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1、斯威爾 中國斯威爾 中國源自德國 引領(lǐng)世界微波測量專家 斯威爾 1斯威爾 中國斯威爾 中國SWR 產(chǎn)品在多晶硅行業(yè)中的應(yīng)用 張 雄 2008-082斯威爾 中國斯威爾 中國多晶硅工業(yè)生產(chǎn)的原理（西門子法）氯 化：還 原：Si + 3HCl = SiHCl3 + H2 + QSiHCl3 + H2 = Si + 3HCl - Q3斯威爾 中國斯威爾 中國多晶硅工藝流程圖（西門子法)SiHCl3合成SiHCl3提純SiHCl3還原多晶硅SiCl4氫化分離反應(yīng)尾氣干法回收與分離圖1 西門子法生產(chǎn)工藝流程圖工業(yè)硅冶金級SolidFlowHCl（補充）H2（補充）H2（補充）SiSiHCl3SiCl4S

2、iHCl3H2SiCl4SiHCl3、H2SiCl4、HClHCl4斯威爾 中國斯威爾 中國多晶硅工業(yè)生產(chǎn)的原理（粒狀多晶硅）硅烷分解： H2SiF6 = SiF4 + 2H2 SiH4 = Si + 2H2原料制備：Na + Al + 2H2 = NaAlH4硅烷合成：NaAlH4 + SiF4 = NaAlF4 +SiH45斯威爾 中國斯威爾 中國多晶硅工藝流程圖(粒狀多晶硅）圖2 粒狀多晶硅生產(chǎn)工藝流程圖NaAlH4合成SiH4生成溶劑中SiH4提純硅烷化溶劑回收與NaAlF4分離SiH4分解制取多晶硅H2NaAlSolidFlowNaAlH4溶劑中粗制SiH4NaAlF4合格多晶硅脫氫

3、硅脫氫干燥（粒狀）（粒狀）SolidFlowSiF4制取SiH4溶劑溶劑漿狀NaAlF4H2細(xì)硅粉、H2SolidFlow6斯威爾 中國 SolidFlow 在多晶硅行業(yè)中的應(yīng)用SolidFlow穩(wěn)定硅粉的輸送流量7斯威爾 中國斯威爾 中國SolidFlow 測量氯化銨粉末流量（自由下落）50 8T/h 安裝在回轉(zhuǎn)閥后,過濾器前均衡輸送并且進(jìn)行流水控制BASF AG, Ludwigshafen, Germany SolidFlow 應(yīng)用實例8斯威爾 中國斯威爾 中國SolidFlow 測量石灰粉末流量（氣動）環(huán)境溫度 5T/h 安裝在回轉(zhuǎn)閥后均衡輸送并且進(jìn)行流水控制Bayer AG, Leverkusen, Germany SolidFlow 應(yīng)用實例9斯威爾 中國斯威爾 中國SolidFlow 測量鈦鐵礦粉末流量環(huán)境溫度 2-5T/h安裝在螺旋給料機(jī)后，酸解槽之前均衡輸送并且進(jìn)行流水控制山東東佳集團(tuán)金虹鈦白粉廠 SolidFlow 應(yīng)用實例10斯威爾 中國 ProSens 應(yīng)用實例Pr

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