氨氣水分分析儀操作標準作業(yè)指導書

1、氨氣水分分析儀操作標準作業(yè)指導書1 目的制定氨氣水分分析儀操作指導書，使操作員有一致且正確的操作步驟，減少人為因素異常發(fā)生，以利于機臺正常運作。2 范圍：適用水分分析儀設備操作。3 參考文件設備操作說明書4 定義無。5 職責 5.1 操作員a) 嚴格按規(guī)定步驟及要求進行操作；b) 操作時如出現(xiàn)異常必須及時反饋工藝工程師和生產(chǎn)主管。c) 負責機臺表面日常維護； 5.2 生產(chǎn)主管a) 監(jiān)控員工是否按規(guī)定要求操作，糾正員工的錯誤操作；b) 接到異常反饋后，根據(jù)規(guī)定返工程序指示員工進行返工操作；c) 配合并協(xié)助工藝工程師處理異常； 5.3 工藝工程師a) 負責標準作業(yè)指導書的撰寫及修改相關的作業(yè)內(nèi)容；

2、b) 及時跟進處理異常；c) 監(jiān)控員工操作步驟，必要時通知生產(chǎn)主管及生產(chǎn)經(jīng)理；d) 改進并優(yōu)化工序； 5.4 設備工程師 負責設備異常處理及機臺維護；6 資歷與訓練操作員經(jīng)過DF740設備的操作、應急處理及注意事項培訓，且經(jīng)過操作SOP培訓并考核合格。方可進行此操作。7 作業(yè)內(nèi)容7.1 設備運行前檢查a) 氣體管路連接是否正常；b) 確認管路中氣體為PN2；c) 確認管路氣體壓力在915psi之間；7.2 系統(tǒng)啟動7.2.1 設備處于氣體隔離狀態(tài)，電源開關“off”;7.2.2 打開設備門，將電源開關打至“on”狀態(tài)（見圖1），設備啟動進行程序運行自檢；7.2.3 啟動真空泵電源； 7.2.4

3、 系統(tǒng)起動完成進入操作界面，此時氣源已開始經(jīng)過分析儀，真空泵氣體入口針閥打開，根據(jù)分析氣體種類來調(diào)整真空泵入口氣體壓力值（圖2）。注間：如果設備壓力并不在這個目標范圍內(nèi)，將發(fā)出報警信號直到調(diào)節(jié)至目標范圍。Background Gas Pressure Pressure Control Vacuum Pump N2 200 +/-20 Torr Ext. Regulator/Needle Valve ON NH3 75.0 +/-5 Torr Ext. Regulator/Needle Valve ON 圖 1 圖27.3 系統(tǒng)關機7.3.1 一般性短時間（2小時內(nèi)）關機 進入設備主菜單界面，將分析氣源切換至N2氣源，運行30分鐘后打開設備前門將電源開關關閉及關閉真空泵即可。7.3.2 長時間（2小時以上）關機從主菜單進入系統(tǒng)，將分析氣源切換至N2氣源，運行30分鐘后在菜單中選擇隔離分析儀，系統(tǒng)將自動啟動分析儀內(nèi)部閥門關閉程序，在