雷尼紹XL80激光干涉儀操作手冊(cè)匯總

1、 /53鐳射干涉儀操作手冊(cè)手冊(cè)內(nèi)容TOC o 1-5 h z HYPERLINK l bookmark0 o Current Document RENISHAW公司簡(jiǎn)介1鐳射干涉儀原理2波的速度3干涉量測(cè)原理3鐳射干涉儀4鐳射干涉儀一般量測(cè)項(xiàng)目4二.注意事項(xiàng)5 HYPERLINK l bookmark14 o Current Document 鐳射干涉儀防止誤差及保養(yǎng)5鐳射干涉儀防止誤差5 HYPERLINK l bookmark16 o Current Document 鐳射干涉儀保養(yǎng)方法6安全及注意事項(xiàng)6 HYPERLINK l bookmark18 o Current Document

2、鐳射光原理及特性7鐳射硬件介紹8鐳射架設(shè)流程圖15定位量測(cè)原理及操作16線性定位量測(cè)原理16量測(cè)方式17十.鐳射易發(fā)生之人為架設(shè)誤差20死徑誤差20余弦誤差21阿倍平移誤差21 HYPERLINK l bookmark46 o Current Document 十一.鐳射操作之步驟22軟件安裝之步驟22執(zhí)行量測(cè)軟件22定位量測(cè)硬件架設(shè)之操作23鏡組架設(shè)前之注意事項(xiàng)24鏡組架設(shè)之步驟24十二.定位量測(cè)之程序范例29十三.定位量測(cè)之軟件操作步驟30熱漂移量測(cè)38快速功能鍵44十四.動(dòng)態(tài)軟件量測(cè)之操作45動(dòng)態(tài)量測(cè)硬件之架設(shè)45執(zhí)行量測(cè)之軟件46位移與時(shí)間48速度與時(shí)間49加速度與時(shí)間50十五.角度量

3、設(shè)之操作52注意事項(xiàng)52鏡組架設(shè)的種類(lèi)53鏡組架測(cè)之步驟54角度量測(cè)之軟件操作步驟57十六.RX10旋轉(zhuǎn)軸之量測(cè)62說(shuō)明62 /53硬件配件之介紹62硬件操作之步驟64軟件操作之步驟67十七.直度量測(cè)之操作75直度之分類(lèi)75直度量測(cè)之硬件架設(shè)75鏡組架設(shè)之步驟75直度軟件之操作步驟80十八.Z軸直度鏡組織架設(shè)方法85十九.垂直度量測(cè)之操作89垂直度鏡組架設(shè)之步驟89軟件操作之步驟95二十.平面度量測(cè)之原理與操作101硬設(shè)備101操作之原理102鏡組架設(shè)之步驟102軟件操作之步驟110 /53RENISHAW公司簡(jiǎn)介RENISHAW為一家英國(guó)公司，產(chǎn)品營(yíng)銷(xiāo)全世界，主要產(chǎn)品有三次元量床之測(cè)頭、測(cè)針

4、、BALLBAR循圓測(cè)試儀、鐳射干涉儀等等及產(chǎn)品經(jīng)NPL(英國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn))認(rèn)證為ISO9001之合格廠商RENISHAW公司為機(jī)器設(shè)備制造商提供量測(cè)檢驗(yàn)系統(tǒng)的儀器，提供各種用于機(jī)器精度檢定的量測(cè)設(shè)備進(jìn)而改善機(jī)器的精度RENISHAWXL80高性能鐳射干涉儀是機(jī)床、三次元坐標(biāo)量床及其它定位裝置精度校準(zhǔn)用的高性能儀器，由于最新電子技術(shù)的應(yīng)用，使其鐳射波長(zhǎng)非常穩(wěn)定并保持了低成本高效率的工作流程RENISHAW產(chǎn)品介紹:鐳射干涉儀量測(cè)系統(tǒng)循圓測(cè)試儀器(BALLBAR)量測(cè)系統(tǒng)黏貼式光學(xué)尺系列鐳射干涉儀量測(cè)原理MICHELSONE0干涉原理兩個(gè)頻率振幅波長(zhǎng)相同的鐳射光波因相位變化而發(fā)生不同程度的干涉相長(zhǎng)干

5、涉建設(shè)性干涉）相消干涉破壞性干涉）相消干涉1.波的速度V=fk若f,九const.貝Vconst接收點(diǎn)接收點(diǎn)髓豔鑑豔馨譜至2.干涉量測(cè)原理線性干涉儀八7七、移動(dòng)V|Jz干涉發(fā)生點(diǎn)/發(fā)射點(diǎn)接收點(diǎn)反射鏡夢(mèng)考踣徑W量測(cè)路徑匕鐳射干涉儀：一般鐳射干涉儀均為氦氖鐳射,其鐳射光為紅色波長(zhǎng)0.6329“m長(zhǎng)期穩(wěn)定誤差0.05ppm以下（10個(gè)波長(zhǎng)相差0.5個(gè)波）其優(yōu)點(diǎn)：a.測(cè)量范圍大簡(jiǎn)化以往光學(xué)儀器結(jié)構(gòu)測(cè)量速度快缺點(diǎn)：易受大氣環(huán)境影響因波長(zhǎng)常會(huì)隨溫度、氣壓、濕度而變化（因鐳射光以空氣為傳遞介質(zhì)）鐳射干涉儀一般量測(cè)項(xiàng)目：（一）定位精度、距離量測(cè)、重復(fù)性（二）速度、加速度、動(dòng)態(tài)量測(cè)（三）角度量測(cè)：a.垂直方向角

6、度（pitch）b.水平方向角度（yaw）（四）真直度量測(cè)：a.垂直方向b.水平方向（五）直角度量測(cè)（六）平面度量測(cè)（七）平行度量測(cè)（八）旋轉(zhuǎn)角度量測(cè)注意事項(xiàng)：三腳架置于待測(cè)物適當(dāng)位置,地基穩(wěn)固不可搖晃及避免人員和機(jī)器碰觸的地方三腳架之水平氣泡調(diào)至中央位置固定信號(hào)線之插頭,紅點(diǎn)表示向上,各線接頭缺口部份確實(shí)吻合方可插入各電源線、信號(hào)線連接或拔除時(shí),各儀器需均在OFF狀態(tài)，否則會(huì)對(duì)儀器造成傷害給予穩(wěn)定獨(dú)立電源,確實(shí)不漏電環(huán)境中使用短距離量測(cè)(50mm內(nèi))亦產(chǎn)生余弦誤差，先校直度再作定位對(duì)焦時(shí)避免反射回來(lái)的鐳射光打在鐳射光射出口處鐳射先熱機(jī)穩(wěn)定后，再做鐳射量測(cè)操作中確認(rèn)XC80(環(huán)境補(bǔ)償系統(tǒng))是監(jiān)

7、控中，每7秒各偵測(cè)一項(xiàng)，以42秒為一次循環(huán)鐳射干涉儀設(shè)備存放地點(diǎn)盡量保持干燥1鐳射干涉儀防止誤差量測(cè)周?chē)h(huán)境應(yīng)盡量避免太陽(yáng)光直接照射或突然流動(dòng)的風(fēng)產(chǎn)生擾流現(xiàn)象裝設(shè)干涉鏡及反射鏡在被測(cè)機(jī)臺(tái)上時(shí),必須牢固,否則機(jī)臺(tái)移動(dòng)會(huì)造成不可預(yù)期的量測(cè)誤差環(huán)境偵測(cè)感應(yīng)器與材料溫度感應(yīng)器是否作動(dòng),必須于量測(cè)前確實(shí)檢查,以免造成不必要的誤差要獲得最佳精度并減少誤差,建議遵守下列規(guī)定：a在校驗(yàn)環(huán)境條件中執(zhí)行量測(cè)b激光束需作確實(shí)校直c.需注意量測(cè)時(shí)的周?chē)鷹l件d牢固地裝設(shè)鏡組(3)在量測(cè)執(zhí)行中不可因其它因素而中斷,量測(cè)必須一次完成檢驗(yàn),若發(fā)生量測(cè)中斷情形,必須重新執(zhí)行檢驗(yàn) /53 /532鐳射干涉儀保養(yǎng)方法使用時(shí)應(yīng)防止碰

8、撞及震動(dòng)工作完畢應(yīng)循操作方法反順序逐一拆卸并且擦拭干凈置回儀器盒內(nèi)金屬平臺(tái)在使用完后應(yīng)擦拭干凈(4)干涉鏡及反射鏡片應(yīng)使用光學(xué)鏡片專(zhuān)用擦拭紙做圓形回轉(zhuǎn)擦拭(注意嚴(yán)禁使用酒精或具有揮化性及腐蝕性之清潔液擦拭，請(qǐng)干擦，因鏡面有鍍一層藍(lán)色薄墨，而激光束是靠此薄墨產(chǎn)生折射與反射，如果使用具有揮化性或腐蝕性之清潔液會(huì)將此薄墨破壞,如果鏡面沒(méi)有薄墨折射率既減弱而影響光強(qiáng)衛(wèi)無(wú)法再鍍上此薄墨，請(qǐng)注意小心使用)應(yīng)小心搬運(yùn)尤其對(duì)鏡片類(lèi)應(yīng)有適當(dāng)防護(hù)與防震,暫不用時(shí)以干凈東西覆蓋安全注意事項(xiàng)鐳射光屬二級(jí)鐳射,建議勿長(zhǎng)時(shí)間直視鐳射光鐳射預(yù)熱時(shí)可將鐳射光閘暫時(shí)關(guān)閉,鏡組對(duì)焦時(shí)再予以打開(kāi)對(duì)焦時(shí)盡量避免反射之鐳射光打在鐳射頭

9、的鐳射發(fā)射出口處,以免鐳射造成不良影響架設(shè)鏡組前,先將機(jī)器欲測(cè)軸全行程來(lái)回移動(dòng),觀察機(jī)器移動(dòng)空間并決定鏡組架設(shè)位置,當(dāng)鏡組架設(shè)至機(jī)臺(tái)后,使用手動(dòng)慢速移動(dòng)機(jī)器確定移動(dòng)空間無(wú)其它干涉物后,機(jī)器才可改為自動(dòng)移動(dòng)架設(shè)或操作鐳射干涉儀時(shí),閑雜人等避免靠近,以免拌到電源線或傳輸線確認(rèn)電壓伏特是否正確,并且所使用的電力來(lái)源盡量能夠獨(dú)立,并加穩(wěn)壓器鐳射光原理及特性光的相關(guān)原理光為一種無(wú)質(zhì)量的微粒子（牛頓）光為一種電磁波（馬克士威爾）光具有粒子與波動(dòng)的性質(zhì)光的特性方向性直線性波動(dòng)性波的基本物理量頻率f、周期T、振幅A、波長(zhǎng)2、其中波長(zhǎng)是長(zhǎng)度單位何謂鐳射光對(duì)某種元素施予能量，使其原來(lái)穩(wěn)定的基態(tài)（低能階）變?yōu)椴环€(wěn)定

10、的激態(tài)（高能階）,元素會(huì)由激態(tài)（高能階）釋放出能量后變回原來(lái)的基態(tài)（低能階）再釋放能量的過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生一種光，我們謂之鐳射光高能階低能階低能階鐳射光之特性高單頻性：光的頻率即是色,高純頻率即是高單色，一般可見(jiàn)光包含紅、澄、黃、綠、藍(lán)、靛、紫、頻率純度較低高方向性：鐳射光配合聚光鏡的發(fā)散角度非常小，而一般光線其擴(kuò)散角度都非常大咼亮度性：其光線亮度比一般光線亮度大數(shù)倍（視鐳射而定）8硬件介紹XL80鐳射頭XC80環(huán)境補(bǔ)償系統(tǒng)11/53 /53空氣溫度感應(yīng)器材料溫度感應(yīng)器大氧壓力測(cè)頭材料猛疫感應(yīng)器插槽狀謝旨示燈校正日期重新枚正日期相對(duì)撞度測(cè)頭XC80環(huán)境補(bǔ)償系統(tǒng)插槽示意圖不霸鋼劉拄夾持器組星性辰射鏡標(biāo)

11、祀媒性分光鏡線性定位量測(cè)鏡組角度辰射鏡角度牙光鏡槨靶角度量測(cè)鏡組Z軸直度量測(cè)鏡組及附件垂直度量測(cè)鏡基板平面度鏡平坦度量測(cè)鏡組旋轉(zhuǎn)軸量測(cè)系統(tǒng)酉定式轉(zhuǎn)折鏡360度轉(zhuǎn)折鏡（斜普式車(chē)床用）LS35焦輔肋鏡手控紀(jì)磔器TB10K叢器EK1E面登ms京位置後腳固定位置W角度微調(diào)旋轉(zhuǎn)鈕快速乎桜手柄鐳射頭微調(diào)平臺(tái)平合配接器中石柱吏憚長(zhǎng)藝定支屛的角度錨違重負(fù)荷三腳架15 /53鐳射架設(shè)聯(lián)機(jī)流程圖1鐳射架設(shè)及量測(cè)流程表16 /53定位量測(cè)原理及操作1線性定位量測(cè)原理：（一）架設(shè)方式：干涉鏡不動(dòng)，移動(dòng)反射鏡反射鏡不動(dòng)，移動(dòng)干涉鏡接收點(diǎn)S!性干涉儀反肘鑽（二）何謂線性定位精度：CNC機(jī)器執(zhí)行時(shí),程序之坐標(biāo)點(diǎn)未必是機(jī)器的

12、坐標(biāo)點(diǎn)，程序坐標(biāo)點(diǎn)為理想值,機(jī)器坐標(biāo)點(diǎn)為實(shí)際值，兩者之間差為機(jī)器的定位精度（二）線性定位誤差原因：誤差原因可能是導(dǎo)程誤差、控制器誤差、機(jī)器幾何誤差及震動(dòng)等原因（四）線性定位量測(cè)的目的：量測(cè)出機(jī)臺(tái)可能因零件和組裝所造成的誤差,可利用機(jī)器參數(shù)補(bǔ)償或重新組裝改進(jìn)機(jī)器加工機(jī)精度,確保機(jī)器加工的質(zhì)量五）鐳射干涉儀定位量測(cè)發(fā)生誤差的原因：a空氣、溫度、濕度、氣壓等影響b待測(cè)物之熱膨脹系數(shù)c電子誤差d死徑誤差（圖一）e阿倍（ABBE）誤差（圖二）f余弦（COS）誤差（圖三）g震動(dòng)誤差h鏡組熱膨脹飄移鐳射干涉儀量測(cè)數(shù)據(jù)是以數(shù)值方式顯示，并沒(méi)有一般量測(cè)時(shí)有人為讀值判定所產(chǎn)生的誤差2量測(cè)方式a線性(linear)

13、方式單向2次弟一啊口捺最雀一督目欄起鑫b線性(linear)方式雙向2次第一幗目標(biāo)*1 /53C朝圣(pilgrim)方式單向2次最後一黠目標(biāo)第一憎目標(biāo)d朝圣(pilgrim)方式雙向2次最餐一幗目標(biāo)4越程量18.鐘擺(pendulum)方式單向2次第一憎目標(biāo)量後一幗目標(biāo)f.鐘擺(pendulum)方式單向2次笫一彎目標(biāo)最謹(jǐn)一幗目標(biāo)越行程鐳射架設(shè)易發(fā)生之誤差1死徑誤差（如圖一所示）死徑誤差是一種與使用XC80自動(dòng)補(bǔ)償?shù)木€性量測(cè)過(guò)程中的環(huán)境因子變化有關(guān)的誤差。在正常情況下，死徑誤差很小并且僅在恢復(fù)為基準(zhǔn)值之后和量測(cè)期間發(fā)生環(huán)境變化時(shí)出現(xiàn)。鐳射光波經(jīng)過(guò)干涉鏡后開(kāi)始計(jì)算位移量，故干-反鏡組間隙越大，

14、光波暴露大氣環(huán)境越多，受外在因素影響越大,如果干涉儀與反射鏡之間沒(méi)有移動(dòng)，并且激光光束周?chē)沫h(huán)境條件發(fā)生變化,則波長(zhǎng)（在空氣中）將在整個(gè)路徑（LI+L2）上發(fā)生變化，但是鐳射量測(cè)系統(tǒng)僅在L2距離上得到補(bǔ)償。因此將引進(jìn)死路量測(cè)誤差,因?yàn)楣馐窂絃1沒(méi)有得到補(bǔ)償。XL80LASER圖一死徑誤差&晶紐）死略量測(cè)路輕但是，如果在恢復(fù)為基準(zhǔn)值時(shí)固定光學(xué)鏡組和移動(dòng)光學(xué)鏡組彼此相接，則死路誤差可以忽略不計(jì),如下圖所示。XL80LASER2余弦誤差（如圖二所示）架設(shè)鐳射頭沒(méi)有真正與干-反射鏡成一直線所造成的誤差,即激光光束路徑與運(yùn)動(dòng)軸線之間有校直的偏差，而導(dǎo)致量測(cè)距離與實(shí)際移動(dòng)距離之間有差異。XL80LASE

15、R畫(huà)射光束圖二余弦誤差3阿倍平移誤差（如圖三所示）激光束軸線不在行程軸在線,意即當(dāng)光束與預(yù)定校準(zhǔn)軸線平行但有一個(gè)偏移距離，進(jìn)行測(cè)量時(shí)會(huì)因俯仰或偏角引致Abbe偏置誤差。平面罔XL80LASERABBE誤差雷射光束輛暮延舅鶴胃（占弧秒）行程軸券圖三阿倍平移誤差鐳射操作之步驟（一）軟件安裝步驟：（1）將原廠Laser光盤(pán)軟件放入磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器中，即會(huì)自動(dòng)執(zhí)行安裝AUTORUN完成安裝,若計(jì)算機(jī)無(wú)法執(zhí)行自動(dòng)安裝，請(qǐng)點(diǎn)選軟件中Setup.exe執(zhí)行安裝，軟件安裝完成后,計(jì)算機(jī)會(huì)要求重新開(kāi)機(jī),請(qǐng)點(diǎn)選稍后重新開(kāi)機(jī)（2）接著安裝Laser在線輔助說(shuō)明，軟件安裝完成后,計(jì)算機(jī)會(huì)要求重新開(kāi)機(jī)，請(qǐng)點(diǎn)選重新開(kāi)機(jī)（3）軟

16、件安裝完成后請(qǐng)將XL80連結(jié)到計(jì)算機(jī)上，此時(shí)會(huì)出現(xiàn)找到新硬件，請(qǐng)選擇自動(dòng)安裝軟件（先確認(rèn)XL80之鐳射軟件光盤(pán)有在計(jì)算機(jī)內(nèi)），開(kāi)始安裝驅(qū)動(dòng)程序（4）XC80只要有安裝鐳射軟件即可自動(dòng)搜尋到驅(qū)動(dòng)程序注:適用WINXP,WINVista操作系統(tǒng).（二）執(zhí)行量測(cè)軟件：（1）由開(kāi)始工具列中選擇RenishawLaserXL進(jìn)入（如圖一所示）（2）點(diǎn)選欲執(zhí)行之軟件:有線性測(cè)長(zhǎng)（定位量測(cè)）、角度測(cè)量、長(zhǎng)距離直線度測(cè)量、短距離直線度測(cè)量、回轉(zhuǎn)軸分度精度測(cè)量、平面度測(cè)量、動(dòng)態(tài)測(cè)量、雙軸線測(cè)量、數(shù)據(jù)分析（如圖二所示）以上所有軟件均附上:但測(cè)量時(shí)須搭配鏡組.（3）除上述方法之外,亦可將快捷方式至于Windows桌

17、面上，直接點(diǎn)選即可聯(lián)機(jī)模式RenisJwivMkraaofrVJaA粽性測(cè)長(zhǎng)琢性測(cè)岳WiidofwsMediaP1aAsmsChkMadASU書(shū)Utility卜USE20PCCsanera卜附屬慮用涯式卜辛導(dǎo)垢FAdobeReader?0M湖EiloreiVfffljiovzs血跚呻T逮品悔助REmSEJAffBftlbarS卜pc-dmesm卜Nstd卜Startupb加碰iQubestFaititijonM謐口卜WkromJtDevalnpeiNetixiaYk卜（圖二）圖一）三)定位量測(cè)系統(tǒng)架設(shè)操作:步驟一：將所有硬件依圖所示，完成接線及架設(shè)三怖架線性干渉儀線性反肘證穆動(dòng)方向光學(xué)鏡組安裝

18、配件曲如補(bǔ)恒單元XL-80雷射氣溫量測(cè)頭鏡組架設(shè)前之注意事項(xiàng)先空跑預(yù)量測(cè)軸的行程，確實(shí)了解機(jī)床起點(diǎn)與終點(diǎn)，再架設(shè)鏡組減低死徑誤差，干涉鏡與反射鏡架設(shè)越近越好干-反鏡組需架于機(jī)臺(tái)的床臺(tái)與主軸上,因其是相對(duì)移動(dòng)物體對(duì)焦時(shí)避免反射回來(lái)的鐳射光打在鐳射光射出口處對(duì)焦時(shí)近端調(diào)平移、遠(yuǎn)程調(diào)角度步驟二：鏡組架設(shè)之步驟干涉鏡需置于鐳射頭與反射鏡之間，而當(dāng)中有一塊反射鏡是鎖在干涉鏡上(如圖一所示)線性反射離基準(zhǔn)光束XL80雷射頭量測(cè)光束行程軸線*線性倉(cāng)儀線性分光磧線性反射擴(kuò)圖一注意干涉鏡上所畫(huà)的箭頭,必須兩個(gè)箭頭分別指向兩個(gè)反射鏡上(如圖二所示)側(cè)視闔行程軸線雷射光束的另外入口線性干涉儀線性反射鏡圖二水平軸向量

19、測(cè)鏡組架設(shè)側(cè)視團(tuán)基準(zhǔn)反射鏡XL80雷射頭線性干涉儀量測(cè)反射鑽垂直軸向量測(cè)鏡組架設(shè)側(cè)視團(tuán)量測(cè)反射鏡軸基準(zhǔn)反射績(jī)綿性干涉蟻斜背式車(chē)床量測(cè)鏡組架設(shè)旋轉(zhuǎn)鏡圖1旋轉(zhuǎn)鏡旋轉(zhuǎn)鏡可以與線性、角度或真直度光學(xué)鏡組結(jié)合使用，量測(cè)機(jī)器的對(duì)角線或傾斜軸線。它可以安裝在光學(xué)鏡組上，使設(shè)定快速、簡(jiǎn)便。旋轉(zhuǎn)鏡用于使激光光束在垂直面上偏轉(zhuǎn)0至135度。它的主要應(yīng)用是量測(cè)或校準(zhǔn)斜床式車(chē)床或機(jī)器對(duì)角線。以下兩個(gè)圖顯示在斜床式車(chē)床上使用旋轉(zhuǎn)鏡進(jìn)行線性量測(cè)的方法。圖2顯示的配置用于軸線與水平面的夾角大于45度的量測(cè)。旋轉(zhuǎn)鏡與斜軸之間的準(zhǔn)直誤差應(yīng)調(diào)整在2度以?xún)?nèi)?？梢允褂昧拷瞧髁繙y(cè)行程的斜角，并設(shè)定旋轉(zhuǎn)鏡與該斜角平行。側(cè)很圖ML10|量

20、測(cè)反肘頊基準(zhǔn)反射鏡行程軸粽線性干涉傣圖2斜軸與水平面的夾角大于45度時(shí)使用的旋轉(zhuǎn)鏡。圖3所示的配置用于X軸與水平面的夾角小于45度的車(chē)床。側(cè)視圖:F-J-!rlML10第射旋輯鏡葆性干涉俸圖3-斜軸與水平面的夾角小于45度時(shí)使用的旋轉(zhuǎn)鏡步驟三：鏡組調(diào)整將鐳射光射出口轉(zhuǎn)至對(duì)焦用小孔射出口位置(如下圖)io皺小光束孔-A標(biāo)靶當(dāng)反射鏡及干涉鏡皆準(zhǔn)備好后，將要量測(cè)的軸回歸原點(diǎn)(起點(diǎn))或移動(dòng)到與原點(diǎn)相反的極限位置(終點(diǎn))將干涉鏡及反射鏡架到量測(cè)軸及另一輔助軸上盡量將干涉鏡及反射鏡之間的距離縮小，越靠近越好(避免死徑誤差，如下圖)基準(zhǔn)反射錢(qián)線性干涉儀俯視13各鏡面應(yīng)平行V兩鏡組靠近時(shí)可直接移動(dòng)反射鏡組使光

21、點(diǎn)重迭，再利用腳架上升,平移機(jī)構(gòu)將重迭光點(diǎn)移到接收孔,此時(shí)檢查計(jì)算機(jī)里接收光線的強(qiáng)度將反射鏡移動(dòng)至量測(cè)距離的極限，將偏離標(biāo)靶白點(diǎn)的激光束，用上下左右角度調(diào)整調(diào)到白點(diǎn)上(如下圖)線性反射鏡較小雷射光束將反射鏡標(biāo)靶取下檢視反射回來(lái)之光點(diǎn)的重迭度，若光點(diǎn)不重迭,在近端不重迭時(shí)是兩鏡組上下或左右沒(méi)有在相同之位置高，必須調(diào)整分光鏡或反射鏡使之重迭，在遠(yuǎn)程不重迭時(shí)是因有角度偏差，必須調(diào)整鐳射頭的偏擺及傾斜角度使光點(diǎn)重迭(如下圖)將重迭的光點(diǎn)利用腳架平移或上下調(diào)整,使光點(diǎn)落在鐳射頭對(duì)焦孔上將鐳射頭對(duì)焦孔轉(zhuǎn)至接收孔位置上(如下圖)檢視光線的強(qiáng)度將反射鏡移到近端的位置,檢視光線強(qiáng)度和遠(yuǎn)程的光線強(qiáng)度一樣即可需注意

22、光線強(qiáng)度超過(guò)50%即可量測(cè)，但近距離與遠(yuǎn)距離時(shí)光線強(qiáng)度需相同才可做量測(cè)控制器程序范例X軸方向（例如X軸行程總共500mm,每20mm取一點(diǎn)，共25次）主程序0001O0001；G91G28X0.；M98P0250002；G01X-3.F500.；X3.；M98P0250003；M30；子程序0002（鐳射去的行程）O0002；G91G01X-20.F5000.；G04X3.；M99；子程序0003（鐳射回的行程）O0003；G91G01X20.F5000.；G04X3.；M99；Y軸方向（例如Y軸行程總共500mm,每20mm取一點(diǎn)，共25次）主程序0001O0001；G91G28Y0.；M9

23、8P0250002；G01Y-3.F500.；Y3.；M98P0250003；M30；子程序0002（鐳射去的行程）O0002；G91G01Y-20.F5000.；G04X3.；M99；子程序0003（鐳射回的行程）O0003；G91G01Y20.F5000.；G04X3.；M99；Z軸方向（例如Z軸行程總共400mm,每20mm取一點(diǎn)，共20次）主程序0001O0001；G91G28Z0.；M98P0200002；G01Z-3.F500.；Z3.；M98P0200003；M30；子程序0002（鐳射去的行程）O0002；G91G01Z-20.F5000.；G04X3.；M99；子程序0003

24、（鐳射回的行程）O0003；G91G01Z20.F5000.；G04X3.；M99；（四）進(jìn)入定位量測(cè)軟件由開(kāi)始工具列中選擇RenishawLaserXL進(jìn)入（如圖一所示）（2）點(diǎn)選欲執(zhí)行之軟件:線性測(cè)長(zhǎng)（定位量測(cè)）（如圖二所示）*RenisJwiv很聯(lián)機(jī)模式MirmsoftWordAdobeRpBdh7.i粽性測(cè)長(zhǎng)綿性測(cè)長(zhǎng)Winiorwa隨誠(chéng)isP1aAsmsChkMftd卜ASUUtility卜Elufitoofl-iUSE20PCCw&nsi卜附ISJS用涯式卜爭(zhēng)卜卜AdobeReader?flM湖Eiloreilffmi啊MEseui逮歸協(xié)型REinSHAffBftlbftf5卜pc-

25、dmissm卜Nstd卜SbartivpFcmiQuestFaitifijonM泌MWicraMittDevalnptiNetijuoyk卜圖一）（圖二）（3）點(diǎn)選線性測(cè)長(zhǎng)，進(jìn)入定位量測(cè)軟件窗口（如圖三所示）圖三30工具列離開(kāi)陳說(shuō)明團(tuán)分析另存新輻冒開(kāi)始取平均開(kāi)關(guān)轉(zhuǎn)換廠顯示解析度啣更換誤差單位咗更換顯示單位設(shè)定預(yù)設(shè)値4設(shè)定基準(zhǔn)申轉(zhuǎn)換正負(fù)方向開(kāi)啓舊檔凈自動(dòng)設(shè)定模式m%點(diǎn)選檔案,開(kāi)新文件選擇欲設(shè)定模式：自動(dòng)設(shè)定模式手動(dòng)設(shè)定模式隨機(jī)設(shè)定模式CD選擇:自動(dòng)設(shè)定模式或按工具列中方塊rRenishawLaserXLCapture檔窠目標(biāo)點(diǎn)抓取資斜工貝配置系統(tǒng)視窗説明新檔卜|自動(dòng)設(shè)走模式1關(guān)普舊檔另存新檔屬性

26、隨攥設(shè)疋模式手動(dòng)設(shè)定棋式L.D;Doc(ieiitesaidSettmg5AdnmiistratDiMyDacwsateiRenishayLaseil0vii3441.itl(5)選擇確定后，自動(dòng)進(jìn)入目標(biāo)設(shè)定，輸入目標(biāo)設(shè)定：如下圖DataCaptureSetap123按ISO標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)生目標(biāo)第一定位點(diǎn)71最終定位點(diǎn)間距値目標(biāo)値刀製點(diǎn)最後位勾也參考黒占位置中甫彳賞起黒占黒占中甫/龕聞艮議遇了中値白勺粽含窗羨對(duì)憶1微來(lái)誤筆値O.0000O.OOOO1500.0000皇來(lái)1500000耋卅2微來(lái)I背隙之補(bǔ)ft數(shù)値誤差補(bǔ)僭圄表之識(shí)定12345678yol03328454543車(chē)曲糸泉4立庫(kù)(皇來(lái)O.OOO

27、O1500000BOO.0000450.0000600.00007500000900.OOOO1050.00001200.0000135000001500.0000熱漂移下圖為量測(cè)熱漂移之最典型的圖形(鋸齒狀)，以時(shí)間取點(diǎn)，每趟來(lái)回為5分鐘,所以前5分鐘其誤差值比較大l)r:室外至室AtRTL爲(wèi)目程対第一趟調(diào)差値鎧C淳移猱移蘭3丄微米繪出數(shù)據(jù)-湃住卅1五小盪租查齊至壘內(nèi)qEg-1414Jrn=?T-YT1ANj)IXI)仏加J)5功向試名可軸測(cè)樹(shù)瑩11HE上圖量測(cè)是以設(shè)定點(diǎn)數(shù)用時(shí)間抓取(共500點(diǎn)每2秒抓一點(diǎn)),其方法如下:選擇目標(biāo)點(diǎn)f手動(dòng)設(shè)定模式f設(shè)定定位目標(biāo)數(shù)f編輯目標(biāo)值f設(shè)定抓取數(shù)據(jù)啟動(dòng)

28、一自動(dòng)數(shù)據(jù)抓取設(shè)定一開(kāi)始量測(cè)目標(biāo)點(diǎn)抓取資斜自報(bào)設(shè)定模式手報(bào)設(shè)定模式配置系統(tǒng)賢料檔案目謀數(shù)據(jù)打印按檔案選擇打印機(jī)設(shè)定打印機(jī)設(shè)定中選擇所安裝的打印機(jī)按打印印出所選擇的數(shù)據(jù)或按工具列中方塊昌檔案褊輯凰形檢視分析工具配置系統(tǒng)視窗諏明聞啓匚血0列印Ctrl-Shift-F列表機(jī)設(shè)定Ctrl-T檔案屬性匚trl-EiLtei退出Cirl-X其它功能設(shè)定說(shuō)明(1)配置系統(tǒng)說(shuō)明資料檔案1同設(shè)定資料儲(chǔ)存位置環(huán)境設(shè)定量測(cè)軍位角度俸數(shù)工具列裝萱選揮介面位址呼叫配置檔儲(chǔ)存配苣福語(yǔ)菜選揮環(huán)墳設(shè)定氣壓，溫度及膨脹係數(shù)之單位設(shè)定量測(cè)車(chē)位公英制切換及小數(shù)點(diǎn)後保留位數(shù)設(shè)定膨脹系數(shù)伽皿口11.70膨脹系數(shù)單位大氣壓?jiǎn)挝豢諝鉁囟葐?/p>

29、位材料溫度單位ppm/oCmbar二攝氏T攝氏T環(huán)境談定確定I角度係數(shù)I角度量測(cè)鏡組設(shè)定用工具列快連鈕設(shè)定介面位址選擇XL80&XC80設(shè)定（連線完成後軟體會(huì)自動(dòng)搜尋序甕）裝置選擇選擇所連接的硬體設(shè)備ConnectijonA71is1垃詁|H37747習(xí)*|5L353OjJ確定I取消I呼叫配置檔呼叫軟體所有的設(shè)定儲(chǔ)存配置檔儲(chǔ)存軟體所肓的設(shè)定語(yǔ)系切換中英文切換(2)窗口功能切換設(shè)定說(shuō)明fJrch:nr.SerialNoJjmkE/AIcicatiunH二lxiFsnrrpl-jl)v-i故逢j1制耳n997.60哥匕TJ%RT7里nb:rT布：敦2MateriaEmandonCornfensat

30、kin1./Uup-/uCJ警告信號(hào)及消除量測(cè)單f立測(cè)量複式A：XL80NOTRESPONDING鐳射無(wú)反應(yīng),表示電源無(wú)送入檢查鐳射ON/OFF及不斷電器之ON/OFF及最初之外接電源插座ON/OFF是否在開(kāi)的位置B：SIGNALLOW鐳射光線訊號(hào)太低表示對(duì)焦動(dòng)作沒(méi)做好1重新做對(duì)焦動(dòng)作2請(qǐng)無(wú)相關(guān)人員離開(kāi)C：HEATERFULLON鐳射加熱器正在運(yùn)作表示目前無(wú)法做量測(cè),等待十分鐘再看其是否消失恢復(fù)正常D：BEAMOBSTRUCTED鐳射光線被阻隔表示曾被遮到或主軸頭滴油及工作臺(tái)附近之無(wú)塵紙,報(bào)紙等飄起遮住光線1請(qǐng)無(wú)關(guān)人員離開(kāi)2將主軸附近漏油擦干凈3清除工作臺(tái)附近之報(bào)紙及無(wú)塵紙4按歸零鍵消除Ala

31、rmE：XL80NOTON但(I)為綠燈鐳射機(jī)不正常表示計(jì)算機(jī)連接信號(hào)有問(wèn)題1將鐳射頭隔10秒后再啟動(dòng)2離開(kāi)本系統(tǒng)再重新啟動(dòng)3檢查與鐳射頭相關(guān)之信號(hào)線4若仍無(wú)法消除,則請(qǐng)與RENISHAW公司技術(shù)人員聯(lián)絡(luò)F：XC80FAUL環(huán)境補(bǔ)償裝置失效檢查USB連結(jié)是否正常G：HIGHSPEEDERROR高速度誤差表示鐳射在擷取數(shù)據(jù)時(shí),鏡頭移動(dòng)太快或光線瞬間被擋到MOVEOVERRUN過(guò)行程移動(dòng)鏡頭移動(dòng)距離須超過(guò)OVERRUN設(shè)定，檢查程序是否有消除背隙H：PREHEAT鐳射正在預(yù)熱中表示剛開(kāi)機(jī)之狀態(tài)，大約6分鐘左右可恢復(fù)正常，與C之不同為量測(cè)中可能出現(xiàn)但仍可執(zhí)行量測(cè)動(dòng)作（不過(guò)不見(jiàn)得準(zhǔn)確），歸零消除再等待

32、10分鐘，若仍無(wú)法消除,將鐳射OFF后再ONI：LASERUNSTABLE鐳射光線未達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)此時(shí)光線忽有忽無(wú)，待6分鐘左右鐳射之LED指示燈由紅轉(zhuǎn)黃并變綠燈時(shí)，即自動(dòng)消除1經(jīng)6分鐘左右若無(wú)消除，以歸零強(qiáng)制消除，若長(zhǎng)期處于黃燈，請(qǐng)檢查電源線是否正常,再啟動(dòng)2檢查鐳射反射之光點(diǎn)是否打在鐳射光出口處快速功能鍵鍵盤(pán)按Ctrl+H會(huì)出現(xiàn)1干涉儀控制鍵，如圖一所示鍵盤(pán)按Shift-Ctr不要放接著按U+H會(huì)出現(xiàn)2用戶(hù)附加控制鍵，如圖二所示1干涉儀控制鏈Ctrll:短時(shí)間平均值長(zhǎng)畤間平均值CtrlA:均狀態(tài)OnOffCMC:消除ML1醐誤CMD：歸零CME:更換誤差軍位分析敎據(jù)CtrlL：M新環(huán)境參數(shù)CM

33、F:設(shè)定預(yù)設(shè)值CMR：解析度（小數(shù)點(diǎn)位數(shù)）CtrlJS：M-DOCtriU:更換顋示單位%岡;錯(cuò)誤前最後一個(gè)有效值CMW:再啟動(dòng)CdiBallmodules）Ctrl-:+-號(hào)更橫CtrlX：回到RCS王目錄難加控制鍵hif-u-b-更新號(hào)信號(hào)強(qiáng)度-更新?tīng)顟B(tài)顯示2用戶(hù)Ctrl-SCd-SCHEhifdf重整時(shí)強(qiáng)追預(yù)熱Ctrl-Shif-u-i-示軟怵牘本資料Cirl-ShiKu-r-重整raODMLlOCtl-Shif-11-v-頤示版本Ctrl-Shifu-K-showdtitalin&teiCirl-Shif-u-y-取消詡（圖二）（圖一）動(dòng)態(tài)軟件量測(cè)操作一）動(dòng)態(tài)量測(cè)系統(tǒng)硬件架設(shè)：將所有硬

34、件依圖所示，完成接線及架設(shè)鏡組架設(shè)方式請(qǐng)參考定位量測(cè)操作）三榔架移動(dòng)方向運(yùn)行校準(zhǔn)軟件的竜腦光學(xué)鏡組安裝配件猶如補(bǔ)倡單元7L80雷射線性干渉儀編性反肘證材料溫度量測(cè)頭氟溫量測(cè)頭注：若機(jī)臺(tái)無(wú)移動(dòng)時(shí)，則可量測(cè)機(jī)臺(tái)震動(dòng)當(dāng)機(jī)臺(tái)移動(dòng)時(shí)，則進(jìn)行機(jī)臺(tái)動(dòng)態(tài)量測(cè)距離/速度/加速度）一)執(zhí)行量測(cè)軟件由開(kāi)始工具列中選擇RenishawLaserXL80進(jìn)入(圖一)點(diǎn)選欲執(zhí)行之軟件：動(dòng)態(tài)軟件竜孑郵ftUiitldofcExpressMicrosoftWendAdobeReader7.L線性測(cè)長(zhǎng)線性測(cè)長(zhǎng)閃訕。能MediaFla)7|RenishawLaeerlLHPSduthiLCentexAhmChiMail卜朋I用U

35、taiyhBlTuetaoth卜USE2.0JCCflnue：n卜附陽(yáng)應(yīng)用程式卜啓勤卜遊楽塢卜AdobeReader711MSHExtlornWiniloxvsMesserwar違黠協(xié)助RENISHAWBalbai5卜FC-DMtSS7U卜Nero卜StenujfFov/eiQuBStPartitonMaEic7.0MiiosoflDeveloperNeWort卜圖一)(圖二)(3)進(jìn)入軟件點(diǎn)選檔案,開(kāi)新檔選擇設(shè)定或按工具列上方塊口(4)進(jìn)入抓取數(shù)據(jù)啟動(dòng)SO.CFkHs二10Hz.25Hz.50Hi100Hz250Hz500HzChkH2.5kHs50kH忑10.0kHz25.0kHz50.0

36、kHz.取點(diǎn)速率可由10Hz50.QKHz所選擇的迂値越高則所觸發(fā)之點(diǎn)數(shù)就越多(5)選擇取點(diǎn)速率與輸入預(yù)觸發(fā)時(shí)間及觸發(fā)后時(shí)間(此時(shí)計(jì)算機(jī)畫(huà)面會(huì)暫時(shí)停止作動(dòng)，待觸發(fā)時(shí)間完成后即會(huì)恢復(fù))(9)設(shè)定儲(chǔ)存路徑后，輸入文件名稱(chēng)：*.rtp按數(shù)據(jù)點(diǎn)選分析進(jìn)入數(shù)據(jù)分析或按工具列方塊選擇Renishaw動(dòng)態(tài)(*.匸td)巴rtC.rtf)Renhhu;線性代訓(xùn)Reniihaw直禎化対RenhMH；角廈嚴(yán)巾47Rcnishav罕(12)選擇分析形式1.選擇位移與時(shí)間之變化：分析工具配置系統(tǒng)視窗動(dòng)雷分祈7竝穆-時(shí)間連度-時(shí)間加邀度-時(shí)問(wèn)誤差-位移快速傅立華分析(FFT)FFTAnalysis(Flatwindow

37、)FFTAnalysis(Paizen)FFTAmlyas(WeLch)FFTAnalysis(Harniin尋找新分?jǐn)胤椒ǔ?一|三|3:一1601401ffl1ffl=;-r八ffl40Hi-n-U_ex_move.r1d匚冋岡113Ma匚hIncMJCc.esslre斗JL1玉Hhl3Ji.aJ.sje=2Strii丄Nc1_口匚=3tLC：Il-hi1J-X3JL1B-attLXOE3B5QONt亡THIN匸唱匚IN5FiJename-ex_,po-yerLdMinaJ.ue=-O00035Z-l3Croill.apui-F；ratf：-eattLeo亡O13-30量測(cè)機(jī)器動(dòng)態(tài)定位位移之變化，上圖范例在0.秒時(shí)鐳