SPQA高效過(guò)濾器檢漏SOP(啟)

目

的：

高效過(guò)濾器檢漏通過(guò)檢測(cè)高效過(guò)濾器的泄漏量高效過(guò)濾器及其安裝的缺陷及時(shí)采取補(bǔ)救措施。適用范圍：責(zé)任部門(mén)：

適用于潔凈廠房高效過(guò)濾器泄漏的檢查。設(shè)備能源部、質(zhì)量保證部負(fù)責(zé)本程序的正確執(zhí)行和監(jiān)督。

1、高效過(guò)濾器安裝檢查1.1高效過(guò)濾器安裝前，必須在安裝現(xiàn)場(chǎng)拆開(kāi)包裝進(jìn)行外觀檢查，內(nèi)容包括濾紙、密封膠和框架有無(wú)損壞長(zhǎng)角線(xiàn)和厚度尺寸等是否符合要求架有無(wú)毛刺和銹斑（金屬框品合格證，技術(shù)性能是否符合設(shè)計(jì)要求。1.2檢查過(guò)濾器的濾材是否完好。1.3濾材與其框架內(nèi)部的連接是否嚴(yán)密。1.4過(guò)濾器框架的密封墊付和過(guò)濾器組支撐柜架之間連接是否穩(wěn)固。2、高效過(guò)濾器的檢漏。2.1測(cè)試方法：塵埃粒子計(jì)數(shù)器法。2.2測(cè)試范圍D級(jí)及更高潔凈度要求的潔凈室層流工作臺(tái)層流罩、隧道烘箱等設(shè)備上的高效過(guò)濾器，都必須在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行檢查檢漏。3、檢測(cè)材料及儀器。3.1塵源：含塵濃度為3.5×10粒/L，微?！?.5μm的氣體。3.2儀器：塵埃粒子計(jì)數(shù)器。4、粒子計(jì)數(shù)器法檢漏方法。4.1在被檢測(cè)高效過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)以大于或等于μm微粒塵濃度為3.5×104粒/L的空氣做為塵源，調(diào)整過(guò)濾器在接近設(shè)計(jì)風(fēng)速的條件下運(yùn)行，用粒子計(jì)數(shù)器在被測(cè)高效過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)測(cè)得含塵濃度。4.2根據(jù)《CLJ-03A型塵埃粒子計(jì)數(shù)器SOP》正確使用計(jì)數(shù)器。4.3塵埃粒子計(jì)數(shù)器采樣頭掃描過(guò)高效濾器的出風(fēng)側(cè)。采樣頭離過(guò)濾器距離約～4cm處，沿過(guò)濾器內(nèi)邊框均速移動(dòng)計(jì)數(shù)器探頭巡檢，掃描速度應(yīng)低于。2/3

4.4檢漏標(biāo)準(zhǔn)控制表。塵粒最大允許數(shù)/立方米潔凈度A級(jí)B級(jí)C級(jí)D級(jí)

≥0.5μm350035003500003500000

≥5μm112000200005、泄漏后處理：5.1出現(xiàn)泄漏時(shí)，用環(huán)氧樹(shù)脂硅膠堵漏或螺栓緊固以后再次進(jìn)行掃描巡檢，儀表指示為“0點(diǎn)已被堵住。5.2高效過(guò)濾器泄漏處允許用專(zhuān)用膠水修補(bǔ)是單個(gè)泄漏處的面積不能大于過(guò)濾器總面積的1%，全部泄漏點(diǎn)的面積不能大于過(guò)濾器總面積的，否則必須更換。5.3過(guò)濾器修理或重裝后必須重新進(jìn)行測(cè)試。6、檢測(cè)頻度：6