車間防靜電規(guī)定

1、生產(chǎn)車間防靜電規(guī)定目錄目的為避免靜電敏感元器件在生產(chǎn)、運輸、儲存、檢測等過程中受到靜電釋放的影響，從而產(chǎn)生短路、電 阻漂移、開路、工作性能退化等不良現(xiàn)象。特建立電子產(chǎn)品制造靜電防護技術要求，以保證產(chǎn)品 品質，增加可靠性，減低不良率，節(jié)省產(chǎn)品工時成本，降低維修費用。基于電子產(chǎn)品制造靜電防護技術要求文件的頒布，提高員工對ESD的認識，加強員工自覺防止ESD 現(xiàn)象之觀念，促進生產(chǎn)管理水平之提高。適用范圍本文適用于所有車間中生產(chǎn)制程及電子元器件的采購、運輸、儲存、檢測過程中的靜電防護。名詞術語靜電：一種處于相對穩(wěn)定狀態(tài)的電荷。它所引起的磁場效應可以忽略不計（靜電可由物質的接觸與分 離、靜電感應、介質極

2、化和帶電微粒的附著等物理過程而產(chǎn)生）。ESD： ElectronicStaticDischarge，原意是指靜電釋放，即通過帶靜電區(qū)域直接接觸或感應而引起的 靜電電荷在不同電勢物體上的轉移。后常指靜電防護，即避免靜電釋放的發(fā)生。靜電感應：當帶電物體靠近某一介質時，在該介質表面因感應而帶電荷，并形成感應電場。ESDS： ElectronicStaticDischargeSensitive，靜電放電敏感（的），通常用來指靜電敏感元器件。防靜電工作區(qū)：由各種防靜電設施、器件及明確的區(qū)域界限形成的工作場地。靜電敏感度：ElectrostaticSensitivity，元器件所能承受的靜電放電電壓值。表

3、面電阻/點對點電阻：在與材料的同一側面相接觸的兩個規(guī)定形狀的電極之間，直流電壓對于流過的 電流的比值。該測量結果以歐姆為單位來表示。體積電阻/對地電阻/系統(tǒng)電阻：在與材料的相對兩面相接觸的兩個規(guī)定形狀的電極之間，直流電壓對 于流過的電流的比值。該測量結果以歐姆為單位來表示。摩擦起電：當使兩種材料接觸或相互摩擦后分離時，產(chǎn)生靜電荷。摩擦電壓：物體被摩擦后，表面所帶靜電荷的電壓。ESD損傷：由靜電放電引起的電子元器件性能退化或功能失效。消電時間（DecayTime）： 一個靜電壓從其初始值降低到一個給定值（通常是初始值的10%）所需要的 時間。注：國際慣例對于小于1E6歐姆的電阻使用10V電壓測量

4、，大于或等于1E6歐姆的電阻使用100V電壓 測量。防靜電工作區(qū)系統(tǒng)防靜電工作區(qū)的劃分：根據(jù)GJB1649規(guī)定的靜電放電電壓敏感的靜電放電敏感元器件組件和設備的分級.靜電放電敏感產(chǎn) 品按敏感度電壓被分級為：4.1.2.靜電敏感度級別靜電敏感電壓（人體模型一HBM）I級01999VII級20003999VIII級400015999V根據(jù)該項標準的規(guī)定，所要求的ESD控制大綱一般只包含對I和II級敏感產(chǎn)品的防護?，F(xiàn)按照元器件靜電敏 感度和生產(chǎn)線實際情況如下：高速器件（如藍牙耳機等含高頻器件的組件）、較大規(guī)模集成電路（如CMOS攝像模塊）的靜電敏 感度相對較高，凡是含這些器件的半成品生產(chǎn)線均定為I級

5、；普通器件如TI的計算器等，沒有用到上述類型器件的產(chǎn)品，則生產(chǎn)這些產(chǎn)品的生產(chǎn)線不需要嚴格 的防靜電措施。僅僅是器件的存儲和運輸，也不需要嚴格的防靜電措施，理由是器件在這個時候沒 有被操作。把這些生產(chǎn)線或車間定為II級；按照上述理由，現(xiàn)規(guī)定敏感級別為：級別區(qū)域I級暫無II級普通電子產(chǎn)品的半成品包裝區(qū)域、貨倉電子料區(qū)域，生產(chǎn)倉，收料倉等公司內部由黃、黑雙色斑馬線圍起的區(qū)域或門口掛有靜電標示牌的車間為防靜電工作區(qū)。元器件敏感度分級由QC1ESD工程師按后附錄1ESDS元器件分類酌情分級，并確定。4.2.防靜電工作區(qū)基本環(huán)境要求防靜電工作區(qū)應保持潔凈，避免有灰塵堆積或漂浮的狀態(tài)發(fā)生車間內溫濕度的控制結

6、合車間的實際情況定為：區(qū)域溫度。C濕度裝配車間152550%60%維修車間152560%70%在不對產(chǎn)品造成有害影響的前提下，允許使用增濕設備噴灑制劑或水，以增加環(huán)境濕度。防靜電工作區(qū)應清楚標明區(qū)域界限以及警示標志，見附錄14。要求使用防靜電地板或在普通地面上鋪設防靜電地墊，并保證有效接地。禁止直接使用木制地板或鋪 設毛、麻、化纖地毯及普通地板革。天花板及墻壁建議使用防靜電材料制品，一般情況下允許使用石膏制品或石灰涂料，禁止使用普通塑 料制品。防靜電工作區(qū)接地系統(tǒng)應有獨立可靠的接地裝置，接地電阻一般應小于10歐姆，為保證人員安全，在與人員直接接觸的地方應加裝1兆歐姆限流電阻。接地線的要求如下:

7、接地線截面積接地電阻要求接地總線不小于100mm2的銅制導線小于10歐姆ESD線不得直接接在電源零線上。ESD線不接地支干線不小于6mm2的銅制導線小于10歐姆得與防雷地線共用。使用三相五線制供電，設備和工作臺不小于的多股或單股的銅制絕緣小于10歐姆或兆歐其大地線可以作為ESD地線，但需保證電源的接地線套導線兆歐地線與零線不能搭接。新增的ESD地線應用綠色絕緣套標識，原來使用的黃綠色絕緣套標識可以繼續(xù)使用。臺墊等物品的接地配件 按照來料的顏色使用。廠房接地總線的接地電阻小于10歐姆，由行政部負責定期檢查，周期為一個月一次。并填寫廠房接地電阻測試記錄表。車間內部的設備和工作臺的接地線的接地狀況由

8、PE負責定期檢查，周期為3個月一次。并填寫工 作臺地線接地電阻測試記錄表。測試臺的防靜電設備，工器具的接地由TE負責定期檢查，周期為3個月一次。并填寫工作臺地線接地電阻測試記錄表。4.4.防靜電區(qū)域設備及輔料要求I級區(qū)域II級區(qū)域防靜電安全工作臺防靜電安全工作臺防靜電容器、運輸工具（料盒、料箱、運輸車）防靜電容器、運輸工具（料盒、料箱、運輸車）防靜電腕帶防靜電腕帶防靜電工衣（帽）防靜電工衣（帽）防靜電工鞋防靜電工鞋防靜電測試防靜電烙鐵（如需使用烙鐵）防靜電烙鐵（如需使用烙鐵）防靜電工作區(qū)的ESD技術要求防靜電地板用防靜電PVC地板專用清潔劑或中性清潔用品定期進行清潔，嚴禁使用強酸、強堿或能溶解

9、PVC材料的化學溶劑進行清洗，如果屬于更嚴重的污漬，可以使用異丙烯基乙醇清潔。嚴禁帶有尖刺、粗糙的重物在地板表面擦劃、拖拉。不能將硫化物、丙酮、酒精等物品撒落在ESD地板上，如發(fā)生以上情況，應立即清潔。使用防靜電地板蠟水進行定期涂敷、養(yǎng)護，一般6個月一次。地板蠟的電阻小于1E9歐姆。地板安裝時應滿足的ESD技術指標包括：表面電阻值和系統(tǒng)電阻值均在1E41E9歐姆范圍以內。生產(chǎn)部應及時向行政部要求對防靜電地板進行打蠟維護，行政部做好地板打蠟后應及時通知QC1部 ESD工程師。對于K4潔凈室的地板，經(jīng)IE評估且經(jīng)過ESD工程師的認可，可以不做地板打蠟。QC1部ESDX程師應在行政部對防靜電地板打蠟

10、后做一次防靜電地板表面電阻、系統(tǒng)電阻測試，測 試方法見附錄2,并填寫防靜電地板電阻測試記錄表。防靜電安全工作臺（含測試臺）各區(qū)域的防靜電安全工作臺由負責該區(qū)域的PE或TE確定范圍。例如：回流焊后的檢查臺、QC1檢查臺、修理臺和測試臺等。.防靜電安全工作臺基本要求和禁止項目要求禁止工作臺表面鋪設防靜電臺墊，同時臺墊必須接地。特殊情況 可以沒有臺墊，但需經(jīng)ESDX程師認可。工作臺上放置普通塑料盒（片）、橡皮、玻璃、普通泡沫等 容易產(chǎn)生靜電的雜物。配備腕帶接頭、ESD地線、防靜電工具（可選）和防靜電測 試架距離ESDS兀器件30厘米以內有摩擦電壓高于200V的物件在防靜電區(qū)內使用不符合防靜電要求的物

11、料且必須時，必須得到QC1ESDH程師的評估和認可。防靜電臺臺面應滿足ESD技術指標。表面電阻值和系統(tǒng)電阻值均在1E41E9歐姆范圍以內。防靜電臺椅子應滿足ESD技術指標。表面電阻值和系統(tǒng)電阻值均小于1E9歐姆范圍。防靜電膠簾的表面電阻應在1E41E11歐姆內。PE或TE應每6個月做一次相應的工作區(qū)域內的防靜電臺墊和防靜電工椅電阻測試，防靜電臺墊測 試方法見附錄3,填寫防靜電臺墊電阻測試記錄表。防靜電工椅測試方法見附錄8,填寫防 靜電工椅測試記錄表，如果有不合格的，須及時更換。防靜電輔料/工具防靜電溶劑瓶：系統(tǒng)電阻在1E41E11歐姆范圍。防靜電烙鐵/焊接工具：從熱的端頭到地的電阻應小于10歐

12、姆。防靜電文件袋（夾）：表面電阻在1E41E11歐姆范圍。PE應每6個月做一次防靜電輔料電阻測試，測試方法見附錄7,填寫防靜電輔料電阻測試記錄表。防靜電包裝及容器防靜電容器包括ESDS原料包裝袋（盒/盤）、裝板的料盒、等一切包裝、儲存ESDS的容器。允許使用局部抗靜電涂料對容器表面進行處理，但使用效果必須由相關PE定期檢查。防靜電容器應滿足ESD技術指標：表面電阻（包括內外表面）在1E41E11歐姆范圍，系統(tǒng)電阻在1E41E10歐姆范圍。如果產(chǎn)品或產(chǎn)品的金屬部分不直接與防靜電容器接觸，則允許防靜電容器的電 阻小于1E4歐姆。PE應每6個月做一次防靜電容器（包括吸塑、托盤、料箱等）表面電阻和體積

13、電 阻測試，測試方法見附錄4。填寫防靜電周轉容器電阻測試記錄表，測試結果由PE保存半年， 并在符合標準的容器上做標記。QC2應按SEF對來料的包裝袋和容器進行測試，并填寫防靜電包 裝袋容器電阻測試記錄表。防靜電運輸工具及存放架等防靜電運輸工具包括一ESD運輸車、ESD小推車等為保護ESDS不受到外部強靜電場的影響，運送ESDS的防靜電運輸工具應由高導電性材料（建議使 用不銹鋼）制作，車子經(jīng)常固定時要求硬接地。其對地電阻應小于10歐姆。當運輸車由不銹鋼組成時，且經(jīng)常移動時，其對地電阻應小于1E9歐姆。存放架的表面電阻和對地電阻應小于1E9歐姆。防靜電運輸工具應滿足ESD技術指標：表面電阻和對地電

14、阻小于1E9歐姆。PE應每6個月做一次防 靜電運輸車、ESD小推車之臺面對輪腳系統(tǒng)電阻測試，測試方法見附錄5。填寫防靜電運輸工具/ 存放架電阻測試記錄表，測試結果由PE保存半年，并在符合標準的運輸工具上做標記。4.5.6.除靜電離子風機/離子棒當防靜電區(qū)域內不可避免的需要使用會產(chǎn)生高靜電的材料時，且該材料要求被放置在離ESDS30厘 米內時，必須使用離子風機或離子棒。對于不能接地又直接接觸ESDS元件的物體，必須保證其保持在零電位狀態(tài)，必要時，可以使用離 子風機消除在這個過程中產(chǎn)生的靜電。離子風機在使用的過程中會產(chǎn)生較大功率的RF信號，因此進行通信產(chǎn)品測試的車間不適用離子風 機。如果要用，則需

15、要通過QC1ESD工程師的評估。懸掛式離子風機應懸掛在離工作臺面60厘米的高度，（特殊工位可例外，但須經(jīng)ESD工程師認可） 離子風機的出風口不能有異物阻擋。離子風機的平衡電壓保持在50V以內，消電時間（從1000V中 和到100V）應小于10秒（高風速）。臺式離子風機應放置在工作臺上且離工作區(qū)域3045厘米左右，以保證有足夠的覆蓋范圍和快速的 靜電消除。離子風機的出風口不能有異物阻擋。離子風機的平衡電壓保持在50V以內，消電時間（從 1000V中和到100V）應小于3秒（高風速）。離子棒應懸掛在合適的工作高度以保證除靜電效果，離子棒的平衡電壓應保持在50V以內，消電時 間（從1000V中和到1

16、00V）應小于60秒。QC1ESD工程師應每6個月做一次離子風機平衡電壓和消電時間測試，填寫除靜電離子發(fā)生器測試 記錄表，對不符合要求的離子風機，應及時處理。其它防靜電物料及相關要求不在上面列出來的物料則按一般防靜電要求，表面電阻在1E41E11歐姆內，系統(tǒng)電阻在1E41E11 歐姆內。特殊情況下，如果找不到合適的供應商，又經(jīng)過ESD專員的評估，確認不會對產(chǎn)品構成ESD隱患的 情況下，可以引入表面電阻或體積電阻小于1E11歐姆的物料。人體防靜電系統(tǒng)防靜電腕帶直接接觸ESDS的任何人員都應按規(guī)定佩帶防靜電腕帶（俗稱靜電帶），禁止使用無線防靜電腕帶。防靜電腕帶的接觸線應內置一個1兆歐姆電阻，以保證

17、人體安全以及快速瀉放靜電，防靜電腕帶的腕 帶應是導電性的，表面電阻應小于1E3歐姆。同時應保證防靜電腕帶與人體皮膚有良好的接觸，系統(tǒng) 電阻應小于35兆歐姆，且使用鱷魚夾或插頭座可靠的連接在ESD線上。應每天一次測量防靜電腕帶的系統(tǒng)電阻，由拉長填寫靜電帶檢查記錄表，檢查不合格時應交由修 理檢修，不能修復時，應及時更換。防靜電鞋/防靜電鞋套所有進入防靜電區(qū)域的人員都應穿用防靜電鞋/鞋套，防靜電鞋/鞋套的使用要保證鞋的系統(tǒng)電阻在 1E5-歐姆范圍內。應每天一次測量防靜電鞋/鞋套的系統(tǒng)電阻，由拉長填寫防靜電鞋/鞋套檢查記錄 表，檢查不合格時應及時更換。防靜電工作服防靜電工作服包括一一防靜電連體衣、防靜

18、電大褂、防靜電工鞋（鞋套）和工帽，防靜電工作服要求 使用導電網(wǎng)格防靜電綢制作，制造要求應符合GB12014之規(guī)定，其各部分之間應存在電氣連續(xù)性。工 作服的設計應能保持在穿著狀態(tài)下與人體皮膚直接或間接地接觸。進入防靜電區(qū)域時，防靜電工作服、工鞋和工帽要求穿著整齊，全部紐扣（拉鏈）要系好（拉完全）， 頭發(fā)必須包在工帽內，不能有外露。購買防靜電工衣時應滿足ESD技術指標：表面電阻值（1E5歐姆1E10歐姆）。生產(chǎn)部應每半年做一次防靜電工衣表面電阻測試，測試方法見附錄6，并填寫防靜電工衣表面電阻 測試記錄表，對于不符合指標要求的防靜電工衣，予以更換。防靜電手套/指套由消散性材料制成，人體穿戴對地電阻在

19、1E51E11歐姆范圍，摩擦電壓小于50V。人體綜合接地測試系統(tǒng)要求手腕帶-人體工鞋-人體指示燈電阻下限歐姆1E5歐姆電阻上限歐姆歐姆電阻在范圍以內綠燈電阻不在范圍以內紅燈5.5.1.每個進入防靜電區(qū)域的人員須進行人體綜合接地效果測試，如果亮紅燈，則表明測試失敗，應更換工鞋/鞋套或手腕帶重新進行測試并通知相關人員。人員防靜電一般要求要求進入防靜電區(qū)的人員盡量穿著棉質衣物，盡量避免穿著尼龍等合成纖維制品，以免產(chǎn)生強電場導 致靜電感應放電現(xiàn)象。在防靜電工作區(qū)內不得大聲喧嘩，坐立姿勢端正，避免不必要的走動，以及不必要的大幅度身體運動， 如彎腰、晃動手臂等，在防靜電工作區(qū)內如有必要走動，應緩步行走，禁

20、止奔跑。接觸靜電敏感器件及組件之前應戴好防靜電腕帶，防靜電腕帶再接入防靜電地線系統(tǒng)，要保證腕帶與 皮膚接觸良好，在戴腕帶處皮膚上不得涂護膚油、防凍油等絕緣物質。手持靜電敏感器件及組件時應避免接觸其導電（金屬管腳）部分，操作過程中應盡量減少對靜電敏感 器件及組件的接觸次數(shù)。按需要逐一取用，不得一次倒出一堆IC散亂地放在工作臺面上，已裝貼有 元器件的PCB板不得裸露疊放，確需暫時疊放時必須用防靜電材料隔離開。外來人員參觀，必須有本公司人員全程陪同，按參觀路線行進，不得隨意走動，不得進入機器外圍的 斑馬線地標，更不得隨意觸摸產(chǎn)品。職責生產(chǎn)經(jīng)理、主管、科文等管理人員，職責包括：負責做好物料、作業(yè)員、及

21、其他進出防靜電工作區(qū)人員及物品的出入管理，確保其按ESD要求正確著 裝，確保作業(yè)員及在防靜電工作區(qū)內的人員正確使用ESD設備，包括防靜電工衣、防靜電工帽、防靜電工 鞋、防靜電腕帶、防靜電臺墊、離子風機、ESD料盒和ESD地板等；確保無關人員不接觸產(chǎn)品，不對產(chǎn)品產(chǎn)生靜電釋放；對懷疑是靜電損傷的產(chǎn)品，需要保存樣品并報告給相應的部門作失效分析；定期檢查防靜電工衣、工鞋、腕帶的ESD品質，如有品質異常，及時向采購部提出采購申請更換；每天檢查ESD設備、臺墊等的接地狀況（目視），確保接地線正確的連接到ESD總線上；每六個月要求服務組對防靜電地板進行打蠟。QC1ESD工程師/技術員，職責包括：統(tǒng)籌全廠的E

22、SD控制，定期對生產(chǎn)線的靜電防護水平做出評估，并給出改善意見，提高其靜電防護水 平；負責尋找新的防靜電用品的供應商，評估新購的防靜電用品的性能；協(xié)助人力資源部進行ESD培訓；監(jiān)督各個部門的ESD管理情況，及時反映ESD狀況；對生產(chǎn)線的靜電損傷樣品作失效分析，解決工序中的ESD情況；定期檢查除靜電離子發(fā)生器的性能，確保其正常工作；負責對打蠟后的地板進行測量。行政部/維修組，職責包括：行政部負責派人做好清潔工作，保證車間內的相對空氣濕度在各車間規(guī)定的范圍內；維修組定期檢查ESD總線的接地狀況，確保其狀況良好；服務組根據(jù)生產(chǎn)部的要求派人定期使用專用的防靜電地板蠟水對防靜電地板打蠟，打完蠟后通知 QC

23、1ESD工程師進行電阻測試。人力資源部，職責包括：負責對新進廠的員工進行初步的防靜電知識培訓；定期對員工進行防靜電知識培訓，并進行培訓的再審核。開發(fā)部，職責包括：開發(fā)部在設計新產(chǎn)品時應考慮到器件的靜電敏感度，盡量選用具有最大靜電抗擾度的元件；在新產(chǎn)品設計階段應盡量引入防靜電網(wǎng)絡到電路設計中去，以保護產(chǎn)品里面的靜電敏感元件；要求供應商提供元器件靜電敏感度的級別。包括人體模型（HBM）、機器模型（MM）和帶電器件模型 （CDM）（應列明何種標準）；做好SEF （包括防靜電指標，partnumber等）給QC2部，供QC2部抽測來料。QA及QC2部，職責包括：確定ESDS敏感級別，對成品進行靜電放電

24、模擬測試，確認靜電敏感度；根據(jù)SEF負責抽測、監(jiān)控靜電敏感器件來料和靜電敏感器件產(chǎn)品的品質，如發(fā)現(xiàn)異常，應及時反饋信 息給QC1ESD工程師或相應的部門。PEX程師/技術員，職責包括：定期檢查防靜電設備，確保其可以正常使用，包括防靜電臺墊、地墊、防靜電容器、運輸工具和其它 輔助工具的表面電阻和系統(tǒng)電阻測試等；定期檢查臺墊和機器的接地狀況，確保接地良好。TEX程師/技術員，職責包括：負責測試架，測試臺的接地和測試工位內的防靜電設備的定期檢查與控制。貨倉工程師/技術員，職責包括：負責貨倉防靜電措施的維護和管理。定期通知QC1ESD工程師進行檢測使用中的防靜電用具。培訓對所有可能接觸或接近ESDS的

25、人員，必須進行相關的ESD知識培訓，并加以教育與訓練，使之樹立有 效的ESD防護觀念。培訓的有效期為一年。人力資源部應填寫員工防靜電知識培訓考核記錄表。防靜電培訓的內容包括：靜電學基礎和靜電損害靜電性能測試防靜電的標示與包裝防靜電控制防靜電設備的使用和檢測（相關人員）米購所有防靜電用品的采購均須要按照附錄16防靜電制品采購流程圖執(zhí)行文件生效日期本文件從文控中心正式發(fā)行日起開始生效。記錄序號記錄名稱責任部門測量周期保存期限1防靜電地板電阻測試記錄表QC1部6個月抽測6個月2防靜電臺墊電阻測試記錄表PE/TE 部6個月抽測6個月3靜電帶檢查記錄表生產(chǎn)部每周3個月4防靜電周轉容器電阻測試紀錄表PE部

26、6個月抽測6個月5防靜電運輸工具存放架電阻測試記錄表PE部6個月抽測6個月6防靜電工衣表面、鞋、鞋套電阻測試記錄表生產(chǎn)部6個月抽測6個月7員工防靜電知識培訓紀錄表人力資源部一年一年8廠房接地電阻測試紀錄表行政部3個月抽測一年9工作臺地線接地電阻測試紀錄表PE/TE 部3個月抽測1個月10防靜電椅子電阻測試記錄表PE部6個月抽測6個月12.附錄附錄1：ESDS元器件分類I 級：（0V1999V）序號元器件類別條件及說明1微波器件包括肖特基二極管，點接觸二極管，頻率大于1GHz的二極管2分立MOS場效應管包括VWOS及VDMOS等等3表面聲波（SAW）器件4結型場效應管5電荷耦合器件6精密穩(wěn)壓二極

27、管7運算放大器包括雙極型工藝及MOS工藝8超高速集成電路包括ECL、HCMOS、FAST等工藝9其他集成電路包括 CMOS、PMOS、NMOS、TTL 等II級：(2000V3999V)序號元器件類別條件及說明1分立MOS場效應管包括 VMOS、VDMOS 等2結型場效應晶體管3運算放大器包括雙極工藝和MOS工藝4超高速集成電路5其他集成電路包括 CMOS、PMOS、NMOS、TTL 等6精密電阻網(wǎng)絡包括ECL、HCMOS、FAST等工藝7混合電路使用II級靜電敏感元器件組裝的混合電路8低功率雙極工藝晶體管PT100mW,IC100mA附錄2：防靜電地板表面電阻/系統(tǒng)電阻測試方法按下圖確定防靜

28、電地板測試點 每一個方格均代表一塊地板，測試用的電極一個放在中間的地板上，另外一個電極依次放在此地板相對角的 四塊地板上面，測量其表面電阻值。隨機抽樣測試點不少于20個區(qū)域，按下圖所示，每點測量地板4點表面電阻值，并記錄數(shù)據(jù)隨機抽樣測試點不少于5個區(qū)域，按下圖所示測量地板系統(tǒng)電阻，并記錄數(shù)據(jù)附錄3：防靜電臺墊/地墊電阻測試方法按下圖所示，每張臺墊/地墊測量2組表面電阻值，并記錄數(shù)據(jù)按下圖所示，每張臺墊/地墊測量2組對地電阻值，并記錄數(shù)據(jù)附錄4：防靜電容器電阻測試方法按下圖所示，測量容器表面電阻值，并記錄數(shù)據(jù)按下圖所示，測量容器體積電阻值，并記錄數(shù)據(jù)附錄5：防靜電運輸工具/存放架測試方法按下圖所

29、示，測量運轉車/存放架電阻值，并記錄數(shù)據(jù)附錄6：防靜電工衣表面電阻測試方法將防靜電工衣平坦展開放置在光滑的絕緣電阻大于1E12歐姆的平板表面上測試用兩電極應順著導電絲放置按上圖所示，測量3個測試點：同片測試（褲腰以上一點對褲腰以下一點）；袖對腰下部位測試（袖對褲 腰以下一點）（對于連體服，用袖對腳測試取代袖對腰測試）；袖對袖測試。其中連體服需要加測鞋套的對 地電阻。附錄7：普通防靜電材料電阻測試方法對于新引入的物料要求隨機抽樣至少三個樣品，每一個樣品至少隨機測量三次。材料的測試紀錄應包括表 面電阻和體積電阻。表面電阻的測試方法：將材料放置在一個光滑、平整、潔凈，且表面絕緣電阻大于1E12歐姆的

30、臺面。在材 料表面放置兩個測試電極（30cm是建議值，如果材料小于這個尺寸，則電極放在兩對角面上），如下圖所示：體積電阻的測試方法：將材料放置在一個光滑、平整、潔凈，且表面電阻小于10歐姆的金屬面上，一個電 極放置在金屬面上，另外一個電極放置在被測物上。對于烙鐵，只需要測量熱的金屬頭到地之間的電阻。 附錄8：防靜電工椅的測試方法要求隨機抽樣至少5個樣品，每一個樣品至少隨機測量三次（三個點）。防靜電工椅的測試紀錄應包括表 面電阻和體積電阻。表面電阻的測試方法：在表面放置兩個測試電極，如下圖所示：體積（對地）電阻的測試方法：一個電極放置在金屬面上，另外一個電極放置在椅子上。注意，在生產(chǎn)線 進行定期

31、檢測的時候，允許直接把一個電極放置在防靜電地板上，另外一個電極放置在椅子上。附錄9：物體表面的靜電壓測量方法使用SimcoFMX002靜電壓表去測量物體表面的靜電壓，要注意以下幾點：儀表的紅外燈指示器要兩個重合， 才算對焦，此時儀表距離被測物大約厘米。靜電壓表在使用的過程中需要接地。否則讀數(shù)不準確。靜電壓表 的讀數(shù)的單位為KV。測試圖例如下：附錄10：懸掛式/臺式離子風機測試方法測量懸掛式離子風機應使用標準的離子風機測試儀，在評估新引入的離子風機時候需要測量標準的12個點 的平衡電壓和消電時間。在平時的定期測量時，只需測量3個風扇口正下方的平衡電壓和消電時間。標準的 12個點（以小網(wǎng)格表示）如

32、下所示：對每一個點均應測量不少于三次。對每一個測試點的平衡電壓的測量時間不得少于1分鐘。應紀錄平衡電 壓的最大（偏移零點最遠）值。消電時間應紀錄最大值。對新引入的懸掛式離子風機的要求列表：（ANSI/ANSI/只對平衡電壓提出了要求，未強制規(guī)定消電時間， 因此，下表的平衡電壓是強制執(zhí)行，消電時間只是建議值）位置低風速高風速平衡電壓（V）消電時間（S）平衡電壓（V）消電時間（S）CenterTP5&TP80+50V15s0+50V10sTP2&TP1130cmLeftTP1&TP100+50V0+50VTP4&TP730cmRightTP3&TP120+50V0+50VTP6&TP94.測量臺式

33、離子風機應使用標準的離子風機測試儀測試，在評估新引入的離子風機時候需要測量標準的12 個點的平衡電壓和消電時間。在平時的定期測量時，只需測量正對風扇口 30厘米和60厘米兩個點的平衡電 壓和消電時間。標準的12個點（以黑豎條表示）如下所示：對每一個點均應測量不少于三次。對每一個測試點的平衡電壓的測量時間不得少于1分鐘。應紀錄平衡電 壓的最大（偏移零點最遠）值。消電時間應紀錄最大值。對新引入的臺式離子風機的要求列表：（ANSI/ANSI/只對平衡電壓提出了要求，未強制規(guī)定消電時間，因 此，下表的平衡電壓是強制執(zhí)行，消電時間只是建議值）位置低風速高風速平衡電壓（V）消電時間（S）平衡電壓（V）消電

34、時間（S）center1ft(TP2)0+50V0+50V2ft(TP5)3ft(TP8)4ft(TP11)30cmLeft1ft(TP1)0+50VNA0+50VNA2ft(TP4)3ft(TP7)4ft(TP10)30cmRight1ft(TP3)0+50VNA0+50VNA2ft(TP6)3ft(TP9)4ft(TP12)附錄11手套/手指套的測量方法穿戴對地電阻測試：操作員把測試儀的兩個電極分別放在兩塊互相絕緣的金屬板上面，然后操作員戴上手套 /手指套。操作員把戴有手套/手指套的大拇指和食指分別按住那兩塊金屬板，然后按下測量開關，并等讀數(shù) 穩(wěn)定后讀出測試儀上的讀數(shù)，并記錄下來。操作員分別用大拇指和其它的手指按住金屬板，然后讀出測試儀 上的讀數(shù)，并記錄下來。每一種手套/手指套均需要測量5個（含）以上的樣品，每次測量均記錄最大值。表面摩擦電壓測試：操作員戴上1兆歐的標準手腕帶，鱷魚夾夾在接地線上面并確認接地良好。操作員戴 上手套/手指套。一只手拿取高絕緣的塑料板，另一只手/手指摩擦塑料板十次，然后測量手套/手指套上面的 靜電壓，記錄最大值。注意：儀器要離絕緣板30厘米以上，以免影響讀數(shù)。每一種手套/手指套均需要測量 5個（含）