納米級(jí)超精密切削技術(shù)簡(jiǎn)介（繁體）

1、奈米級(jí)超精密切削技術(shù)簡(jiǎn)介華梵大學(xué)機(jī)電工程學(xué)系奈米級(jí)超精密加工技術(shù)Source：工研院機(jī)械工業(yè)研究所華梵大學(xué)機(jī)電工程學(xué)系奈米級(jí)超精密切削超精密車(chē)床 高精度高速旋轉(zhuǎn)主軸(靜油壓，空壓軸承)， 傳動(dòng)機(jī)構(gòu)精度高，剛性高，微細(xì)進(jìn)給(1um以下)， 精密量測(cè)控制裝置。被削材 磁碟、磁鼓、球面鏡等電子光學(xué)元件與精密模具 Cu、Au、Ag、Al、Pt、Pb、electroless Ni、Be、 Brass、Si、Glass 、 、 等。 20 50 nm Rmax 的面粗糙度。其值可更小，但 取決於加工機(jī)械的運(yùn)動(dòng)精度。 紅外線(xiàn)窗用材料，面粗糙度 Rmax (nm) SrF2(23)、ZnS(40)、CaF2(

2、43)、NaCl(45)、ZnSe(76)、Ge(27 137)。華梵大學(xué)機(jī)電工程學(xué)系奈米級(jí)超精密切削單點(diǎn)鑽石超精密車(chē)削 (SPDT)鑽石刀具 劍形形狀，側(cè)切刃角 0 50C，斜角小00 正 ，單晶天然鑽石車(chē)刀。切削條件 feed：0.01 0.1mm/rev 1 40 nm DOC：0.2 0.6 mm 5 50 nm V：1000m/min華梵大學(xué)機(jī)電工程學(xué)系Schematic of orthogonal cutting operation華梵大學(xué)精密加工實(shí)驗(yàn)室理想的工件表面粗糙度Rmax = f 2 / 8 r = 0.001 m = 1 nm 當(dāng) f： 於工件1迴轉(zhuǎn)的進(jìn)給量 = 5 m

3、/rev。 r：鑽石刀具刃端半徑 = 3 mm。華梵大學(xué)機(jī)電工程學(xué)系切削精加工面形成模式華梵大學(xué)機(jī)電工程學(xué)系CNC超精密車(chē)床的機(jī)械組合華梵大學(xué)機(jī)電工程學(xué)系CNC超精密車(chē)床的機(jī)械組合 (續(xù))華梵大學(xué)機(jī)電工程學(xué)系 花崗巖特性 振衰減能 ( 為Fe的數(shù)倍)。 熱安定性 (熱傳率為Fe的 1/50)。 時(shí)效安定性。超精密主軸的球面空氣軸承華梵大學(xué)機(jī)電工程學(xué)系床臺(tái)運(yùn)動(dòng)之6自由度華梵大學(xué)機(jī)電工程學(xué)系拘束形靜壓軸承滑軌面華梵大學(xué)機(jī)電工程學(xué)系CNC超精密車(chē)床的控制系統(tǒng)華梵大學(xué)機(jī)電工程學(xué)系雷射干涉位置回饋系統(tǒng)華梵大學(xué)機(jī)電工程學(xué)系掃描器干涉與其光學(xué)系華梵大學(xué)機(jī)電工程學(xué)系精密切斷加工機(jī)華梵大學(xué)機(jī)電工程學(xué)系精密平面加工機(jī)華梵大學(xué)