lcd共享柱高知識(shí)簡(jiǎn)介

1、2022/8/301柱高知識(shí)簡(jiǎn)介張之煩2022/8/3021.柱狀Spacer概要Spacer材料球狀Spacer (價(jià)格優(yōu)勢(shì)）柱狀Spacer高對(duì)比度盒厚均勻塑性形變SampleN數(shù)面內(nèi)平均Gap(25點(diǎn)/面)3面內(nèi)平均Gap(3P/AVE)3(3P/AVE)BS(15-04)33.9843.9233.8850.1380.1230.1063.9310.122PS(15-10)34.0124.0544.0270.0470.0350.0434.0310.042常溫震動(dòng)黃Mura本SealPS液晶加熱后高溫黃Mura2022/8/303分束玻片補(bǔ)償玻片反射鏡反射鏡2MM1觀察屏入射光線邁克耳孫干涉

2、儀邁克耳遜干涉儀2.柱高測(cè)量原理d=N/22022/8/3043.柱高測(cè)量設(shè)備介紹1.夾緊機(jī)構(gòu)（Chuck)2.基準(zhǔn)相機(jī)（Fiducial Cameras）3.測(cè)量鏡頭（measure Heads）4.隔振基座框架（Isolation Frame）5.安全圍欄（Safety Enclosure）6.操作平臺(tái)（Operator Console Stand）VCRLoad夾緊AlignMeasureJudgeUnload&Feedback：1.PHOSPA-Hm、PHOSPA-Hp；2.TOPSIZ、TOPSIZ-Dx、TOPSIZ-Dy；3.BOTSIZ、BOTSIZ-Dx、BOTSIZ-Dy。

3、PSH2022/8/305燈光設(shè)置Mask設(shè)置Sherlock設(shè)置非常規(guī)工藝控制點(diǎn)：1.Film Min Mode：過(guò)濾掉小振幅的波2.Low Clip：過(guò)濾掉頂端突起3.Remove Spikes：過(guò)濾個(gè)別較大頻率的波4.Trim：過(guò)濾掉邊緣部分5.FDA Noise Threshold：4.工藝參數(shù)測(cè)量位置LoadAlignFPM部分Metropro部分measurefeedback測(cè)量常規(guī)工藝控制點(diǎn)各品種PS形狀Fiducial設(shè)置圖：噪音等對(duì)測(cè)量的影響2022/8/3065.PSH & 液晶滴下反饋模式CF LineTFT Line柱高液晶滴下真空貼合Data反饋模式Feedback計(jì)

4、算方法1.每20片glass作為1個(gè)unit；2.每個(gè)unit的第1枚glass作為standard sheet，每個(gè)panel測(cè)量5個(gè)point； standard height = standard sheet所有測(cè)量point的平均值， panel standard height = standard sheet相應(yīng)panel 5個(gè)測(cè)量point的平均值3.第220枚glass每個(gè)panel測(cè)量1個(gè)point； ave.height=當(dāng)前glass所有測(cè)量point的平均值（包含第1枚glass），4.act.height=panel standard height + （ave.height - standard height），5. 相應(yīng)panel液晶滴下量補(bǔ)正值 = （act.height / setting height - 1）*100%；6. feedback = 100 + panel液晶滴下量補(bǔ)正值*1000 （正整數(shù)）feedbackPanel液晶滴下量補(bǔ)正值991-0.1%-9.9%1011990.1%9.9%100無(wú)補(bǔ)正error大于10%常見(jiàn)不良模式1.PS過(guò)低：黃MURA2.PS