具有近 50 年運(yùn)營經(jīng)驗(yàn)的慧瞻材料的業(yè)務(wù)模式為例進(jìn)行分析。2018年慧瞻材料的營收中，材料占比約 65%，剩下 35%

44、為設(shè)備安裝及現(xiàn)場維護(hù)。但從人員配置上看，材料業(yè)務(wù)在全球有 12 個(gè)工廠，分布在美國、韓國和中國臺(tái)灣（美國 7 家，韓國 4 家，中國臺(tái)灣 1 家），相應(yīng)工作人員在 830 名左右；而設(shè)備安裝及現(xiàn)場維護(hù)業(yè)務(wù)的人員配置達(dá) 900 人，其中現(xiàn)場服務(wù)環(huán)節(jié)人員 400 人，營業(yè)利潤率低于材料業(yè)務(wù)。顯然，中國大陸企業(yè)相應(yīng)的運(yùn)輸服務(wù)及現(xiàn)場維護(hù)將更為快速，且成本更低。圖 24：林德集團(tuán)在中國大陸的特種氣體工廠較少圖 25：林德集團(tuán)向中國大陸運(yùn)輸電子氣體需花費(fèi) 10-15 天資料來源：林德集團(tuán)，長江證券研究所資料來源：林德集團(tuán)，長江證券研究所圖 26：慧瞻材料設(shè)備安裝及現(xiàn)場維護(hù)業(yè)務(wù)的成本較高（億美元）設(shè)備安裝及

45、現(xiàn)場維護(hù), 4.8, 35.3%材料, 8.9, 64.7%工廠數(shù)：3人員配置：約900營業(yè)利潤率： 28.4%工廠數(shù)：12人員配置：約830 營業(yè)利潤率：37.7%資料來源：慧瞻材料 2018 年年報(bào)，長江證券研究所業(yè)務(wù)模式與國內(nèi)企業(yè)競爭格局海外成熟企業(yè)的業(yè)務(wù)模式林德模式：從空分氣體設(shè)備供應(yīng)商向氣體綜合解決方案提供商蛻變。從林德集團(tuán)的半導(dǎo)體工廠配氣裝置可以發(fā)現(xiàn)，氣體服務(wù)是一項(xiàng)系統(tǒng)工程，包括超純大宗氣體、現(xiàn)場氣體發(fā)生器、氣瓶和批量供應(yīng)的電子特種氣體，另外還涉及到大宗氣體儲(chǔ)存和分配系統(tǒng)、氣柜和配氣管等系統(tǒng)和專業(yè)服務(wù)等。回顧林德等工業(yè)氣體龍頭可以發(fā)現(xiàn)，其早期以空分氣體及設(shè)備為立足點(diǎn)，逐步打入電子用

46、氣、醫(yī)療用氣等領(lǐng)域，其優(yōu)勢在于利用大型空分裝置切入下游客戶，借助平臺(tái)優(yōu)勢順勢發(fā)展成為氣體綜合解決方案提供商。對(duì)應(yīng)地，林德的氣體業(yè)務(wù)營收占比已由 2015 年的 75.0%提升至 2018 年的 85.4%。圖 27：晶圓廠氣體供應(yīng)包括現(xiàn)場制氣以及零售氣圖 28：林德集團(tuán)立足空分氣體向電子、醫(yī)療用氣拓展資料來源：林德集團(tuán)官網(wǎng)，長江證券研究所資料來源：林德集團(tuán)，長江證券研究所注：圖中時(shí)間為相關(guān)產(chǎn)品開始大規(guī)模量產(chǎn)的時(shí)間點(diǎn)圖 29：林德集團(tuán)醫(yī)療用氣占比逐步提升（百萬歐元）450030%4000350025%300020%2500200015%150010%10005%50020002001200220

47、032004200520062007200820092010201120122013201420152016201700%現(xiàn)場制氣液化氣瓶裝氣體醫(yī)療用氣醫(yī)療用氣收入占比（右軸）資料來源：Bloomberg，長江證券研究所注：2006 年林德集團(tuán)收購了英國氧氣公司（BOC）；2012 年林德集團(tuán)收購 Lincare Holdings Inc.加碼醫(yī)療氣體慧瞻模式：專注電子特氣，內(nèi)生+收購，從單一品類向多品類拓展?；壅安牧铣闪⒂?2015年，前身為空氣化工產(chǎn)品公司的電子材料部，后單獨(dú)上市，空氣化工產(chǎn)品公司的股東即為慧瞻材料的原始股東。公司于 20 世紀(jì) 70 年代進(jìn)軍電子行業(yè)，立足于三氟化氮等產(chǎn)品

48、，逐步向整套電子化學(xué)品拓展?；壅安牧系暮诵母偁幜υ谟诋a(chǎn)品多樣性、服務(wù)即時(shí)性以及客戶的優(yōu)質(zhì)性。公司產(chǎn)品包括有機(jī)硅烷、金屬有機(jī)化合物等薄膜沉積前驅(qū)體，CMP 漿料（拋光液），拋光清洗液，刻蝕，清洗氣體，高純離子摻雜氣體等。服務(wù)方面，公司在美國和韓國各設(shè)立一家設(shè)備安裝及現(xiàn)場維護(hù)公司，為客戶提供即時(shí)的氣體安裝及現(xiàn)場維護(hù)服務(wù)?？蛻舴矫?，聚焦下游龍頭企業(yè)，其中 Intel、三星、臺(tái)積電為公司 2017 財(cái)年前三大客戶。公司于 2019 年底退市，退市前估值約 58 億美金，對(duì)應(yīng) PE 約 29 倍。圖 30：慧瞻材料專注電子特氣圖 31：慧瞻材料 EBITDA 持續(xù)增長營收（億美元）營收增速（右軸）EBI

49、TDA（億美元）EBITDA變化（右軸）1425%1220%1015%810%65%40%2-5%0201320142015201620172018-10%資料來源：慧瞻材料官網(wǎng)，長江證券研究所資料來源：Wind，長江證券研究所注：由于 2016 年從美國空氣產(chǎn)品公司分離出后涉及到資產(chǎn)變更為負(fù)債的情況，造成利息支出相對(duì)較高，因此，此處用 EBITDA 更能體現(xiàn)公司實(shí)際的業(yè)務(wù)運(yùn)行情況圖 32：慧瞻材料具有穩(wěn)定的現(xiàn)金流300250200經(jīng)營所得現(xiàn)金流凈額（百萬美元）占凈利潤的比重（右軸）274.4278.3253.4262.5188.9160%150%140%150130%100120%50110

50、%020142015201620172018100%資料來源：Wind，長江證券研究所國內(nèi)企業(yè)各具優(yōu)勢，競爭錯(cuò)位國內(nèi)空分企業(yè)與特氣企業(yè)分明，業(yè)務(wù)上構(gòu)筑各自壁壘。國內(nèi)氣體公司包括以杭氧、盈德、寶鋼氣體為代表的空分企業(yè)，主要是以管道氣為主的現(xiàn)場制氣項(xiàng)目，可能更適合林德模式切入特種氣體，作為氣體綜合服務(wù)商的角色，進(jìn)行空分和特氣資源的整合。作為空分巨頭，內(nèi)生進(jìn)行特氣技術(shù)和產(chǎn)品的開發(fā)，難度相對(duì)較大且所需時(shí)間周期較長，未來更多或以業(yè)務(wù)合作或收購的模式開展相關(guān)業(yè)務(wù)，相關(guān)企業(yè)的優(yōu)勢在于資金實(shí)力和體量優(yōu)勢。特氣企業(yè)的優(yōu)勢在于對(duì)細(xì)化特氣產(chǎn)品的技術(shù)積淀，以及對(duì)相應(yīng)產(chǎn)品在下游客戶的認(rèn)證壁壘，目前來看，國內(nèi)空分企業(yè)和特

51、氣企業(yè)不存在直接的競爭。特氣企業(yè)錯(cuò)位競爭，各具優(yōu)勢。特種氣體品類較多，國內(nèi)各企業(yè)具有各自的核心產(chǎn)品品類，比如南大光電的 MO 源，雅克科技的氟碳類氣體、三氟化氮，華特氣體的六氟乙烷、光刻氣，718 所的三氟化氮、六氟化鎢，金宏氣體的超純氨等等。此外，下游的客戶也各有側(cè)重，比如金宏氣體更多面向 LED 企業(yè)，華特氣體主要面向半導(dǎo)體晶圓廠，綠菱電子主要對(duì)接國際氣體巨頭等等。我們認(rèn)為未來國內(nèi)特氣公司的成長路徑在于內(nèi)生+外延+產(chǎn)業(yè)資源整合拓展品類，同時(shí)開拓應(yīng)用領(lǐng)域和客戶群，打造成為國內(nèi)領(lǐng)先的特種氣體一體化供應(yīng)平臺(tái)。圖 33：半導(dǎo)體晶圓制造各環(huán)節(jié)對(duì)應(yīng)的典型國內(nèi)氣體企業(yè)資料來源：各公司公告，各公司官網(wǎng)，長

52、江證券研究所表 6：國內(nèi)特種氣體典型企業(yè)對(duì)比公司名稱地區(qū)產(chǎn)品產(chǎn)量年產(chǎn)能主要客戶南大光電江蘇蘇州巨化集團(tuán)浙江衢州特種氣體（高純砷烷、磷烷）44.2噸（2018）50.0噸（2018）三甲基鎵28.7噸（2018)25.0噸（2018)三甲基銦1.4噸（2018）1.5噸（2018）電子化學(xué)材料（高純氯化氫、高純氯氣、電子級(jí)混合氣體 等）超純氨年產(chǎn)量7270.0噸Osram、飛利浦、豐田合成等巴斯夫、DSM、溫州市木子化工有限公司等三安光電、華燦光電、澳洋金宏氣體江蘇蘇州特種氣體（2018）年產(chǎn)能8500.0噸（2018）順昌等中環(huán)裝備（子公司啟源領(lǐng)先）大宗氣體清潔煤氣陜西西安高純磷烷、砷烷、鍺烷

53、主要面向全國、美洲、日本、氘氣、三氟化氮、六氟化鎢、預(yù)計(jì)到2020年，高純?nèi)獨(dú)怏w產(chǎn)能15000.0噸/年、中船重工718所河北邯鄲三氟甲磺酸高純六氟化鎢氣體產(chǎn)能1300.0噸/年歐洲市場；客戶群為醫(yī)藥行業(yè)、貿(mào)易公司等恒坤股份陜西西安正硅酸乙酯2018年中募集資金投建年產(chǎn)1000.0噸正硅酸乙酯產(chǎn)能 華為、聯(lián)想等氨、砷烷、三氯化硼、三氟科利德化工遼寧大連化硼、氯氣、二氧化碳、四氟化碳、三氟甲烷、六氟乙烷等在安徽建設(shè)包括年產(chǎn)8000噸高純氨、年產(chǎn)6000.0噸高純氧化亞氮等十余種產(chǎn)品在內(nèi)的13835.0噸高純電子 氣體產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。計(jì)劃2018年12月投產(chǎn)高純六氟乙烷350.0噸，高氟碳類氣體

54、（包括六氟乙烷、高純六氟乙烷301.2噸，高四氟化碳等）純四氟化碳450.0噸純四氟化碳345.1噸(2018）華特氣體廣東佛山高純氨1240.5噸（2018）1350.0噸（2018）力等；氫氣140.6噸（2018）180.0噸（2018）氣體公司客戶：液化空氣集消毒氣595.9噸（2018）1200.0噸（2018）團(tuán)、大陽日酸等碳氧化合物1219.3噸（2018）1480.0噸（2018)（2018）終端客戶：中芯國際、長江存儲(chǔ)、華潤微電子、華虹宏黎明化工研究設(shè)計(jì)院青海大通六氟化硫、三氟化氮、四氟 具備年產(chǎn)2800.0噸六氟化硫、2000.0噸三氟化氮和化碳中昊光明化工研究設(shè)計(jì)200.

55、0噸四氟化碳產(chǎn)能遼寧大連氨、氙氣、氪、氖等院六氟化硫、四氟化碳、三氟 2019年投資3.2億元建設(shè)46種特種氣體產(chǎn)品，合計(jì)產(chǎn)能 德國林德集團(tuán)、法液空集團(tuán)綠菱電子材料天津雅克科技江蘇無錫甲烷、六氟乙烷等六氟化硫、四氟化碳、三氟化氮、CVD前驅(qū)體、SOD5990.0噸/年科美特具備年產(chǎn)8500.0噸六氟化硫和1200.0噸電子級(jí)四氟化碳產(chǎn)能，年產(chǎn)3500.0噸電子級(jí)三氟化氮項(xiàng)目正在建設(shè)中，18年預(yù)計(jì)出貨400.0-500.0噸等西電集團(tuán)等（科美特客戶）；SK海力士、三星電子等（UP Chemical客戶）資料來源：我國電子氣體發(fā)展概況，各公司公告及官網(wǎng)，長江證券研究所表 7：國內(nèi)特種氣體典型企業(yè)現(xiàn)

56、有產(chǎn)能與新增年產(chǎn)能（噸）公司/產(chǎn)品名稱華特氣體南大光電昊華科技雅克科技中船重工718 所現(xiàn)有新增現(xiàn)有新增現(xiàn)有新增現(xiàn)有新增現(xiàn)有新增CF445020080012001500C2F63501005060NF31000200020001000350060009000SF62000280085004500C3F810030氫氟酸520砷烷101515磷烷103535乙硼烷3三氟化硼101鍺烷10硒化氫4020資料來源：各公司公告及官網(wǎng)，長江證券研究所（注：南大光電產(chǎn)能數(shù)據(jù)包含了子公司飛源氣體產(chǎn)能數(shù)據(jù)，雅克科技產(chǎn)能數(shù)據(jù)包含了科美特產(chǎn)能數(shù)據(jù)，各企業(yè)特氣品類復(fù)雜，表中數(shù)據(jù)僅含部分品類，為不完全梳理）產(chǎn)業(yè)鏈重點(diǎn)

57、公司電子特氣兼具技術(shù)壁壘及客戶認(rèn)證壁壘，進(jìn)口替代空間較大，建議把握電子特氣國產(chǎn)化趨勢的投資機(jī)會(huì)。產(chǎn)業(yè)鏈標(biāo)的眾多，A 股中相關(guān)標(biāo)的主要有華特氣體、雅克科技、昊華科技、南大光電、巨化股份、凱美特氣等。此外，金宏氣體擬科創(chuàng)板上市。華特氣體：特種氣體國產(chǎn)化先行者華特氣體前身為南海市華特氣體有限公司，公司成立之初，主要從事普通工業(yè)氣體的充裝、零售，2005 年正式確立特種氣體為主要研發(fā)及發(fā)展方向。目前公司業(yè)務(wù)主要分為特種氣體、普通工業(yè)氣體、氣體設(shè)備與工程三大部分。公司下游客戶包括中芯國際、長江存儲(chǔ)、臺(tái)積電等知名晶圓廠商。公司發(fā)布 2019 業(yè)績快報(bào)，2019 年實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入 8.4億元，同比增長 3.1

58、%；實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤 0.8 億元，同比增長 14.4%。2019 年上半年，公司特種氣體業(yè)務(wù)實(shí)現(xiàn)營收 2.1 億元，占比 53.4%；實(shí)現(xiàn)毛利 0.8 億元，占比 60.1%，毛利率達(dá)到 40.7%。圖 34：華特氣體營業(yè)收入、歸屬凈利潤及其增速情況圖 35：2019H1 華特氣體產(chǎn)品營收占比及毛利占比營業(yè)收入（億元）歸母凈利潤（億元）14.2%24.2%18.6%27.1% 內(nèi)圈：營收占比外圈：毛利占比53.4%60.1%營業(yè)收入增速（右）歸母凈利潤增速（右）9876543210201420152016201720182019E50%40%30%20%10%0%-10%-20%-30%特種氣

59、體普通工業(yè)氣體設(shè)備與工程 其他業(yè)務(wù)資料來源：Wind，長江證券研究所資料來源：Wind，長江證券研究所公司特種氣體產(chǎn)能擴(kuò)張項(xiàng)目穩(wěn)步進(jìn)行。根據(jù)公司的招股說明書，公司擬投資 3.5 億元用于氣體中心建設(shè)及倉儲(chǔ)經(jīng)營項(xiàng)目，2.2 億元用于電子氣體生產(chǎn)純化及工業(yè)氣體充裝項(xiàng)目總投資。其中，氣體中心建設(shè)及倉儲(chǔ)經(jīng)營項(xiàng)目主要為電子特氣產(chǎn)品，電子氣體生產(chǎn)純化及工業(yè)氣體充裝項(xiàng)目也涉及對(duì)氟碳類氣體如四氟化硅、六氟乙烷等電子氣體。氣體中心建設(shè)及倉儲(chǔ)經(jīng)營項(xiàng)目全部達(dá)產(chǎn)后，公司將新增產(chǎn)品年產(chǎn)能包括：高純鍺烷 10 噸、硒化氫 40 噸、磷烷 10 噸、年充裝混配氣體 500 噸、倉儲(chǔ)經(jīng)營銷售砷烷 10 噸、乙硼烷 3 噸、氯

60、氣 300 噸、三氟化硼 10 噸。電子氣體生產(chǎn)純化及工業(yè)氣體充裝項(xiàng)目分兩期完成，第一期投資建設(shè)規(guī)模為年生產(chǎn) 50 噸硫化氫、年純化 10 噸鍺化氫、100 噸四氟化硅、100噸六氟乙烷、100 噸八氟乙烷、100 噸一氟甲烷。雅克科技：國內(nèi)含氟氣體龍頭公司積極轉(zhuǎn)型電子材料業(yè)務(wù)，電子特氣為方向之一。雅克科技的傳統(tǒng)業(yè)務(wù)為阻燃劑業(yè)務(wù)， 2016-2018年，公司先后并購華飛電子、江蘇先科和成都科美特進(jìn)軍電子材料業(yè)務(wù)，當(dāng)前電子材料業(yè)務(wù)主要分為IC前驅(qū)體、電子特氣和封裝用球形硅微粉三大部分。公司下游客戶包括SK海力士、三星電子、臺(tái)積電、中芯國際、長江存儲(chǔ)等世界知名半導(dǎo)體廠商。公司發(fā)布2019年業(yè)績快報(bào)