ESD控制方案認(rèn)證檢驗(yàn)檢測(cè)技術(shù)

1、ESD控制方案認(rèn)證檢驗(yàn)檢測(cè)技術(shù)ESD控制方案認(rèn)證檢驗(yàn)檢測(cè)技術(shù)ESD控制方案認(rèn)證檢驗(yàn)檢測(cè)技術(shù)主講：劉長(zhǎng)雄QIHANG上海企航科技咨詢有限公司2ESD控制方案認(rèn)證檢驗(yàn)檢測(cè)技術(shù)主講：劉長(zhǎng)雄QIHANG上海一、認(rèn)證檢驗(yàn)計(jì)劃要求3一、認(rèn)證檢驗(yàn)計(jì)劃要求5文件化的質(zhì)量管理體系架構(gòu)質(zhì)量手冊(cè)程序文件作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、檢查標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量記錄、作業(yè)記錄質(zhì)量方針、目標(biāo)文件化的管理體系寫(xiě)做記說(shuō)一致ESD控制方案方案計(jì)劃 、驗(yàn)證計(jì)劃、其它作業(yè)指導(dǎo)書(shū)驗(yàn)證記錄、作業(yè)記錄ESD S20.20標(biāo)準(zhǔn)要求ISO9001標(biāo)準(zhǔn)要求4文件化的質(zhì)量管理體系架構(gòu)質(zhì)量手冊(cè)程序文件作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、檢查標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)1、靜電放電控制方案計(jì)劃目的：本標(biāo)準(zhǔn)的目的是提供行政和技術(shù)上

2、的要求，以及建立，實(shí)施和維護(hù)靜電放電的控制方案(文中稱“方案”)。 各單位應(yīng)制定一個(gè)靜電放電控制方案計(jì)劃，將方案中的每一個(gè)要求都一一列出。這些要求是： 培訓(xùn) 認(rèn)證檢驗(yàn) 接地及等電位相連系統(tǒng) 人員接地 靜電放電保護(hù)區(qū)之要求 包裝系統(tǒng) 標(biāo)記靜電放電控制方案計(jì)劃是實(shí)施和檢驗(yàn)靜電放電控制方案的首要文件。其目標(biāo)是全面實(shí)施和整合一個(gè)與內(nèi)部質(zhì)量系統(tǒng)要求相符合的方案。該靜電放電控制方案計(jì)劃應(yīng)適用于單位內(nèi)部工作的各個(gè)方面。51、靜電放電控制方案計(jì)劃目的：本標(biāo)準(zhǔn)的目的是提供行政和技術(shù)上2、認(rèn)證檢驗(yàn)計(jì)劃認(rèn)證檢驗(yàn)計(jì)劃的建立，是要確保單位能夠滿足靜電放電方案計(jì)劃的要求。認(rèn)證檢驗(yàn)計(jì)劃應(yīng)該明確要進(jìn)行檢驗(yàn)的技術(shù)要求，相關(guān)的測(cè)

3、試范圍及認(rèn)證頻率。根據(jù)此計(jì)劃進(jìn)行認(rèn)證檢驗(yàn)。認(rèn)證檢驗(yàn)計(jì)劃還應(yīng)規(guī)定，檢測(cè)和測(cè)試方法及設(shè)備。如果單位采用的方法與本文件所列出的標(biāo)準(zhǔn)有差異，必須提供一個(gè)修改聲明作為靜電放電控制方案計(jì)劃的一部分存檔。認(rèn)證檢驗(yàn)紀(jì)錄應(yīng)該被確認(rèn)并保存，以便證明符合了靜電放電控制方案中的技術(shù)要求。所選擇的測(cè)試設(shè)備應(yīng)能夠完成認(rèn)證檢驗(yàn)計(jì)劃中定義的測(cè)量項(xiàng)目。檢查頻率建議可根據(jù)稽查之歷史據(jù)訂定62、認(rèn)證檢驗(yàn)計(jì)劃認(rèn)證檢驗(yàn)計(jì)劃的建立，是要確保單位能夠滿足靜電3、合格檢驗(yàn)與認(rèn)證檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)中有哪些合格檢驗(yàn)及認(rèn)證檢驗(yàn)參數(shù)要求？哪些物品哪些地方要認(rèn)證檢驗(yàn)？要用什么檢驗(yàn)設(shè)備？用什么方法檢驗(yàn)？在靜電放電控制產(chǎn)品和材料的初始選擇的時(shí)候采用產(chǎn)品合格檢驗(yàn)?？?/p>

4、采用的方法為：產(chǎn)品規(guī)范復(fù)查，獨(dú)立實(shí)驗(yàn)室評(píng)估或內(nèi)部實(shí)驗(yàn)室評(píng)估。73、合格檢驗(yàn)與認(rèn)證檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)中有哪些合格檢驗(yàn)及認(rèn)證檢驗(yàn)參數(shù)要求4、哪些物品要定期驗(yàn)證？ ESD TR53-01：2019-靜電放電保護(hù)設(shè)備和材料之達(dá)標(biāo)驗(yàn)證-建議下所述之靜電放電防護(hù)品、材及設(shè)備等應(yīng)定期接受功能性驗(yàn)證檢測(cè)：接地/搭接系統(tǒng)工作臺(tái)面手腕帶手腕帶性能測(cè)試器防靜電鞋地板材質(zhì)服裝座椅移動(dòng)式設(shè)備(手推)包裝靜電消除器人員接地系統(tǒng)設(shè)備定期保養(yǎng)、校準(zhǔn)84、哪些物品要定期驗(yàn)證？ ESD TR53-015、ESD 物品檢測(cè)頻與方式95、ESD 物品檢測(cè)頻與方式116 、靜電用品測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目標(biāo)準(zhǔn)手腕帶及手腕帶連接ANSI/ESD S1.1防靜

5、電服ANSI/ESD STM 2.1離子風(fēng)機(jī)/離子靜電消除器ANSI/ESD STM3.1 ANSI/ESD SP3.3臺(tái)墊/工作臺(tái)ANSI/ESD S4.1 ANSI/ESD S4.2防靜電地板/地面工程ANSI/ESD S7.1防靜電座椅ANSI/ESD STM12.1防靜電鞋/拖鞋/腳束帶ANSI/ESD STM9.1 ESD SP9.2地板-鞋系統(tǒng)ANSI/ESD STM97.1 ANSI/ESD STM97.2屏蔽包裝袋ANSI/ESD STM11.31防靜電材料ANSI/ESD STM11.11- STM11.12 STM13.1交流設(shè)備烙鐵及工具ESD STM13.1-2000取

6、放設(shè)備ESD SP10.1-2000術(shù)語(yǔ)、方法及技術(shù)要求ADV11.2ESD ADV1.0標(biāo)識(shí)：ANSI/ESD S8.1接地：ANSI/ESD S6.1工作站：ESD ADV53.1包裝：ANSI/ESD S541操作指南ESD ADV2.0（手冊(cè)）106 、靜電用品測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目標(biāo)準(zhǔn)手腕帶及手腕帶連接ANSI/7、ESDA認(rèn)可的認(rèn)證機(jī)構(gòu) DNV Certification, Inc. BSI, Inc. QMI, A Division of CSA Group National Quality Assurance, USA (NQA, USA) Lloyds Register Quality

7、 Assurance, Inc.(LRQA) TUV America, Inc SGS SA PSB Certification BVQi (NA), Inc.117、ESDA認(rèn)可的認(rèn)證機(jī)構(gòu) DNV Certificati二、符合性驗(yàn)證技術(shù)12二、符合性驗(yàn)證技術(shù)141、接地/搭接系統(tǒng)符合性驗(yàn)證目的：確保EPA 工作站內(nèi)所有之工作臺(tái)面、固定式裝置、手持式裝置及人員接地裝置等均應(yīng)接至共同接地點(diǎn)(Common point ground；CPG)。共同接地點(diǎn)再接至ESD 接地/搭接考點(diǎn)。一般ESD 接地/搭接考點(diǎn)應(yīng)為交電(AC)設(shè)備接地點(diǎn)。采用輔助接地時(shí)，應(yīng)搭接至交電(AC)設(shè)備接地。檢測(cè)設(shè)備：(A)

8、直奧姆計(jì)：可測(cè)范圍應(yīng)為 0.11M，精確應(yīng)為10%。(B) 交電插座分析器：指示設(shè)備接地導(dǎo)線是否存在。地線與中線、火線與中性線、火線與接地線是否裝置顛倒、設(shè)備接地線阻抗是否符合規(guī)范要求、(C) 交電電測(cè)試器(阻抗計(jì))：測(cè)設(shè)備接地導(dǎo)體自電源插座至主電源控制盤(pán)中性搭接點(diǎn)間之阻抗值，也具可檢測(cè)接線正確性。(D)條適當(dāng)長(zhǎng)之檢測(cè)接導(dǎo)線?，F(xiàn)場(chǎng)CPG須標(biāo)識(shí)出來(lái)最好是AC地與靜電地線分開(kāi)131、接地/搭接系統(tǒng)符合性驗(yàn)證目的：確保EPA 工作站內(nèi)所有之萬(wàn)用表/直奧姆計(jì)電壓檔：量交流、直流電壓值電阻檔：量接地、手環(huán)阻抗插頭與拉環(huán)間阻抗為1M10%設(shè)備對(duì)CPG1.0歐姆 與防雷地線距離20M!總接地10歐姆 14萬(wàn)

9、用表/直奧姆計(jì)電壓檔：量交流、直流電壓值設(shè)備對(duì)CPG1斷路器的使用15斷路器的使用17交流電插座分析器左零右火上地是否正確地、中線阻抗交電插座分析器交電電測(cè)試器(阻抗計(jì))1.0歐姆 16交流電插座分析器左零右火上地是否正確交電插座分析器交電電接地點(diǎn)對(duì)CPG1.0歐姆 17接地點(diǎn)對(duì)CPG1.0歐姆 19鉗形接地電阻測(cè)試儀測(cè)量原理：測(cè)量回路電阻，儀表的鉗口部分由電壓線圈及電流線圈組成。電壓線圈提供激勵(lì)信號(hào)，并在被測(cè)回路上感應(yīng)一個(gè)電勢(shì)E。在電勢(shì)E的作用下將在被測(cè)回路產(chǎn)生電流I。儀表對(duì)E及I進(jìn)行量測(cè)，并通過(guò)歐姆定理：R= E/I測(cè)量范圍：0.1-1000,分辨率；0.01.1.0歐姆 18鉗形接地電阻

10、測(cè)試儀測(cè)量原理：測(cè)量回路電阻，儀表的鉗口部分由自動(dòng)廠房靜電接地系統(tǒng)監(jiān)測(cè)器：可同時(shí)并實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)個(gè)作業(yè)員腕帶和個(gè)工作枱面的ESD接地況有獨(dú)的安全警報(bào)聲響告警裝置采用電阻回監(jiān)控方式，準(zhǔn)確而有效連續(xù)式靜電腕帶及工作臺(tái)監(jiān)測(cè)器：配有字顯示操控面板及管鎖實(shí)時(shí)測(cè)接地系統(tǒng)之AC與DC阻抗可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并有聲光警報(bào)，256組記憶裝置，可接計(jì)算機(jī)印監(jiān)測(cè)紀(jì)報(bào)告可偵測(cè)ESD接地和AC接地是否混接19自動(dòng)廠房靜電接地系統(tǒng)監(jiān)測(cè)器：可同時(shí)并實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)個(gè)作業(yè)員腕帶和2、防靜電手腕帶接地實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)器符合性驗(yàn)證標(biāo)準(zhǔn)沒(méi)有作要求202、防靜電手腕帶接地實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)器符合性驗(yàn)證標(biāo)準(zhǔn)沒(méi)有作要求223、工作臺(tái)面符合性驗(yàn)證目的：確保ESD 防護(hù)工作臺(tái)面、架

11、子、抽屜、ESD 防護(hù)儲(chǔ)存設(shè)備是否搭接至接地/搭接考點(diǎn)。電阻是否符合。(1)檢測(cè)設(shè)備：高阻表(MeggerMeter /High Resistance Ohmmeter)(A)測(cè)量范圍:1103 1.9991013(至少要10次方以上，最大可測(cè)電阻11016)(B) 圓柱電極 ：符合ANSI/EOS/ESD4.1規(guī)定。重2.270.06kg、半徑63.50.25mm 體積圓柱、導(dǎo)電接觸材硬等級(jí)應(yīng)為Shore A：50-70。10V 測(cè)試電壓測(cè)屬表面，電極間之電阻應(yīng)小于1.0103。(C) 直(DC)奧姆計(jì)：可測(cè)范圍應(yīng)為0.11M，精確應(yīng)為10%。(D)條適當(dāng)長(zhǎng)之檢測(cè)接導(dǎo)線。213、工作臺(tái)面符合

12、性驗(yàn)證目的：確保ESD 防護(hù)工作臺(tái)面、架子、(2) 檢測(cè)程序：(A)驗(yàn)證前，勿即清潔 ESD 防護(hù)工作臺(tái)面。(B) 將所有 ESDS 從工作臺(tái)面移除。(C)工作臺(tái)面上導(dǎo)電物品及具獨(dú)接地的交電氣設(shè)備仍維持接地。(D)將一條檢測(cè)導(dǎo)線一端接至電極，另一端接至整合性電阻測(cè)試器。(E) 將另一條檢測(cè)導(dǎo)線一端接至整合性電阻測(cè)試器，另一端接至接地考點(diǎn)。(F) 將電極置于工作臺(tái)面正中央，測(cè)試電壓設(shè)定為10V，經(jīng)一段適當(dāng)之測(cè)試時(shí)間或待值穩(wěn)定。(G)指示電阻小于 1.0106，則再繼續(xù)測(cè)試。地面距離100CM 其它工作表面距離30CM，測(cè)試3-5次取平均.(H)指示電阻等于或大于 1.0106，則將測(cè)試電壓改設(shè)定

13、100V，再重新測(cè)試工作表面。檢測(cè)應(yīng)包括 ESD 防護(hù)工作臺(tái)上磨損處或具明顯臟污處。22(2) 檢測(cè)程序：(A)驗(yàn)證前，勿即清潔 ESD 防護(hù)工作工作表面點(diǎn)對(duì)點(diǎn)阻抗測(cè)試大于1.0 x106，但應(yīng)小于1.0 x109電壓小于200V測(cè)五次取平均。23工作表面點(diǎn)對(duì)點(diǎn)阻抗測(cè)試大于1.0 x106，但應(yīng)小于1.0 x工作表面點(diǎn)對(duì)點(diǎn)阻抗測(cè)試大于1.0 x106，但應(yīng)小于1.0 x109電壓小于200V24工作表面點(diǎn)對(duì)點(diǎn)阻抗測(cè)試大于1.0 x106，但應(yīng)小于1.0 x工作表面點(diǎn)對(duì)地阻抗測(cè)試大于1.0 x106，但應(yīng)小于1.0 x109電壓小于200V測(cè)五次取平均25工作表面點(diǎn)對(duì)地阻抗測(cè)試大于1.0 x10

14、6，但應(yīng)小于1.0 x表面阻抗測(cè)試儀將表放在被測(cè)表面上，按住紅色的測(cè)量鈕，持續(xù)發(fā)亮的發(fā)光二極管（LED）指示出測(cè)量的表面阻抗量級(jí)。測(cè)五次取平均。量程指示 103=1千歐姆綠色LED 104=10千歐姆 綠色LED 105=100千歐姆 綠色LED106=1兆歐姆 黃色LED 107=10兆歐姆 黃色LED 108=100兆歐姆 黃色LED 109=1000兆歐姆 黃色LED 1010=10000兆歐姆 黃色LED 1011=100000兆歐姆黃色LED1012=1000000兆歐姆 紅色LED 1012=絕緣 紅色LED此表還可測(cè)量對(duì)地電阻每十二個(gè)月需校準(zhǔn)表面阻抗表26表面阻抗測(cè)試儀將表放在被

15、測(cè)表面上，按住紅色的測(cè)量鈕，持續(xù)發(fā)亮4、防靜電手腕帶符合性驗(yàn)證檢測(cè)設(shè)備：(A)整合性電阻()測(cè)試器：測(cè)范圍至少為1.01010奧姆計(jì)，開(kāi)測(cè)試電壓為DC10V與100V(10%)。(B) 手持式電極：銹鋼圓柱棒、長(zhǎng)75mm(3inches) 以上，直徑25mm(1inches)、鋼棒一端接香蕉插頭或紋端子測(cè)試線。(C) 一條適當(dāng)長(zhǎng)檢測(cè)導(dǎo)線。3.5107歐姆 0.8106歐姆-1.2106歐姆 274、防靜電手腕帶符合性驗(yàn)證檢測(cè)設(shè)備：3.5107歐姆 05、人體綜合阻抗測(cè)試檢測(cè)設(shè)備：(A)整合性電阻( )測(cè)試器：測(cè)范圍為5.0104 1.01010 奧姆計(jì)，開(kāi)測(cè)試電壓為DC 730V。 (B) 手

16、持式電極：銹鋼圓柱棒、長(zhǎng)75mm(3inches)以上，直徑25mm(1 inches)、鋼棒一端接香蕉插頭或紋端子導(dǎo)線。(C) 足部電極：導(dǎo)電屬板 305mm2(12inches2)。(D)條適當(dāng)長(zhǎng)之檢測(cè)接導(dǎo)線。3.5107歐姆 1.0109歐姆 285、人體綜合阻抗測(cè)試檢測(cè)設(shè)備：3.5107歐姆 1.06、靜電鞋阻抗測(cè)量 1 109 歐姆 100伏 3.5 107歐姆296、靜電鞋阻抗測(cè)量 1 109 歐姆 3.5 1077、防靜電移動(dòng)式設(shè)備(手推) 符合性驗(yàn)證 1 109 歐姆307、防靜電移動(dòng)式設(shè)備(手推) 符合性驗(yàn)證 1 109 8、防靜電地板符合性驗(yàn)證(1) 檢測(cè)設(shè)備：-與工作表面

17、測(cè)量一致(A)整合性電阻()測(cè)試器：測(cè)范圍至少為1.01010 之奧姆計(jì)，并且其開(kāi)測(cè)試電壓為DC10V與100V(10%) 。6次方以下用10V檔。否則用100V檔。(B)圓柱電極：重2.270.06kg、半徑63.50.25mm體積圓柱、導(dǎo)電接觸材硬等級(jí)Shore A：50-70。當(dāng)選用10V 測(cè)試電壓，測(cè)屬表面時(shí)，其電極間之電阻應(yīng)小于1.0103。(C) 條適當(dāng)長(zhǎng)之檢測(cè)接導(dǎo)線。318、防靜電地板符合性驗(yàn)證(1) 檢測(cè)設(shè)備：-與工作表面測(cè)點(diǎn)對(duì)地測(cè)量注意：地面距離100CM，其它30CM、測(cè)試5次取平均1109歐姆 32點(diǎn)對(duì)地測(cè)量注意：地面距離100CM，其它30CM、測(cè)試5次取點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量注意

18、：地面距離100CM，其它30CM、測(cè)試5次取平均46為導(dǎo)電地板，69為靜電耗散地板1109歐姆 33點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量注意：地面距離100CM，其它30CM、測(cè)試5次取9、防靜電服裝符合性驗(yàn)證(1) 檢測(cè)設(shè)備:一般為高阻儀(A)整合性電阻()測(cè)試器：開(kāi)測(cè)試電壓為DC 100V(10%)，范圍至少為1.01012。(B) 圓柱電極：重為2.270.06kg、半徑63.50.25mm 體積圓柱、導(dǎo)電接觸材硬等級(jí)Shore A：50-70。(C) 條適當(dāng)長(zhǎng)之檢測(cè)接導(dǎo)線。(D)絕緣支撐板：平坦絕緣板，大小足以支撐進(jìn) ESD 材檢測(cè)工作。符合ASTM D-257規(guī)定，絕緣板表面電阻應(yīng)大于1.01013/sq。

19、349、防靜電服裝符合性驗(yàn)證(1) 檢測(cè)設(shè)備:一般為高阻儀36靜電工作服表面阻抗測(cè)試防靜電裝服(袖口對(duì)袖口)符合性驗(yàn)證可接地1109歐姆 普通靜電服11011歐姆 系統(tǒng)電阻3.5107歐姆 新品反復(fù)摩擦20次靜電電壓小于100V35靜電工作服表面阻抗測(cè)試防靜電裝服(袖口對(duì)袖口)符合性驗(yàn)證可接10、防靜電座椅符合性驗(yàn)證綜合阻抗點(diǎn)對(duì)地3610、防靜電座椅符合性驗(yàn)證綜合阻抗點(diǎn)對(duì)地38點(diǎn)對(duì)點(diǎn) 1 109 歐姆37點(diǎn)對(duì)點(diǎn) 1 109 歐姆39點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量 1 109 歐姆38點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量 1 109 歐姆4011、其它用品表面阻抗 1 109 歐姆3911、其它用品表面阻抗 1 109 歐姆4112、靜電消

20、除器（離子風(fēng)扇）符合性驗(yàn)證檢測(cè)設(shè)備：(A)充電板監(jiān)測(cè)器(CPM：charge plate moniter)：可攜式驗(yàn)證工具組包括：電場(chǎng)計(jì)、可拆式(隔導(dǎo)電)平板、平板充電器及接地線等組件。(B) 碼表或其它適當(dāng)測(cè)放電時(shí)間之工具。(C) 測(cè)尺。4012、靜電消除器（離子風(fēng)扇）符合性驗(yàn)證檢測(cè)設(shè)備：42離子風(fēng)機(jī)產(chǎn)生原理：A、強(qiáng)電場(chǎng)的條件下空氣電暈電離，產(chǎn)生正負(fù)離子；B、A射線和射線作用空氣分子使之成為空氣離子；C、高能射線（X射線）作用空氣分讓基電離離子風(fēng)機(jī)按形式分為:臺(tái)式離子風(fēng)機(jī)，臥式離子風(fēng)機(jī)，懸掛式離子風(fēng)機(jī)，微型離子風(fēng)機(jī)輸入電壓： 100VAC 50、60Hz,120VAC/60Hz,230VAC

21、/50Hz最大功率： 25W左右離子平衡： 0+/-25V（有的設(shè)備是本能，無(wú)需調(diào)較）消散速度： 由1000V至100V小于1.5秒（最大風(fēng)量）覆蓋范圍： 30cm*150cm顯示： 亮-有高壓電產(chǎn)生離子顯示報(bào)警： 測(cè)量?jī)x內(nèi)的感應(yīng)器損壞保養(yǎng)三步曲 清潔 檢測(cè) 調(diào)較STM3.1-2000消散時(shí)間：用戶自定殘留電壓50伏特 41離子風(fēng)機(jī)產(chǎn)生原理：A、強(qiáng)電場(chǎng)的條件下空氣電暈電離，產(chǎn)生正負(fù)離檢測(cè)程序放電時(shí)間(衰減時(shí)間)試驗(yàn)：(a) 啟動(dòng)檢測(cè)設(shè)備，并依照制造商建議予以設(shè)備置于穩(wěn)定態(tài)。(b) 將檢測(cè)平板短暫性接地，并設(shè)定(或驗(yàn)證)為電壓值。(c) 請(qǐng)勿于子化氣場(chǎng)內(nèi)，將可攜式驗(yàn)證儀器進(jìn)歸(或進(jìn)充電)動(dòng)作。(

22、d) 將檢測(cè)平板充電至超過(guò)各電極初始檢測(cè)電壓之適當(dāng)伏特(如12001500V)。(e) 將檢測(cè)板面向靜電消除風(fēng)扇的氣方向。(f) 放電時(shí)間測(cè)始于檢測(cè)板電壓衰減至初始測(cè)試電壓(如1000V)時(shí)，并停止于檢測(cè)板電壓衰減至最終測(cè)試電壓(如100V)。(g) 針對(duì)另一電極重復(fù)上述程序。(h) 記各電極放電時(shí)間(秒)。殘余電壓(offset voltage)(剩余子)試驗(yàn)：(a) 啟動(dòng)檢測(cè)設(shè)備，并依照制造商建議予以設(shè)備置于穩(wěn)定態(tài)。(b) 將檢測(cè)平板短暫性接地，并設(shè)定(或驗(yàn)證)為電壓值。(c) 請(qǐng)勿于子化氣場(chǎng)內(nèi)，將可攜式驗(yàn)證儀器進(jìn)歸(或進(jìn)充電)動(dòng)作。(d) 將檢測(cè)板面向靜電消除風(fēng)扇的氣方向。(e) 等待使

23、用者規(guī)范之時(shí)間。(f) 紀(jì)檢測(cè)板上之殘余電壓(offset voltage)(或剩余子)。42檢測(cè)程序放電時(shí)間(衰減時(shí)間)試驗(yàn)：44帶電平板監(jiān)測(cè)儀(Charge Plate Monitor)離子平衡電壓、靜電消散時(shí)間、人體靜電壓、防靜電材料性能等測(cè)量-ANSI EOS/ESD S3.1監(jiān)測(cè)空氣離子平衡監(jiān)測(cè)電荷從固定電壓點(diǎn)到需要終結(jié)點(diǎn)(通常為原始電量的10）的衰減速度.43帶電平板監(jiān)測(cè)儀(Charge Plate Monitor)離立式離子風(fēng)機(jī)測(cè)量消散時(shí)間：用戶自定殘留電壓50伏特 44立式離子風(fēng)機(jī)測(cè)量消散時(shí)間：用戶自定殘留電壓50伏特 4懸掛式離子風(fēng)機(jī)測(cè)量45懸掛式離子風(fēng)機(jī)測(cè)量4713、防靜電包裝材之符合性驗(yàn)證ANSI/ESD S541 ESDS 物品之包裝材 定期檢測(cè)程序建議：反正摩擦后電壓少于100V4613、防靜電包裝材之符合性驗(yàn)證ANSI/ESD S541 靜電防護(hù)材料分類及測(cè)量47靜電防護(hù)材料分類及測(cè)量49三 其它設(shè)備的使用及測(cè)量48三 其它設(shè)備的使用及