半導體設備零部件行業(yè)研究報告：核心零部件進入投資元年

1、半導體設備零部件行業(yè)研究報告：核心零部件進入投資元年 HYPERLINK /SH601696.html 半導體關鍵零部件分類半導體設備由 8 類核心子系統(tǒng)構成據(jù)半導體產(chǎn)業(yè)調(diào)查公司 VLSI 統(tǒng)計，半導體設備的關鍵子系統(tǒng)主要分為 8 大類。包含：氣液流量控 制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、制程診斷系統(tǒng)、光學系統(tǒng)、電源及氣體反應系統(tǒng)、熱管理系統(tǒng)、晶圓傳送系 統(tǒng)、其他集成系統(tǒng)及關鍵組件，每個子系統(tǒng)亦由數(shù)量龐大的零部件組合而成。不同半導體設備的核心零部件有所不同。例如：光刻機的核心零部件包括工作臺、投影物鏡、光源 等，而等離子體真空設備（PVD、CVD、刻蝕）的核心零部件包括 MFC、射頻電源、真空泵、ESC 等。

2、半導體核心零部件：通用部件國產(chǎn)化難度高 HYPERLINK /SH688012.html 半導體設備企業(yè)采購的零部件通常包括機械類、機電一體類、電氣類、氣體輸送系統(tǒng)類、真空系統(tǒng) 類、附屬設備等。參考部分半導體設備公司的招股說明書，其中，腔體、金屬加工件、EFEM 等精 密機加件的國產(chǎn)供應商包括靖江先鋒（參考沈陽拓荊、中微公司的招股說明書）、沈陽富創(chuàng)（參考 公司官方網(wǎng)站）、兆恒眾力等，而真空系統(tǒng)、真空泵、射頻電源、機械手等通用部件都是采購 MKS、AE、愛德華、Rorze 等外資品牌。半導體附屬設備：國產(chǎn)化相對容易 HYPERLINK /SZ300024.html 集成電路制造關鍵附屬裝臵主要包

3、括溫控裝臵、干泵、尾氣處理裝臵和真空隔離閥。其中，北京京 儀自動化裝備技術有限公司成立于 2016 年 6 月，在溫控裝臵、尾氣處理裝臵等領域有一定的競爭 優(yōu)勢，是一家集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的裝備制造企業(yè)，主要產(chǎn)品包括半導體溫控裝臵系列 （Chiller）、機器人系列（Wafer Sorter/AMR）、廢氣處理裝臵系列（Local Scrubber）等專用設備，現(xiàn) 已廣泛應用于半導體、LED、LCD 等領域，且公司客戶包括中芯國際、長江存儲、華虹無錫等國內(nèi) 知名半導體企業(yè)。半導體零部件的市場前景半導體零部件的重要性：半導體全產(chǎn)業(yè)鏈的基石核心零部件作為半導體設備的主要組成部分，與半導體材料、

4、EDA 軟件共同支撐著半導體產(chǎn)業(yè)鏈中 設計、制造、封測等環(huán)節(jié)，從而支撐全球經(jīng)濟數(shù)字化進程。半導體核心零部件與半導體原材料一 樣，盡管市場規(guī)模小，卻決定了半導體設備的核心構成、主要成本、優(yōu)質(zhì)性能等。參考半導體零部件各公司的財務數(shù)據(jù)統(tǒng)計：半導體核心零部件市場規(guī)模約 200-300 億美元，支撐半導體設備市場規(guī)模約 800-900 億美元；半導體設備行業(yè)規(guī)模 800-900 億美元，與半導體材料、EDA 共同支撐全球半導體行業(yè)規(guī)模 5000 多億美元。參考國內(nèi)半導體設備公司的主營成本結構，半導體零部件及原材料占設備企業(yè)主營成本的 80%- 90%，而零部件采購又占到半導體設備成本的 80%以上。半導

5、體零部件的市場規(guī)模：200-300 億美元方法一：營業(yè)成本推導，推測全球半導體零部件的市場規(guī)模估計 300 億美元左右。參考半導體設備 上市公司的財務數(shù)據(jù)，半導體設備零部件及原材料的采購成本占半導體設備企業(yè)營業(yè)成本的 80%- 90%，且半導體設備企業(yè)的毛利率普遍在 40%-60%之間，即營業(yè)成本占營業(yè)收入的比重平均在 50% 左右，因此半導體設備零部件及其他原材料市場規(guī)模相當于全球半導體設備市場規(guī)模的 40%-45%范 圍內(nèi)，其中半導體零部件占據(jù)大部分（8 成以上）。根據(jù)全球 2021 年半導體設備市場規(guī)模約為 800- 900 多億美元，由此推測全球半導體零部件的市場規(guī)模估計 300 億美

6、元左右。方法二：通過核心零部件企業(yè)的收入加總推導，估計全球半導體設備零部件及附屬設備的市場規(guī)模 超 200 億美元。非光刻零部件：參考全球主要半導體零部件的收入規(guī)模，包括 MKS、UCT、ICHOR、AE、 Edwards 等主要半導體零部件公司的收入總計為 100 多億美元；光刻零部件：ASML 光刻機相關的零部件市場規(guī)模估計超過 50 億美元，主要參考 ASML 2021 年光刻機整機總收入有望達到 140 億歐元，毛利率接近 50%，營業(yè)成本中零部件占了大部 分。附屬設備：根據(jù) IC World 會議資料，半導體附屬設備年均市場規(guī)模超過 20 億美元。備件備品：Fab 廠運營過程中，需更

7、換的備品備件市場需求。參考應用材料、ASML、泛林半 導體、TEL 等的收入結構，備品備件及售后服務在整個收入結構中占比平均為 26%，或者說 備品備件及售后服務相當于整機銷售收入的 36%，但估計包括了部分人工增值服務收入。因 此，F(xiàn)ab 廠運營中更換的備品備件應該具備一定的市場規(guī)模。細分市場：射頻電源、真空泵、吸盤、噴淋頭等占比高參考芯謀研究發(fā)布的中國半導體卡脖子的源頭之一設備零部件，中國晶圓制造廠商采購的 設備零部件主要有：石英（Quartz）、射頻發(fā)生器（RF Generator）、各種泵（Pump）等，各占零部件采購金額的 比重依次是 11%、10%、10%；閥門（Valve）、靜電

8、吸盤（e-Chuck）、反應腔噴淋頭（Shower Head）、邊緣環(huán)（Edge Ring） 等零部件的采購占比依次是 9%、9%、8%、6%；真空規(guī)、MFC、陶瓷部件、O-Ring 等零部件的采購占比依次是 3%、2%、2%、1%。半導體零部件的競爭格局主要被美國、日本壟斷，行業(yè)集中度高據(jù) IC World 2020 公開的 20 類半導體核心零部件產(chǎn)品的 44 家主要供應商中，有約 20 家美國供應商 (近 45%)、16 家日本供應商（近 36%）、2 家德國供應商、2 家瑞士供應商、2 家韓國供應商、1 家 英國供應商等，均為境外供應商，且以美國和日本的供應廠商為主。根據(jù)全球主要半導體

9、零部件企業(yè)（不含光刻機零部件）的半導體收入進行統(tǒng)計，美國半導體零部件 企業(yè)的合計收入占比 44%，日本半導體零部件企業(yè)的合計收入占比 33%，英國、瑞士等歐洲地區(qū)占 比 21%，新加坡、韓國等半導體零部件企業(yè)的合計收入占比僅為 2%。ASML 光刻機零部件供應商遍布全球光刻機作為芯片制造的核心設備，內(nèi)部結構精確而復雜，最先進的光刻機由近 10 萬個組件構成， 而其核心零部件均為國際廠商供應，具體包括：=光源系統(tǒng)由美國 Cymer 提供；光學鏡頭由德國蔡司提供；計量設備由美國是德科技提供；傳送帶由荷蘭 VDL 集團提供。半導體零部件的國產(chǎn)化目前半導體核心零部件高度依賴進口長江存儲技術有限責任公司

10、副總裁、聯(lián)席 CTO 程衛(wèi)華曾介紹，在半導體晶圓制 造廠里，密封圈、靜電吸盤、閥類、陶瓷類真空壓力計等零部件大部分需要進口。其中，閥類費用 支出約占所有耗材支出的 10.6%，市場需求強勁，但國內(nèi)供應商基本為空白。參考芯謀研究數(shù)據(jù)，目前半導體零部件國產(chǎn)化率超過 10%的有 Quartz 成品、Shower head、Edge ring 等少數(shù)幾類，其余的國產(chǎn)化程度都比較低，特別是 Valve、Gauge、O-ring 等幾乎完全依賴進口。據(jù)各家半導體設備企業(yè)的前五大供應商統(tǒng)計，半導體真空設備的零部件較大程度依賴于美國的 MKS、UCT，以及日本的 RORZE CORPORATION、Ferro

11、tec 等。政策引導半導體零部件等卡脖子環(huán)節(jié)的國產(chǎn)化突破在歷次政府工作報告中，核心零部件卡脖子環(huán)節(jié)均受到重視。在 2021 年 7 月 30 日召開的中共中央 政治局召開會議上強調(diào)：要強化科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈韌性，加強基礎研究，推動應用研究，開 展補鏈強鏈專項行動，加快解決“卡脖子”難題，發(fā)展專精特新中小企業(yè)。在 2019 年 9 月 3 日舉辦的 半導體集成電路零部件產(chǎn)業(yè)峰會上，與會企業(yè)表示要促進我國半導體集成電路零部件產(chǎn)業(yè)的發(fā)展， 增強零部件企業(yè)和下游企業(yè)之間的合作，構建良性的產(chǎn)業(yè)生態(tài)，加快零部件國產(chǎn)化進程。通過整合 全國集成電路零部件領域創(chuàng)新資源，緩解“卡脖子”問題，實現(xiàn)關鍵核心技術自

12、主可控，為我國集成 電路技術創(chuàng)新發(fā)展做出貢獻。半導體零部件的國產(chǎn)化正在進行致力于半導體零部件國產(chǎn)化的本土企業(yè)，目前統(tǒng)計至少有 10 多家以上。具體包括： HYPERLINK /SH688233.html 神工股份：為國內(nèi)領先集成電路刻蝕用單晶硅材料供應商，主營 14-19 英寸的大尺寸高純度 集成電路刻蝕用單晶硅材料，是晶圓生產(chǎn)中刻蝕環(huán)節(jié)所使用的核心耗材。目前已向多個國際 知名硅電極制造商提供產(chǎn)品，近 9 成營收來自港澳臺及海外。同時，子公司福建精工能夠把 大直徑單晶硅材料加工成刻蝕機用硅零部件（硅上電極、硅托環(huán)等），目前已批量生產(chǎn)，獲 得或通過多家 8 英寸、12 英寸集成電路生產(chǎn)商的評估機

13、會。公司還積極布局大尺寸硅片領 域，3 大業(yè)務的協(xié)同效應使公司獲得更加扎實的成長確定性。 HYPERLINK /SH600641.html 萬業(yè)企業(yè)：通過聯(lián)合收購新加坡 Compart System，布局半導體零部件業(yè)務。Compart System 主 營業(yè)務包括 BTP 組件、裝配件、密封件、氣棒總成、MFC 質(zhì)量流量控制器、焊接件，核心 客戶包括 UCT、ICHOR 等，終端客戶包括應用材料和泛林半導體等。 HYPERLINK /SZ300820.html 英杰電氣：公司主要產(chǎn)品包括功率控制電源、特種電源等。半導體客戶方面，主要供應設備 用功率控制器、射頻電源等，配套 MOCVD 、藍寶

14、石爐、碳化硅設備等。 HYPERLINK /SZ300260.html 新萊應材：公司半導體產(chǎn)品面向國內(nèi)外眾多客戶，包括國外的美商應材、LAM、國內(nèi)的北方 華創(chuàng)、中微半導體、長江存儲、合肥長鑫、無錫海力士、中芯國際、正帆科技、至純科技、 亞翔集成、等知名客戶。當前公司半導體真空系統(tǒng)產(chǎn)品面的客戶較多，未來氣體系統(tǒng)將是公 司重點攻克的方向，并于 2019 年底發(fā)行可轉(zhuǎn)債募資 2.8 億元加大投入半導體氣體系統(tǒng)。靖江先鋒：公司成立于 2008 年，專注于精密金屬零部件生產(chǎn)制造，具有數(shù)控加工中心為主體 的精密加工，和針對鋁、不銹鋼等金屬材料表處理能力。 HYPERLINK /SZ300316.html

15、 晶盛機電：在半導體關鍵輔材耗材方面，公司建立了以高純石英坩堝、拋光液及半導體閥 門、管件、磁流體、精密零部件為主的產(chǎn)品體系，建立了國內(nèi)領先的半導體設備精密加工制 造基地，半導體輔材耗材業(yè)務取得快速增長。公司半導體石英坩堝在研發(fā)和市場開拓方面取 得積極進展，已向客戶批量銷售 32 英寸合成坩堝，并研發(fā)了 36 英寸石英坩堝。目前公司 的半導體石英坩堝在大陸及中國臺灣市場份額增長較快，并爭取向海外其他市場開拓業(yè)務。 HYPERLINK /SZ300666.html 江豐電子： 公司半導體零部件主要布局 PVD 機臺用 Clamp Ring、Collimator，CVD、etching 機臺 用 face plate、shower head 等，化學機械研磨機臺用金剛石研磨片、Retaining Ring 等。半導體零部件投資策略半導體核心零部件加速發(fā)展，進入投資元年國內(nèi)半導體設備行業(yè)高速成長