MEMS傳感器的現(xiàn)狀及發(fā)展前景

1、-. z.- - - z - 畢業(yè)設(shè)計指導(dǎo)課論文MEMS傳感器的現(xiàn)狀及開展前景摘要：MEMS傳感器是隨著納米技術(shù)的開展而興起的新型傳感器,具有很多新的特性,相對傳統(tǒng)傳感器其具有更大的優(yōu)勢。在追求微型化的當(dāng)代,其具有良好的開展前景,必將受到各個國家越來越多的重視。文章首先介紹了MEMS傳感器的分類和典型應(yīng)用,然后著重對幾個傳感器進展了介紹,最后對MEMS傳感器的開展趨勢與開展前景進展了分析。關(guān)鍵詞：MEMS傳感器; 加度計; 陀螺儀; 納米技術(shù); 微機構(gòu); 微傳感器Status and Development Prospect of MEMS SensorsAbstract: MEMS sens

2、or is a new type of sensor with the development of nanotechnology. It has many new features, which has a great advantage over traditional sensors. In the pursuit of miniaturization of the contemporary, its good prospects for development, will be subject to more and more attention in various countrie

3、s. Firstly, the classification and typical application of MEMS sensor are introduced. Then, several sensors are introduced. Finally, the development trend and development prospect of MEMS sensor are analyzed.Key words: MEMS sensor; accelerometer; gyroscope; nanotechnology; micro-mechanism; micro-sen

4、sor目錄 TOC o 1-3 h z u HYPERLINK l _Toc497053031一、引言 7，由硅梁、激振元件、測振元件和氣體敏感膜組成。微梁被置于被測氣體中后，外表的敏感膜吸附氣體分子而使梁的質(zhì)量增加，使梁的諧振頻率減小。這樣通過測量硅梁的諧振頻率可得到氣體的濃度值。對NO2氣體濃度的檢測實驗說明，在01041104的圍有較好的線性，濃度檢測極限到達1106，當(dāng)工作頻率是19kHz時，靈敏度是1.3Hz/10 6。德國的M.Maute等人在SiN*懸臂梁外表涂敷聚合物PDMS來檢測己烷氣體，得到0.099Hz/106的靈敏度。三、結(jié)語隨著微納米技術(shù)的開展、微機械制造技術(shù)的成熟,

5、越來越多的傳感器開場向著微型化不斷開展。利用MEMS技術(shù)加工制作的微型傳感器具有微型化、集成化、低本錢、易批量生產(chǎn)等一系列優(yōu)點,其呈現(xiàn)出來的優(yōu)勢受到了越來越多國家的重視,很多國家也開場投入重金開展微型傳感器。雖然目前己經(jīng)開發(fā)出的微型傳感器還存在靈敏度低、工作區(qū)窄、精度差等缺乏,但是相信隨著科研的深入,以后的微型傳感器一定可以克制現(xiàn)階段的缺乏,呈現(xiàn)出蓬勃的開展生機。參考文獻：肖應(yīng)超.MEMS傳感器開展現(xiàn)狀與應(yīng)用J.中國高新技術(shù)企業(yè),2016,(35):46-47.周百令,江安,儲云仙. 雙平衡環(huán)撓性陀螺接頭疲勞壽命的可靠性預(yù)計J. 船舶工程,1996,(01):50-58+3.唐建飛. 自升式鉆井平臺懸臂梁構(gòu)造優(yōu)化設(shè)計研究D.科技大學(xué),2016.鄧允朋. 基于音叉效應(yīng)的雙質(zhì)量塊硅微陀螺儀構(gòu)造優(yōu)化設(shè)計D.東南大學(xué),2016.靳利波. 磁致伸縮位移傳感器在汽車減震器中的應(yīng)用研究D.大學(xué),2013.小青,慶成. 氣體傳感器及其開展J. 東華理工學(xué)院學(xué)報,2004,(01):89-93.卜丹. 基于MEMS的硅梁諧振式氣體傳感器研制D.大學(xué),2006.致衷心的感我的教師林仙，在本課題研究過程中，得到了教師的悉心指導(dǎo)。在本學(xué)期中，在教師的熱情幫助和催促下，不但使我順利完成了畢業(yè)指導(dǎo)課論文，而且學(xué)習(xí)到了很多有