用于通訊濾波器基片精密制造的產(chǎn)業(yè)化項目環(huán)境影響報告表

(公示本)建設單位(蓋章)：成都泰美克晶體技術(shù)有限公司一、建設項目基本情況 -1-二、建設項目工程分析 -15-三、區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀、環(huán)境保護目標及評價標準 -51- -五、環(huán)境保護措施監(jiān)督檢查清單 -85-六、結(jié)論 -87- -1-基本情況制造的產(chǎn)業(yè)化項目10109-07-02-530450(103°54′39.208′′，30°45′57.405′′)C子材料制造□新建(遷建)(核準/備案)部門 項目審批(核準/備案)文號(選填)川投資備【2204-510109-07-02-530450】JXWB-0295號總投資(萬環(huán)保投資(萬元)環(huán)保投資占比(%)用地(用海)面積(m2)，不新增用地本項目廢氣主要為酸霧和有機廢氣，不涉及有毒有害污染物、二噁m需設置地表水專項評價；本項目不涉及有毒有害和易燃易爆危險物質(zhì)存儲量超過臨界量的情；成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)分區(qū)規(guī)劃(2017-2035年)境科學研究院-2-規(guī)劃環(huán)境影響評價文件名稱：《成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)分區(qū)規(guī)劃(2017-2035年)環(huán)境影響報告書》關于《成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)分區(qū)規(guī)劃(2017-2035年)環(huán)境影響報告21〕31號)1、與成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)分區(qū)規(guī)劃(2017-2035年)符合性分析中華人民共和國生態(tài)環(huán)境部下達的“關于《成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)分區(qū)規(guī)劃(2017-2035年)環(huán)境影響報告書》審查意見”(環(huán)審〔2021〕31根據(jù)《成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)分區(qū)規(guī)劃(2017-2035年)環(huán)境影響報告書》和《成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)分區(qū)規(guī)劃(2017-2035年)環(huán)境影響報告書》審查意見”(環(huán)審〔2021〕31號)，本項目與《成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)分區(qū)規(guī)劃(2017-2035年)環(huán)境影響報告書》規(guī)劃符合性分析見下表：位與《成都市城市總體規(guī)劃(2016-2035年)》相銜接，高新西區(qū)圍繞集成電形成“4+1”產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系，擬形成“一校一帶一廊”的空間結(jié)構(gòu)。-3-業(yè)應采用先進的生產(chǎn)工藝和污染治理技術(shù)，從源頭降低單位產(chǎn)相應標準排放；按國家、四川省、成都市相關揮發(fā)性有機物防治要求和3.固廢處置措施：入?yún)^(qū)企業(yè)生的工業(yè)固廢按“減量化、資源化、無害化”合利用和處置措施；危險廢物應送具有相應資質(zhì)的單位限制引入向環(huán)境排放汞、鉻、鉛、砷、鎘等重金屬的生產(chǎn)性企業(yè)。險防范措施：構(gòu)建政府、園區(qū)管委會、企業(yè)三級防范體系，配備故應急設施、設備，確保事故廢水不下河。園區(qū)和入園企業(yè)均應環(huán)境事件應急預案，報環(huán)境保護主管部門和有關部門備案，定期ta業(yè)政策和規(guī)劃的行業(yè)。1.不符合國家業(yè)政策和行業(yè)準入條件的項目。2.項目清潔生產(chǎn)水平不能達到行業(yè)清潔生產(chǎn)標準二級標準要求或低于全國產(chǎn)工藝業(yè)；止新引入不符合主導產(chǎn)業(yè)的項目；③禁止引入單純原料藥、中間體生產(chǎn)(以原料藥或中間體為最終產(chǎn)品)、抗生素西區(qū)禁止新引入排放鉛、汞、鎘、鉻和砷污染物的項目，重金屬輔幣制造產(chǎn)業(yè)外的項目，其重金屬污染物排放量不得新增。業(yè)項目，項目不屬于《成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)分區(qū)規(guī)劃(2017-2035年)環(huán)因此，本項目符合成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)分區(qū)規(guī)劃(2017-2035年)產(chǎn)業(yè)發(fā)-4-其他符合性分析產(chǎn)生含揮發(fā)性有機物廢氣的生產(chǎn)生含揮發(fā)性有機物廢氣的生新西體和s使用低(無)VOCs含量的原輔發(fā)性有機物污染防治工作方案》(環(huán)大氣〔2017〕本項目投資5600萬元，其中RakonInvestmentHKLimited占股60.76%，深三、制造業(yè)中(二十二)計算機、通信和其他電子設備制造業(yè)的294.新型電子不屬于《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導目錄(2019年本)》(中華人民共和國國家發(fā)展和改革委員會令第29號)中落后和淘汰設備之列。09-07-02-530450】JXWB-0295號。2、用地符合性分析制造項目，項目位于成都高新區(qū)西部園區(qū)天映路已取得土地使用證(成高國用〔2010〕第11599號)，情況規(guī)范求符合新、改、擴建涉及VOCs排放項符合-5-案》(川府發(fā)案》(川府發(fā)推廣使用低(無)VOCs含量的化、化工、包裝印刷、工業(yè)裝推廣使用低(無)揮發(fā)性有機物質(zhì)含量的環(huán)境友好型原輔材料和低(無)揮發(fā)性有機物排放的生(2018-2027年)》(成府函〔2018〕新建涉大氣污染物排放的工業(yè)作行方案》新建排放大氣污染物的工業(yè)項第三十條企事業(yè)單位和其他生應當符合本市執(zhí)行的大氣污染控制要求。第三十九條工業(yè)生產(chǎn)及科研實安裝凈化裝置或者采取其他措13、與《長江經(jīng)濟帶發(fā)展負面清單指南(試行)》的符合性分析。負面清單要求情況1設不符合全國和省級港口布局規(guī)劃以及頭-6-2區(qū)的岸線和河段范圍內(nèi)投資建自然勝飲用水水源一級保護區(qū)的岸線和河段范投資建設項目。用4水產(chǎn)種質(zhì)資源保護區(qū)岸線和河段范圍內(nèi)水產(chǎn)5定以及保護生態(tài)環(huán)境以外的項目。禁止在河湖6生態(tài)保護紅線和永久基本農(nóng)田范圍內(nèi)投態(tài)?；?器8禁止新建、擴建不符合國家石化、現(xiàn)代煤化等劃的項目。目9政的項目。器的嚴重過4、“三線一單”符合性分析結(jié)合《四川省生態(tài)環(huán)境廳關于印發(fā)<產(chǎn)業(yè)園區(qū)規(guī)劃環(huán)評“三線一單”符合-7-性分析技術(shù)要點(試行)>和項目環(huán)評“三線一單”符合性分析技術(shù)要點(試行)的通知》，本項目“三線一單”符合性分析如下：都市普適性清單情況性求須3.禁止在合規(guī)園區(qū)外新建、擴建鋼鐵、有色等高污項目；新建、擴建使用燃煤設施的工業(yè)在本市規(guī)劃已確定的通風廊道區(qū)；7.繞城高速公路(G4202)以內(nèi)禁止新8.繞城高速公路(G4202)以內(nèi)區(qū)域，元器件求.控制水泥、平板玻璃、日用玻璃、涂.嚴控列入國家產(chǎn)能過剩的項目，繼續(xù)。元器件原則上限制發(fā)展，污染物排放只降不業(yè)升入工.工業(yè)生產(chǎn)中可能產(chǎn)生惡臭氣體但未按單位，引企業(yè)適時搬遷。都高新-8-造據(jù)流域及其水質(zhì)現(xiàn)狀等提出相應標準。區(qū)污流域.加快推進鋼鐵、平板玻璃、水泥等重揮發(fā)3.推廣低(無)VOCs含量原輔材料。VOCs含量的原輔料；進一步提高木質(zhì)家具制造、包裝印刷、 (DB512672-2020)要求。作污(DB51/2311-2016)標.本項目不屬于重點制造涉及4.本項目鍋爐已完成求參考執(zhí)行成都市電子信息行業(yè)資源環(huán)源環(huán)境績效指標；3.推進老舊燃氣鍋爐和成型生物質(zhì)鍋爐低氮燃燒改造或改電工作；4.推進低(無)VOCs含量源頭替代。聚焦工業(yè)和服務業(yè)、溶劑使用源等VOCs重點來源，出臺源頭替代實施方應活性等環(huán)境友好型原輔材料和產(chǎn)品的替代；5.參照《關于加強重點行業(yè)建設項目區(qū)域削減措施監(jiān)督管理的通知》(環(huán)辦環(huán)評〔2020〕36號)執(zhí)行；6.嚴格執(zhí)行廢氣、廢水、噪聲、固體廢物等國家、行業(yè)和地方污染物排放標信息效指2.項目一般工業(yè)固廢置率達鍋爐已完；項目生產(chǎn)制造不涉氣、廢2.嚴格涉重金屬(鉛、汞、鎘、鉻、砷)實施“等替代”或“減量替代”。.園區(qū)風險防控體系要求：構(gòu)建三級環(huán)應急有毒有-9-4.針對化工園區(qū)建立有毒有害氣體環(huán)境工、電鍍等行業(yè)企業(yè)拆除生產(chǎn)設施案，格按照有關規(guī)定實施安全處理處序。有色金屬冶煉行業(yè)、金屬表面處理池制造行業(yè)等應滿足重點重金屬業(yè)清潔生產(chǎn)總體上達到國內(nèi)先進求.鼓勵引導新建、改建、擴建工業(yè)園區(qū)按照有關要求統(tǒng)籌建設工業(yè)廢水集中串聯(lián)用，建節(jié)水型工業(yè)園區(qū)。3.鼓勵火力發(fā)電、紡織、造紙、化工、食品和發(fā)酵等高耗水企業(yè)對廢水進行行業(yè)項具備使用再生水條件但未有效利用廠區(qū)污入合處理達(DB51/2311-2016)標求1.除威立雅三瓦窯熱電(成都)有限公2.禁止新建、改建(已有鍋爐配套治理煤、生物質(zhì)鍋爐(含成型生物質(zhì)鍋爐)；3.工業(yè)企業(yè)單位工業(yè)增加值能耗對標國染能耗物耗水耗指標滿足省級生態(tài)工業(yè)園區(qū)到先進電和天-10-禁止原料藥或中間體為最終產(chǎn)品)、抗生素開發(fā)類發(fā)酵、維生素類發(fā)酵及合成制藥、激元器件空禁止原料藥或中間體為最終產(chǎn)品)、抗生素開發(fā)類發(fā)酵、維生素類發(fā)酵及合成制藥、激元器件空建設素類等制藥類項目(滿足自用和其他非間活動銷售用途的原料藥、中間體和生物制品布的要發(fā)酵項目除外)等；局求2.其余執(zhí)行工業(yè)重點管控單元普適性管約控要求束限制1.電子信息產(chǎn)業(yè)限制使用含鉛電鍍工本項目為電子元器件囊填充工藝，不屬于限制開發(fā)動工藝、軟木塞燙蠟包裝藥品工藝；行業(yè)備應當拆除或者本項目位于成都市環(huán)境綜合管控單元工業(yè)重點管控單元(管控單元名稱：與管控單元相對位置如下圖所示：(圖中▼表示項目位置)。元特性管控要求情況性-11-的要3.其余執(zhí)行工業(yè)重點管控單元普適性管求的要3.其余執(zhí)行工業(yè)重點管控單元普適性管求控要求。進行有序退出；.其余執(zhí)行工業(yè)重點管控單元普適性管要求。都高新造kgD生量≤0.3m3/10000tables(片劑)，≤0.15m3/10000tables(針劑)；3.中藥飲片加工：單位產(chǎn)品廢水產(chǎn)生量.5kg/t；4.其余執(zhí)行工業(yè)重點管控單元普適性管控要求。排放強度≤0.005kg/求成都市電子信息行業(yè)資源環(huán)境績效準門檻；.其余執(zhí)行工業(yè)重點管控單元普適性管要求。信息行境績效指標。.強化?；沸孤碧幹么胧_保.其余執(zhí)行工業(yè)重點管控單元普適性管要求。害、求1.電子信息(12英寸集成電路制造、平造)：清洗水品新鮮水消耗≤2m3/t；2.其余執(zhí)行工業(yè)重點管控單元普適性管控要求。低氮燃燒裝置；2.加快發(fā)展太陽能、氫能等清潔能源，執(zhí)行工業(yè)重點管控單元普適性管求成都市生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控的符合性-12-清單實施生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控的通知》川府發(fā)〔2020〕9號和成都市人民性情況性中，針對環(huán)境質(zhì)量是否達標及經(jīng)濟社會發(fā)展水平等因素，制定差別化的生態(tài)環(huán)境準入要求，對環(huán)境質(zhì)量不達標區(qū)域，提出污染物削減于成都高新區(qū)西部園區(qū)天映路建議排放指標見(評價適用標準)—總。調(diào)整產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)，實施最環(huán)境準入要求。②加快地區(qū)生產(chǎn)總值(GDP)、污染排放強度大的產(chǎn)業(yè)(如建材、家具等產(chǎn)業(yè))替藥等產(chǎn)業(yè)提出最嚴格的、沱江流域執(zhí)行《四川、沱江流域水污染物排涉危險廢物涉危險化學屬于電子元器件制造，項目所被列入《四川省國家重點生態(tài)功能區(qū)產(chǎn)業(yè)準入負面清單(第一批)(試行)》內(nèi)；項目不屬于污染排放強度大的產(chǎn)項目符合園區(qū)環(huán)境準入要求；目所在地屬于岷江、沱江流域，水自建污水處理站預處理后匯合作污水處理廠處理達《四川放標準》 (DB51/2311-2016)規(guī)定限值后排入清險防范措施有效可靠，從環(huán)性情況性都高新區(qū)西部園議排放指標見(評價適用標準)控制指標。為電子元器件制造項-13-全。地規(guī)模，嚴格保障人居糧食安全。國家生態(tài)保護紅線的管控要求嚴制造業(yè)產(chǎn)業(yè)園區(qū)不能突破城鎮(zhèn)開。鎮(zhèn)品質(zhì)，推動農(nóng)商文旅體融合發(fā)展。入成都市合目不涉及耕地；目位于成都高新技術(shù)產(chǎn)區(qū)，符合要求；目不涉及文化資源；電子信息行業(yè)資源環(huán)境門檻。5、與《成都市建設項目環(huán)境影響評價文件審批承諾制改革試點方案》(成環(huán)發(fā)〔2018〕449號)、《成都市生態(tài)環(huán)境局關于印發(fā)<成都市建設項目環(huán)境影響評價文件審批承諾制正面清單(2021年版)>的通知》(成環(huán)發(fā)〔2021〕36號)和四川省生態(tài)環(huán)境廳關于進一步改進環(huán)評審批和監(jiān)督執(zhí)法服務高質(zhì)量發(fā)展的通知(川環(huán)函〔2020〕220號)符合性根據(jù)《成都市建設項目環(huán)境影響評價文件審批承諾制改革試點方案》(成環(huán)發(fā)〔2018〕449號)、《成都市生態(tài)環(huán)境局關于印發(fā)<成都市建設項目環(huán)境影響評價文件審批承諾制正面清單(2021年版)>的通知》(成環(huán)發(fā)〔2021〕36量發(fā)展的通知(川環(huán)函〔2020〕220號)，本項目與審批承諾制符合性分析見表。求情況本項目位于成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)(西區(qū))。2021年于《成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)分區(qū)規(guī)劃(2017-2035年)環(huán)境影響報告書》的審查意見(環(huán)審〔2021〕31號)”-14-類管理名類管理名設項目環(huán)境專用材料制造應編制環(huán)境影實施響報告表的項目、產(chǎn)業(yè)園對象區(qū)按照《建設項目環(huán)境影主管工商注冊(統(tǒng)一社會信用代碼為：91510100748076187W)本項已完成規(guī)劃環(huán)評(環(huán)審成都高新區(qū)生態(tài)管理局。本項目系國際安全、不涉共利益項目。(2021年知目成都市建設項諾制正面清單》(成環(huán)發(fā)清單中“81造”諾制審與服務制審批改革。疫情防控期，對需使用的料制造”影響報告表審批可實施承諾制。-15-工程分析本項目在現(xiàn)有廠房內(nèi)新建一條鉭酸鋰聲表晶片生產(chǎn)線，包括十萬級凈化生產(chǎn)率片(帶電極)2.4億片/年和鉭酸鋰聲表晶片24萬片/年。產(chǎn)規(guī)模見下表稱新增石英晶體頻率片(不帶電極)2億片/年02億片/年石英晶體頻率片(帶電極)億片/年0億片/年表晶片4萬片/年0萬片/年4萬片/年容及規(guī)?？赡墚a(chǎn)生的環(huán)境問題-16-區(qū)域內(nèi)新建鉭酸鋰聲(委外)→修邊后研磨后清洗(委外)→腐蝕→腐→拋光→拋光后清洗最終清洗→挑片檢驗庫”。在區(qū)域為千級潔凈酸堿廢氣(含、酸堿石英晶片清洗、鍍膜、光刻、蝕刻工藝所在區(qū)域為百級潔凈萬級潔凈區(qū)。鉭酸鋰晶片酸蝕拋光工藝所在廢燃氣熱水鍋爐(低氮燃燒)。/南角，并配設儲油線/水管線/統(tǒng)EDI床”工藝。樓三層已建空壓統(tǒng)系統(tǒng)mh+1×450m3/h，總循環(huán)。-17-施房裝材料。庫品。物質(zhì)。。池2個(容積均為1m3)。泥混凝沉淀”工藝。泥100m3/d。系統(tǒng)：采用2.5m3/d。子吸附+生化處理(水解酸化+接工藝，處理能力水目鉭酸鋰生產(chǎn)線產(chǎn)生10000m3/h，采用兩級活性炭吸 -18-排放(DA005排氣筒)。氟廢氣處理裝置，主要處氣淋→酸液噴淋→水噴淋；10000m3/h，采用堿液噴淋→酸聲統(tǒng)DA006氣筒排放。聲聲聲間(1)主要原輔材料及能源消耗稱量12F3HNO3tt45t6t7H2O2tt8t9布電/////水H2O///(2)項目主要設備-19-型號數(shù)量(臺/套)1423洗機84機352清6272石英晶片132354JT0065361738292126酸鋰聲表晶片洗機544腐清洗2洗機4實驗室4(1)供電(2)供水-20-水箱水泵ROEDI置EDI加壓泵C水箱水泵ROEDI置EDI加壓泵CRO循環(huán)水 (3)排水網(wǎng)。生產(chǎn)廢水：生產(chǎn)廢水主要為清洗廢水，經(jīng)處理后通過總排口排入園區(qū)管生產(chǎn)廢水、生活污水經(jīng)處理達標后由公司廢水總排口排入高新西區(qū)市政污。-21-(4)天然氣本項目生產(chǎn)不新增天然氣消耗，天然氣主要用于采暖鍋爐以及職工餐廳，全廠主供氣系統(tǒng)為城市管網(wǎng)雙路供氣，城市燃氣管道進廠區(qū)的分成兩根管(5)凈化、空調(diào)系統(tǒng)本項目在主廠房內(nèi)閑置區(qū)域內(nèi)建設，空調(diào)凈化系統(tǒng)依托現(xiàn)有機組，凈化空調(diào)系統(tǒng)采用新風機組、干冷卻盤管與風機濾網(wǎng)單元(FFU)相結(jié)合的方式。新風空調(diào)器設置變頻器，通過設置在送風集管內(nèi)的靜壓傳感器控制變頻器變頻運行。每個區(qū)由單獨的新風支管將新風送入，每個區(qū)的房間壓力由設置在房間內(nèi)的壓力傳感器控制新風支管上電動風閥的開度，以保證房間的壓力要求。各房間的溫度由設置在房間內(nèi)的溫度傳感器控制房間干盤管，以保證房間溫度要合式空調(diào)器上送下側(cè)回，送風經(jīng)高效送風口送入室內(nèi)，經(jīng)側(cè)墻下部回風口回至冷卻除濕盤辦公樓等房間風冷熱泵多聯(lián)機空調(diào)加獨立新風的空調(diào)形式，新風由新風機凈化系統(tǒng)和舒適性空調(diào)系統(tǒng)均設置自動控制系統(tǒng)，根據(jù)房間負荷的變化調(diào)(6)冷凍站本項目冷凍水依托現(xiàn)有冷凍站，冷凍站位于生產(chǎn)廠房一層，由低溫冷凍水系統(tǒng)﹑中溫冷凍水系統(tǒng)及熱回收溫水系統(tǒng)組成，為新風空調(diào)機組、空調(diào)機組、循環(huán)風機組、工藝設備冷卻水換熱器的冷媒、壓縮空氣除濕等提供冷凍水。為冷凍水系統(tǒng)：采用閉式系統(tǒng)，分為空調(diào)冷凍水系統(tǒng)和工藝冷卻水系統(tǒng)。系-22-統(tǒng)由冷水機組、冷凍水一次泵、冷凍水二次泵(VFD)、閉式膨脹水箱補水裝空調(diào)機組、板式換熱器，各用戶的回水再經(jīng)冷凍水一次泵加壓后送回冷水機組，如此循環(huán)。設置在中央動力廠房內(nèi)閉式膨脹水箱補水裝置提供冷凍水系統(tǒng)的定壓補水。補水采用軟化水。冷水機組將根據(jù)負荷的大小提供不同的冷量。m能夠有效避免廢-23-施依托可行性分析備安備安h0mmin(綜合樓三層)m/minmin0minmin000m3/h8m3/h00力0000m/d0048m3/d46.7m3/dmd45m3/dd42.2m3/d7.8m3/d240m3/dm3/d0池3m3一3m3/d0m205m20-24-本項目租用已建廠房進行內(nèi)部改造裝修，新建一條鉭酸鋰聲表晶片生產(chǎn)線，材料等。(1)廠房改造氣、生活污水、施工噪聲、生活垃圾、建筑垃圾等。(2)設備安裝廢包裝材料等。(3)設備調(diào)試污環(huán)節(jié)見下圖。揚塵、裝修廢氣、施揚塵、裝修廢氣、施工廢水、噪聲、生活垃圾、建筑垃圾等生活污水、施工噪聲、生活垃圾、廢包裝材料生活污水、噪聲、生活垃圾生活污水、施工噪聲、生活垃圾、廢包裝材料生活污水、噪聲、生活垃圾(1)修邊(委外)：通過砂漿將晶片邊緣表面毛刺去除，使其表面光滑平(2)清洗(委外)：使用清洗劑超聲將晶片表面的砂漿殘留及其它污染顆(3)研磨(委外)：通過研磨機以及研磨砂液(綠碳化硅：亞硝酸鈉：三-25-乙醇胺：水配比為40kg：1.5kg：0.5L(0.4kg)：120L(120kg)，三乙醇胺質(zhì)(4)清洗(委外)：用磷酸溶液超聲將研磨后晶圓表面所附著的研磨砂液(5)腐蝕：通過腐蝕機及腐蝕液將晶圓表面的某些附著物腐蝕掉，并且去(6)腐蝕后清洗：通過純水漂洗將晶片上多余的腐蝕液殘留清洗干凈；(7)拋光：通過拋光機以及拋光液來拋光，降低晶圓表面粗糙度；(8)拋光后清洗：堿性清洗劑采用超聲波清洗的方式將拋光后晶片表面附(9)堿洗：通過堿性清洗液采用超聲波清洗的方式將晶片表面的附著物進污；(12)包裝入庫：將檢驗合格的晶片進行包裝處理，得到最終成品。-26-氫氟酸、硝酸酸性廢氣純水酸性含氟廢水SAW拋光液堿性清洗液弱堿性二氧化硅廢水氫氧化鉀堿性廢水酸性廢水、堿性廢水、氨氣硫酸、氨水無塵布廢布包裝盒、鋁箔袋廢包材晶片原料氫氟酸、硝酸酸性廢氣純水酸性含氟廢水SAW拋光液堿性清洗液弱堿性二氧化硅廢水氫氧化鉀堿性廢水酸性廢水、堿性廢水、氨氣硫酸、氨水無塵布廢布包裝盒、鋁箔袋廢包材修修邊(委外)清洗(委外)研研磨(委外)清清洗(委外)腐蝕腐蝕腐蝕后清洗拋光拋光后清拋光后清洗堿洗堿洗最終清洗挑片檢驗包包裝入庫成品-27-求，(3)固體廢物：廢無塵布、廢電子元器件、廢包裝材料、生活垃圾、廢離成都泰美克晶體技術(shù)有限公司“石英晶體頻率片生產(chǎn)項目”，該項目設計生產(chǎn)能力為年產(chǎn)石英晶體頻率片24億片(36噸)，于2010年8月取得《成都高新區(qū)城市管理和環(huán)境保護局關于對成都泰美克晶體技術(shù)有限公司石英晶體頻率片生產(chǎn)項目環(huán)境影響報告表的批復》(成高城環(huán)函〔2010〕287號)，現(xiàn)已建年1月完成一階段(年產(chǎn)石英晶體頻率片環(huán)境保護局關于對成都泰美克晶體6億片)竣工環(huán)境保護驗收的意見》(成高環(huán)字〔2013〕74號)。根據(jù)成都泰美克晶體技術(shù)有限公司出具的說品配套建設研發(fā)實驗室，項目建成后形成年產(chǎn)壓電石英頻率片18.4億片(含帶金屬電極的石英晶片2.4億片)、年產(chǎn)鉭酸鋰聲表晶片24萬片的生產(chǎn)能力。該批復》(成高環(huán)字〔2020〕43號)。驗石英晶體頻率片生產(chǎn)項目新建生產(chǎn)線且配套建設研-28-為年產(chǎn)石英晶億片(含帶金屬電極的石英晶片2.4億片)、年產(chǎn)鉭酸鋰聲表晶片24萬片，一設計研究業(yè)電子第十一設計研究院科技理和環(huán)境保生態(tài)環(huán)境和城市管理局文成高環(huán)字〔2020〕43號理和環(huán)境保///大綱稱石英晶體頻率片(不帶電極)2億片/年石英晶體頻率片(帶電極)億片/年表晶片4萬片/年2、現(xiàn)有工程項目組成容及規(guī)模產(chǎn)生的環(huán)境問題產(chǎn)線(不帶、光刻、蝕刻工藝所在、包裝工藝所在區(qū)域為酸廢水(鉻、鎳、銀)、廢光刻廢屬銀)、去膠廢堿、格品頻率片(帶線電極兩大工段。頻率片工段主要工藝為酸廢、廢光刻廢-29-、光刻、蝕刻工藝所在工藝所在區(qū)域為十萬級、光刻、蝕刻工藝所在百級潔凈區(qū)，包裝工藝所銀)、去膠廢堿、格品24萬片/年。主要工藝為“切片(委外)→倒邊(委外)→黑化(委外)研磨→酸蝕→拋光→清洗→挑片檢”。域為非潔凈區(qū)，酸蝕拋在區(qū)域為十萬級潔凈區(qū)，所在區(qū)域為千級潔凈區(qū)，工藝所在區(qū)域為百級潔凈含氟廢角石英晶片清洗、鍍膜、光刻、蝕刻工藝所在區(qū)域為百級潔凈區(qū)，腐蝕、分選、包裝工藝所在區(qū)域為十區(qū)。鉭酸鋰晶片酸蝕拋光工藝所在區(qū)域為十萬級潔凈區(qū)，清洗工藝所在區(qū)域為千級潔凈區(qū)，挑片分檢工藝所百級潔凈區(qū)。爐(低氮燃燒)。/東南角，并配設儲油間。///統(tǒng)位于綜合樓一層，現(xiàn)有制備能力工藝。統(tǒng)系統(tǒng)m/h。-30-施房庫水。個(容積均為1m3)。泥凝沉淀”工藝。泥系統(tǒng)：采用2.5m3/d。吸附+生化處理(水解酸化+接觸氧廢、廢水處 (利用原有機廢氣排氣筒)。氟 酸液噴淋兩級處理后-31-統(tǒng)聲聲聲間3、現(xiàn)有工程生產(chǎn)工藝流程及產(chǎn)污現(xiàn)有工程包括石英晶體頻率片(不帶電極)、石英晶體頻率片(帶電極)以(1)石英晶體頻率片(老工藝)-32-砂RO水清洗-33-磷酸、純水化化膠有機廢氣清洗廢水廢砂、噪聲含磷清洗廢水清洗廢水含氟廢氣、清洗廢不合格品廢包裝腐蝕圖2-3現(xiàn)有工程石英晶體頻率片(老工藝)工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)-34-粘棒：根據(jù)工藝上的角度要求，使用厭氧膠把晶棒粘到料板上，以保證后割，為后續(xù)工序準備角度、厚度符合要求的長方片。每次使用后油砂分離，油研磨準平行度。一般說來，這是最終研磨，本工序的工作質(zhì)量直接影響晶片的質(zhì)量。 (備注：根據(jù)客戶產(chǎn)品需要，有的工序需要6000#研磨或者拋光)。⑧4000#研磨清洗：用自來水洗掉研磨砂，洗凈晶片，便于準確測量頻率和研磨清洗(分三步驟)：對石英晶片表面進行清RORO洗，清洗廢水處-35-③超聲波清洗：最后將晶片放入超聲波清洗筒內(nèi)進行超聲波清洗，介質(zhì)為1：20)腐蝕掉研磨產(chǎn)。角度分選：使用儀器逐片測量晶片的角度并按要求分檔，選出角度合格(2)石英晶體頻率片(不帶電極)片NaOH[腐蝕機]劑[清洗膜機]→→→→↓↓腐蝕↓清洗↓4濺射鍍膜4.1鍍鉻→→→性廢水、廢堿-36-金靶[鍍膜機]→4.2鍍金→純水[蝕刻機]NaOH[蝕刻機]氨[腐蝕機][蝕刻機]↓→5光刻↓蝕刻→6.1金蝕刻→6.2清洗→6.3鉻蝕刻→6.4清洗↓7去膠7.1去膠7.2清洗↓→8.1腐蝕8.2清洗↓去膜→9.1去金膜→9.2清洗→9.3去鉻膜→9.4清洗↓頻率分選↓片↓→→→→→→→→→→→→→→→光刻膠金蝕刻廢液水鉻蝕刻廢液水廢堿機廢水廢槽液(進廢水處理)金蝕刻廢液水鉻蝕刻廢液含鉻蝕廢水金蝕刻廢液包材[真空包裝機]→10包裝入庫A進行腐蝕處理，改善石英片表面結(jié)構(gòu)\厚度。反應方程式:2NaOH+SiO2=Na2SiO3+H2O，主要污染物為表面清洗，去除石英片表面油污、顆粒等其他污染物。要求清洗后石英片表面無顆-37-鍍膜：使用金屬磁控濺射方式對石英片表面鍍膜，膜層厚度控制在100nm~1um。鍍膜膜層材料為鉻、金的兩種材料組合(鉻+金)。鉻為襯底材料，刻膠覆蓋在石英片表面；光刻膠層厚度控制在1~2um，涂膠后使用熱板對光刻膠層進行烘干處理，將光刻膠層固化。主要污染物為光刻膠廢液、光刻膠蒸汽。曝光：使用光刻機將掩至光刻膠層上，光刻機可實現(xiàn)圖形與圖形間對準。使用TMAH顯蝕刻：通過化學蝕刻液，將未被光刻膠圖形保護區(qū)域的金屬膜蝕刻反應去除；將石英片浸入碘化鉀\碘-金蝕刻液中對金材料進行蝕刻，再將石英片浸入硝酸\硝酸鈰銨-鉻蝕刻液中對鉻材料進行蝕刻，蝕刻后使用純水對石英片進行清3Ce(NH4)2(NO3)6+Cr=Cr(NO3)3+3Ce(NH4)2(NO3)5；2Au+2KI+I2=2K[AuI]2；去膠：將石英片浸泡在氫氧化鈉堿性去膠液中，光刻膠與氫氧化鈉反應溶鈉。氫氧化鈉去膠液通過管道輸送至污水處理站進行酸堿中合處理，清洗廢液通過腐蝕機B，使用氫氟酸類腐蝕液，對石英片進行腐蝕。反應原金屬層覆蓋區(qū)域受到保護不被氫氟酸\氟化銨腐蝕液腐蝕；主要污染物為氫氟氟酸\氟化氫氨。氫氟酸\氟化氫氨廢液通過管道輸送至污水處理站進行氟離子處理及酸堿中合處理，清洗廢液通過管道輸送至污水處理站進行氟離子處理及酸-38-↓片去金屬膜：通過化學蝕刻液，將石英晶體材料表面的金屬膜蝕刻反應去除；將石英片浸入碘化鉀\碘-金蝕刻液中對金材料進行蝕刻，再將石英片浸入硝清洗。硝酸\硝酸鈰銨-鉻蝕刻液、清洗廢水通過專用管道排入重金屬處理設備中，碘化鉀\碘-金蝕刻液通過廢液回收桶收集，外送回收金材料及處理。主要化↓片3Ce(NH4)2(NO3)6+Cr=Cr(NO3)3+3Ce(NH4)2(NO3)52Au+2KI+I2=2K[AuI]2(3)石英晶體頻率片(帶電極)現(xiàn)有工程部分石英晶體頻率片根據(jù)市場需求增加后序電極制作工藝，電極制作主要工藝為“清洗→鍍膜→光刻→蝕刻→包裝”，其工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)劑[清洗劑[清洗→↓濺射鍍膜膜機]→1鍍鉻/鎳→鎳靶→機]→2鍍銀/金→金靶→玷污鍍機腔體↓純水→→光刻→光刻膠→↓4蝕刻化鉀[蝕刻機]→.1銀/金蝕刻→→含金蝕刻廢液→4.2清洗廢水-39-硝酸鈰銨/硝酸[蝕刻機]→.3鉻/鎳蝕刻物、含鎳蝕刻廢液物、含鎳蝕刻廢液→→4.4清洗→含鉻/鎳蝕刻廢水↓去膠NaOH[蝕刻機]→去膠→廢堿→洗→機廢水↓空包裝機]→6→↓片率片 (不帶電極)進行表面清洗，去除石英片表面油污、顆粒等其他污染物。要求清\有機物污染物100nm~1um。鍍膜膜層材料為鉻、金、鎳、銀之中的兩種材料組合(如:鎳+金、、鎳為襯底材料，金、銀為頂層材料覆蓋在石英片表面；光刻膠層厚度控制在1~2um，涂膠后使用熱板對光刻膠層進行烘干處理，將光刻膠層固化。主要污染物為光刻膠廢液、光刻膠蒸汽。曝光：使用光刻機將掩膜版圖形轉(zhuǎn)移至光刻膠層上，光刻機可實現(xiàn)圖形與圖形間使用TMAH顯影液將光刻膠曝光區(qū)域反應溶解，光刻膠溶解后剩蝕刻：通過化學蝕刻液，將未被光刻膠圖形保護區(qū)域的金屬膜蝕刻反應去液中對金材料進行蝕刻，再將石英片浸入硝酸-鎳蝕刻液中對鎳材料進行蝕刻，蝕刻后使用純水對石英片進行清洗。硝酸-鎳蝕刻液、清洗廢水通過專用管道排材Ni+4HNO3=Ni(NO3)2+H2O，2Au+2KI+I2=2K[AuI2]。-40-鉻+銀電極(鉻為底層材料、銀為頂層材料)：將石英片浸入硝酸-銀蝕刻液中刻，蝕刻后使用純水對石英片進行清洗。硝酸\硝酸鈰銨-鉻蝕刻液、清洗廢水通過專用管道排入重金屬處理設備中，硝酸-銀蝕刻液通過廢液回收桶收集，外送3Ce(NH4)2(NO3)6+Cr=Cr(NO3)3+3Ce(NH4)2(NO3)5Ag+2HNO3=AgNO3+NO2+H2O去膠：將石英片浸泡在氫氧化鈉堿性去膠液中，光刻膠與氫氧化鈉反應溶鈉。氫氧化鈉去膠液通過管道輸送至污水處理站進行酸堿中合處理，清洗廢液(4)鉭酸鋰聲表晶片清洗→分檢”，其中()內(nèi)工藝外協(xié)。其工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)如圖所示。原輔料[機臺]工藝過程產(chǎn)污棒↓(委外加工)↓粘棒(委外加工)↓(委外加工)↓4倒邊(委外加工)↓(委外加工)升溫保溫-41-5.3降溫↓研磨→→研磨→漿→磷酸[超聲波清洗機]→清洗→→↓腐蝕硝酸[腐蝕機]→1腐蝕→酸→2清洗→↓硅溶膠拋光液[拋光機]→→→粉[超聲波清洗→→→水→↓清洗→→1酸洗→酸→→水→堿洗→氨氣、堿性氧化性廢水↓→→↓包材包材[真空包裝機]→11包裝入庫粘棒(本工序外協(xié))：根據(jù)工藝角度的要求，使用厭氧膠把晶棒粘到料板合格的晶片切片(本工序外協(xié))：使用切割機、采用煤油、潤滑油和硅砂配置成的切割倒邊(本工序外協(xié))：將晶圓邊緣進行倒邊處理使晶片邊緣呈弧形；黑化(本工序外協(xié))：主要工序包括升溫、保溫和降溫三個步驟。升溫：將-42-比為40kg:1.5kg：0.5L(0.4kg)：120L(120kg)，三乙醇胺質(zhì)量占比僅0.25%，；最終清洗：通過低濃度酸性清洗液及低濃度堿性清洗液對晶圓進行清洗，4、現(xiàn)有工程污染物排放及治理(1)廢水污染物的排放及治理運營期生產(chǎn)廢水主要包括含氟廢水、含磷研磨廢水、含氨廢水、酸堿廢水、重金屬廢水、公用輔助設施排水(純水制備排污水、常溫循環(huán)冷卻塔排污水、工藝設備冷卻排污水)等。生活污水主要為員工辦公生活用水。①含氟廢水：此股廢水主要源自石英晶片腐蝕清洗和鉭酸鋰晶片腐蝕清洗、研磨后清洗和最終酸洗以及含氟酸堿廢氣噴淋洗滌廢水，主要污染物為氟化物、磷酸鹽、氨氮，廢水量約33.9m3/d，排入污水處理站含氟廢水處理系統(tǒng)產(chǎn)生量約47.9m3/d，氟化銨腐蝕清洗廢水經(jīng)含氟廢水處理系統(tǒng)除氟后與顯影廢水和鉭酸鋰晶片最終堿洗廢水一并排入污水處理站含氨廢水處理系統(tǒng)除氨脫氮③酸堿廢水：此股廢水主要源自石英晶片液堿腐蝕、石英晶片前處理清洗(使用鹽酸和堿性清洗劑)、鉭酸鋰晶片拋光清洗和NaOH去膠，主要污染物為-43-④重金屬廢水：此類廢水主要包括含鉻廢水、含鎳廢水、含金廢水、含銀廢水，其中含鉻廢水源自鉻蝕刻去膜清洗，廢水量約1.5m3/d，主要污染物為鉻；含鎳廢水源自鎳蝕刻清洗，廢水量約0.6m3/d，主要污染物為鎳；含金廢水源自蝕刻去膜清洗、廢水量約0.3m3/d，主要污染物為金；含銀廢水源自蝕刻清MVR處理系統(tǒng)零排放處理；含金(銀)蝕刻槽液、蝕刻清洗廢水直接桶裝收集⑤公用輔助設施排水：此類廢水主要包括純水制備排污水、常溫循環(huán)冷卻塔排污水、工藝設備冷卻排污水，循環(huán)冷卻系統(tǒng)添加無磷阻垢劑，此類廢水主要污染物為濃縮鹽水和懸浮物，廢水量約50.9m3/d，部分純水制備排污水回用于廢氣噴淋洗滌，剩余排入污水處理站最終中和處理系統(tǒng)；其他廢水直接經(jīng)企含氟廢水進入含氟廢水處理系統(tǒng)經(jīng)投加氫氧化鈣化學混凝沉淀除氟處理后與其他含氨廢水一并進入含氨廢水處理系統(tǒng)采用“銨離子吸附+生化處理”工藝上述各廢水處理系統(tǒng)出水與其他酸堿廢水匯入現(xiàn)有最終中和處理系統(tǒng)采用化糞池預處理?！?GB8978-1996)三級標準，其中氨氮、總磷達到《污水排入城鎮(zhèn)下水道水質(zhì)標準》(GB/T31962-2015)后，由公司廢水總排口進入市政污水管網(wǎng)，經(jīng)合作污水處理廠進一步處理后排入清水-44-根據(jù)建設單位委托四川凱樂檢測技術(shù)有限公司進行的廢水例行檢測報告(凱樂檢字(2022)第031256W號)，檢測結(jié)果見下表。位HBOD5NH3-N22.3.316.70GBT中B級標準限值，其余指標均低于《污水綜合排放標準》(GB8978-1996)表4中三級標準限值。(2)廢氣污染物的排放及治理現(xiàn)有工程廢氣主要有含氟工藝廢氣、含氨工藝尾氣、酸性廢氣(主要為氯化氫、氮氧化物)、堿性廢氣(主要為氨)、有機廢氣(包括涂膠、前烘、后烘、堅膜廢氣)、實驗室廢氣(氟化物、氮氧化物)、氯化氫)、污水處理酸堿惡臭廢氣(氨、硫化氫)。廢氣來源、主要污染物及采取的治理措施如表所示。物堿腐蝕洗機、+酸液噴淋+TMAH顯影氨刻刻膠閉集氣閉集氣VOCs氣(包括涂膠、鉭酸鋰鉭酸鋰晶片腐蝕氟化氫、氮氧與最終酸洗化物+酸液噴淋氨片最終氨片最終氣抽排DA抽排理系統(tǒng)氟化物池體加蓋負壓集氣氟化物池體加蓋負壓集氣-45-氣理系統(tǒng)壓集氣性炭。爐物/24米高DA007排氣筒排放MVR發(fā)冷凝物表晶片產(chǎn)線根據(jù)建設單位委托四川凱樂檢測技術(shù)有限公司進行的廢氣例行檢測報告(凱樂檢字(2022)第020660W號)，檢測結(jié)果見下表。源h間2.2.17物mgm329026×4.9×.79×/mgm326×59×.10×/NOXmgm3/級物mgm3NOXmgm340物mgm3氫mgm3NOXmgm340物mgm3氫mgm309×NOXmgm340烴mgm384×64×源2.2.17氨mgm3/-46-間02×05×9氨mgm3/9站氫mgm3/08×08×氨mgm3/9綱161600《成都市鍋爐大氣污染物排放標準》(DB51/2672-2020)表2中高污染物燃料禁臭污染物排放標準》(GB14554-93)表2中標準限值；氟化物、氯化氫、氮氧化物符合《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996)表2中二級標準限值； (DB51/2377-2017)表3中的標準限值。(3)噪聲排放及治理現(xiàn)有工程運營期噪聲主要來自光刻機、蝕刻機、研磨機、清洗機、制水系統(tǒng)、空壓系統(tǒng)、廢氣處理系統(tǒng)、污水處理站等機泵設備噪聲，噪聲級在統(tǒng)2114機泵2站-47-通過項目設備的合理布置，使項目的產(chǎn)噪設備布置于車間內(nèi)并盡可能布設在車間中部，最大限度降低本項目噪聲對周邊影響。選用低噪聲設備等。采取聲學控制措施，如對聲源采用消聲、隔聲、隔振和減振等措施。維持設備處于聲措施：公司根據(jù)周邊外環(huán)境關系，制定合理的工作方案，在廠界四周墻內(nèi)種植常綠防護樹林，減少車間噪聲對聲環(huán)境的影響；制定噪聲監(jiān)測方案，并對降噪減監(jiān)測結(jié)果[dB(A)]結(jié)果(GB3096-2008)3類標準，區(qū)域聲環(huán)境質(zhì)量良好。(4)固廢產(chǎn)生及治理(t/a)1川藍環(huán)保科技有限-48-23456789換樹脂廢液和濾渣廢液和濾渣及其包裝桶水水及其包裝桶險3樣品材片1險廢物的廢2站收購5源環(huán)?？萍加邢蘩砦勰嘤盟A處理系統(tǒng)料資源他由環(huán)衛(wèi)部門清運2.75運(5)現(xiàn)有工程地下水污染防治措施。現(xiàn)有工程將全廠按物料或者污染物泄漏的途徑和生產(chǎn)功能單元所處的位置油庫(機油、切割油等油類物質(zhì))、危險廢物暫存間、污水處理站。-49-HDPE用“防滲鋼筋混凝s采取的防滲措施坪地面cms池混凝土硬化地面HDPE滲土cms站HDPE滲土HDPE滲土工膜 HDPE滲土(6)現(xiàn)有工程衛(wèi)生防護距離放處理系統(tǒng))外100米衛(wèi)成的包絡線。經(jīng)現(xiàn)場踏勘，目前(7)現(xiàn)有工程污染物總量控制指標根據(jù)現(xiàn)有工程環(huán)境影響評價報告及批復，現(xiàn)有工程總量控制指標如下表所-50-稱現(xiàn)有工程污染物排放總量排入污水處理廠清水河a6.875NH3-Na.2191a07a9NOx4a9機物a(8)現(xiàn)有工程存在的問題與“以新帶老”措施，現(xiàn)有工程未發(fā)現(xiàn)重大環(huán)境遺留問題，。完成現(xiàn)有工程二期項目的驗收手續(xù)。-51-三、區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀、環(huán)境保護目標及評價標準(1)項目所在區(qū)域達標判斷響評價導則大氣環(huán)境》 方生態(tài)環(huán)境主管部門公布的評價基準年(近3年中1個完整日歷年)環(huán)境質(zhì)量公良物指標(ug/m3)標準值(ug/m3)PM2.5度PM10度度6NO2度000O數(shù) -52-(2)區(qū)域環(huán)境質(zhì)量達標規(guī)劃根據(jù)2018年9月成都市人民政府發(fā)布的《成都市空氣質(zhì)量達標規(guī)劃 染，實施空氣質(zhì)量全面達標戰(zhàn)略。一是通過升級產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)、優(yōu)化空間布局、調(diào)整能源結(jié)構(gòu)、推行清潔生產(chǎn)、引導綠色生活，加強大氣污染源頭控制；二是以工業(yè)布局與產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)；②提高清潔能源利用比重；③OCs染整治；⑦全面推進其他面源污染治理；⑧加強重污染天氣污染聯(lián)防聯(lián)控機制；⑩加強環(huán)保能力建設等措施。達標期物濃度穩(wěn)定達到國家環(huán)境空氣質(zhì)量二級標準，全面消除重(3)補充監(jiān)測-53-率氨、硫酸霧、TVOC環(huán)境評價執(zhí)行標準為《環(huán)境影響評價技術(shù)導則大氣環(huán)境》 (HJ2.2-2018)中附錄D，氟化物執(zhí)行《環(huán)境空氣質(zhì)量標準》(GB3095-2012)中二級標準。位子采樣日期及結(jié)果514441氨.0005.0005.0005.005.005.005大氣環(huán)境》(HJ2.2-2018)中附錄D標準，氟化物滿足《環(huán)境空氣質(zhì)量標準》(GB3095-2012)中二級標準，說明區(qū)域環(huán)境空氣質(zhì)量較好。(1)區(qū)域污染源調(diào)查活污后達《污水綜合排放標準》(GB8978-1996)三級標準后排入市政污水管網(wǎng)，經(jīng)-54-準》(DB51/2311-2016)規(guī)定限值后排入清水河，屬于間接排放，根據(jù)《環(huán)境影響評價技術(shù)導則地表水環(huán)境》(HJ2.3-2018)，評價等級為三級B，可不開展區(qū)(2)水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀調(diào)查019年成都市郫都區(qū)環(huán)境質(zhì)量公報》 httpwwwpidugovcnpiduc/2020-06/09/content_e96d98ebd39a443396c3c個市控地表水斷面(清水河-永寧斷面、府河-石堤堰斷面、府河-羅家村斷面)實到劃定的《地表水環(huán)境質(zhì)量標準(GB3838-2002)》Ⅲ類水域標準。為了解區(qū)域聲環(huán)境現(xiàn)狀，本次環(huán)評委托達州恒福環(huán)境監(jiān)測服務有限公司于(1)聲環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測執(zhí)行《聲環(huán)境質(zhì)量標準》(GB3096-2008)3類標準。-55-監(jiān)測結(jié)果[dB(A)]結(jié)果(GB3096-2008)3類標準，區(qū)域聲環(huán)境質(zhì)量良好。4、地下水質(zhì)量現(xiàn)狀5、土壤環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀根據(jù)《建設項目環(huán)境影響報告表編制技術(shù)指南(污染影響類)》(試行)的鉻(六價)、鎳、銀、間二甲苯+對二附近、1,1-二氯乙、三氯乙烯、1,2,3-三氯丙烷、氯乙烯、苯、氯苯、苯+對二甲苯、鄰二-56-a并[b]熒蒽、苯并[k]附近鉻(六價)、鎳、銀、間二甲苯+對二注：同時作為表層樣點及柱狀樣點的點位表層樣采樣深度監(jiān)測時間、點位及結(jié)果1#表層樣(20cm)層樣(20cm)3#表層樣(20cm)砷g//7//kg鎘g//4//kgg555銅g//2//鉛g//9//汞g//63//gkg鎳g//3//銀g/////g////g//E6//烯g//E6//g////g////烷g//E//9g////g////g//E7//g//21E-04//8苯g//75E-04//4烷g////5-57-g////8烷g////5g////g////8g////g//22E-06//0g//E//g////苯ggEE7g//264E-07//g////g////g//E//g////g//E5//0kgg////56kgg////kg萘g//E//kgg//E//?g//E//蒽g//67//蒽g//03//g//33//芘g//33//g//33//Si土壤污染風險管控標準(試行)》(GB36600-2018)第二類用地篩選值根據(jù)引用監(jiān)測評價結(jié)果表明，項目所在區(qū)域土壤各監(jiān)測指標均低于《土壤環(huán)境質(zhì)量建設用地土壤環(huán)境污染風險管控標準(試行)(GB36600-2018)》中風-58-險篩選值(第二類用地)，表明項目所在區(qū)土壤環(huán)境質(zhì)量較好。珍稀植物，無文物古跡等需要特殊保護的目標。環(huán)境保護目標廠位于成都電子信息產(chǎn)業(yè)功能區(qū)，項目外環(huán)境關系情況見附圖。經(jīng)現(xiàn)場m保護區(qū)、風景名勝區(qū)、居住區(qū)、文化區(qū)和農(nóng)村地區(qū)中人群較集中的區(qū)域，應符合《環(huán)境空氣質(zhì)量標準》(GB3095-2012)二級標準。地表水環(huán)境本項目地表水環(huán)境保護目標為項目廢水受納水體清水河，應符合《地表水環(huán)境質(zhì)量標準》(GB3838-2002)III類水域標準。3、地下水環(huán)境聲環(huán)境合《聲環(huán)境質(zhì)量標準》(GB3096-2008)中3類標準。-59-環(huán)境/mm內(nèi)無大氣環(huán)境保護目標(GB9035-2012)二類m環(huán)境保護目標(GB3096-2008)3類(GB3838-2002)III類污染物排放控制標準排放標準》(GB8978-1996)三級標準，其中氨氮、總磷、總氮執(zhí)行《污水排入城鎮(zhèn)下水道水質(zhì)標準》(GB/T31962-2015)。目值污染物排放監(jiān)控位置1234567pH值0889設施排放口2、廢氣：施工期揚塵執(zhí)行《四川省施工場地揚塵排放標準》(DB51/2682-2020)稱階段點污染物值準方mgm(DB51/2682-2020)表1標準限值mgm3-60-營運期項目氟化物、H2SO4、NOX執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996)二級標準。排放濃度(mg/m3)最高允許排放速率(kg/h)排放度限值(mg/m3)排氣筒高度(m)9NOX04營運期項目惡臭污染物氨、臭氣濃度執(zhí)行《惡臭污染物排放標準》(GB14544-93)。項目惡臭污染物排放標準值惡臭污染物廠界標準濃度(mg/m3)氨90(無量綱)營運期熱水鍋爐燃氣煙氣執(zhí)行《成都市鍋爐大氣污染物排放標準》(DB51/2672-2020)表2標準。料禁燃區(qū)內(nèi)污染物排放監(jiān)控位置物煙氣黑度(格林曼黑度，級)營運期執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》(GB12348-2008)3類標準。施工期排放標準[dB(A)]放標準[dB(A)]行《中華人民共和國固體廢棄物污染環(huán)境防治法》的相關規(guī)定，危險廢物貯存、處置執(zhí)行《危險廢物貯存污染控制標準》(GB18597-2001)標準及2013年修改-61-總量控制指標預測排放量(污水站+預處理池處理后)：CODma500mg/L/106=21.3t/a，0m3/a×45mg/L/106=1.917t/a，mamgL/106=0.3408t/a；核定排放量(三級標準)：CODma00mg/L/106=21.3t/a，m3/a×45mg/L/106=1.917t/a，mamgL/106=0.3408t/a；排入環(huán)境的量(成都市合作污水處理廠處理后)：CODm/a×30mg/L/106=1.278t/a，0m3/a×1.5mg/L/106=0.0639t/a，ma×0.3mg/L/106=0.0128t/a。稱有工程污染物排放總量項目污染物排擴建后全廠污染放總量污水廠水河a6.875.35NH3-Na.21913949a07082898物a909NOxa4a909VOCsa0-62-施工期環(huán)境保護措施施工期大氣污染物治理環(huán)保措施(1)施工揚塵技術(shù)規(guī)范》(HJ/T393-2007)、《成都市城鄉(xiāng)建設委員會關于建筑工地推行綠色空氣質(zhì)量達標規(guī)劃(2018-2027年)》(成府函〔2018〕120號)、《關于印發(fā)四川省建筑工程揚塵污染防治技術(shù)導則(試行)的通知》(川建發(fā)〔2019〕16號)以下?lián)P塵防治措施：水，②施工車輛實施限速管理，運輸車輛做到卸(裝)貨即走，裝卸設備時輕拿采取上述措施后，可確保施工場地揚塵達到《四川省施工場地揚塵排放標準》 (DB51/2682-2020)中相關限值要求。(2)施工廢氣總局頒布的《室內(nèi)裝修材料10項有害 2、施工期廢水處理環(huán)保措施-63-3、施工期噪聲環(huán)保措施(1)施工噪聲車間改造過程使用的機械(如電鉆、手工鉆等)噪聲值在75dB(A)以上，定期對設備進行檢修，降低噪聲的排放。運間，加快施工進度，縮短施工周期。(2)設備調(diào)試噪聲4、施工期固體廢物環(huán)保措施項目施工期固體廢棄物主要包括施工人員生活垃圾和裝修垃圾(主要為設備包裝材料)。；裝修過程產(chǎn)生的危險廢物(廢油漆桶、廢乳-64-運營期環(huán)境影響和保護措施產(chǎn)產(chǎn)生量染廢氣收集理產(chǎn)產(chǎn)生量染廢氣收集理處理效排氣排放量排放速排放濃度排放速排放濃度污(t/a)因裝置裝率筒(t/a)率(kg/h)(mg/m3)子置硝酸、硫酸和氨水，其中氫氟酸和硝酸用根據(jù)業(yè)主提供資料，本項目主要涉及易揮發(fā)酸堿類原輔料年用量：氫氟酸(23t/a)、濃硝酸(46t/a)、硫酸(8t/a)和氨水(20t/a)。氨水(30%)試劑揮發(fā)率取10%計，硫酸(98%)由于不易揮發(fā)，本項目取揮發(fā)霧(0.08t/a)、氨氣(0.6t/a)。本項目廢氣經(jīng)設備槽體加蓋負壓密閉集氣(集氣效率100%)，經(jīng)管道進入 項目廢氣經(jīng)處理后排放量為氟化物(0.113t/a)、NOX(0.228t/a)、硫酸酸霧 (0.008t/a)、氨氣(0.12t/a)，項目設備每天工作時間按24h、7200h/a，廢氣處理系統(tǒng)設計風量為25000m3/h，則廢氣排放速率為氟化物(0.016kg/h)、NOX (0.032kg/h)、硫酸酸霧(0.001kg/h)、氨氣(0.017kg/h)，廢氣排放濃度為氟硫酸酸霧：45mg/m3、氨氣：1.5mg/m3)，因此，采取上述措施后項目廢氣可實組織排放情況準污處-65-車間外25000m3/h率DA0928NOX069(2)監(jiān)測要求源準織DA09酸霧、NOX準》(GB16297-1996)氨織氨酸霧、NOX準》(GB16297-1996)(3)影響分析區(qū)域環(huán)境空氣中的SO2、NO2、CO、PM10濃度達到《環(huán)境空氣質(zhì)量標準》 民政府發(fā)布的《成都市空氣質(zhì)量達標規(guī)劃(2018-2027年)》(成府函【2018】-66-廢氣經(jīng)設備槽體加蓋負壓密閉集氣(集氣效率100%)，經(jīng)管道進入廢氣凈化系統(tǒng)采用“二級堿液噴淋”處理工藝，最后經(jīng)一根新建的15m高排氣筒 (DA009)，項目廢氣經(jīng)處理后排放量為氟化物(0.113t/a)、NOX(0.228t/a)、硫酸酸霧(0.008t/a)、氨氣(0.12t/a)。廢氣排放能夠滿足《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996)標準和《惡臭污染物排放標準》(GB14554-93)限值H量標準》(GB3095-2012)中二級標準；區(qū)域環(huán)境空氣質(zhì)量較好。運營期廢水-67-本項目廢水包括生產(chǎn)廢水和生活污水，其中生產(chǎn)廢水主要來自腐蝕清洗廢(1)產(chǎn)生情況水洗和工器具的清洗。微電子級石英晶片基本采用晶片清洗同樣的方法。清洗過程清洗水回收系統(tǒng)廢液收集系統(tǒng)清洗廢水及清洗廢氣產(chǎn)生。經(jīng)多次清洗后。其中前段清洗廢水進入廢水處理系24萬片/年，現(xiàn)有工-68-酸鋰聲表晶片生產(chǎn)線清洗廢水產(chǎn)生量為腐蝕清洗廢水210m3/a，拋光清洗廢水此不考慮廢水損耗。塔廢水一次換水，換水量約為4m3/次(48m3/a)，噴淋塔損耗主要為蒸發(fā)損耗，排水系和處理系統(tǒng)后排放。污水d純水制備廢水項目生產(chǎn)用水使用純水，純水制備效率約65%，本項目純水用量為-69-新鮮水酸洗堿洗43.7547.587中和處理系統(tǒng)濃水損耗1.0355.8656.9生活用水企業(yè)總排口 5.865清水河26.25含氟廢水處理系統(tǒng)含氨廢水處理系統(tǒng)噴淋塔用水142損耗0.016酸洗堿洗43.7547.587中和處理系統(tǒng)濃水損耗1.0355.8656.9生活用水企業(yè)總排口 5.865清水河26.25含氟廢水處理系統(tǒng)含氨廢水處理系統(tǒng)噴淋塔用水142腐腐蝕清洗135.96288.375拋光清洗12.25純水制備純水 拋光清洗12.25純水制備純水44.62544.76988.519隔隔油池+預處理池合合作污水處理廠(2)治理措施本項目生產(chǎn)廢水依托廠區(qū)現(xiàn)有的廢水處理系統(tǒng)(含氟廢水處理系統(tǒng)、含氨廢。外排廢水處理達到《污水綜合排放標準》(GB8978-1996)三級標準，其中氨氮、總磷達到《污水排入城鎮(zhèn)下水道中工業(yè)園區(qū)集中式污水處理廠排放標準)后，最終排入清水河。“銨離子吸附+生化處理”工藝，其中銨離子吸附-70-石法。學名為磷酸銨鎂(MgNH4PO4·6H2O)，英文簡稱MAP，白色粉末無機晶PO活度積大于鳥糞石的溶度積時(鳥糞石的溶度積常數(shù)為3.89×10-10~7.08×10-14)，-71-淀反應器pH回調(diào)池池脫氟后的原水經(jīng)提升泵進入銨離子吸附沉淀反應器，加到高液位時停止加。銨離子反應器為2套，批次交替運行，出水進入pH回調(diào)池，調(diào)節(jié)pH值至分難降解的高分子有機物在厭氧菌/兼性菌的作用下降解為低分子有機物；然后自流到接觸氧化池，池內(nèi)懸掛大量的纖維填料，填料表面附著大量的微生物，-72-在提供充足氧氣的條件下氧化對廢水中的有機物和剩余的磷酸鹽進行去除。老化的生物膜從填料脫落下來，隨水流入混凝反應池，在混凝反應溝中，通過投加混凝劑、絮凝劑，使廢水的污染物質(zhì)形成較易沉降的絮體，并在二沉池中實現(xiàn)固液分離，出水經(jīng)排放口達標排放，若出水不達標則進入應急水池，再提升銨離子吸附沉淀反應器產(chǎn)生的污泥通過壓濾機直接壓濾，結(jié)晶體可作為肥料處理，二沉池產(chǎn)生的污泥排入污泥濃縮池進行濃縮，提高污泥的含固率，使污泥含水率低于95％。污泥經(jīng)濃縮后進入污泥脫水間進行機械脫水，產(chǎn)生的泥廢水量主要處理前處理后綜合處理廢水量主要m3/d污染物廢水類別排放量排放濃度排放量m3/d污染物 kg/dmg/Lkg/dmg/L%pH*4~56~9/COD6.7151506.7151500.00%BOD52.238502.238500.00%44.769NH3-N59.72133459.7213340.00%總氮61.38137161.3813710.00%氟化物157.4535170.811899.50% SS4.4771002.2395050.00%pH*7~106~9/COD35.4140013.2815062.50%BOD522.132508.85210060.00%88.519NH3-N93.3910553.7184296.00%總氮95.6910814.7805495.00%氟化物1.151131.151130.00% SS4.426504.426500.00%pH*7~116~9/COD34.0325034.032500.00%BOD513.6110013.611000.00%136.106中和沉淀NH3-N3.63426.73.63426.70.00%136.106處理系統(tǒng)總磷0.1771.30.1771.30.00%總氮4.66834.34.66834.30.00%氟化物1.08981.08980.00% SS14.92003.75075.00%pH*6~96~9/-73-639063900%BOD50%NH3-N770%95950%220%0%現(xiàn)有項目企業(yè)廢水總排口2022年度例行監(jiān)測數(shù)據(jù)見表2-10。由表可知，成都泰美克企業(yè)廢水總排口主要水污染物排放濃度均滿足《污水綜合排放標準》 (GB8978-1996)三級標準，氨氮、總磷均達到《污水排入城鎮(zhèn)下水道水質(zhì)標準》 (GB/T31962-2015)，現(xiàn)有工程廢水處理措施可行，能夠達標排放。別排放口基本情況準標等DW01口105′′放鎮(zhèn)GBT-2015)(3)合作污水處理廠簡介污水處理廠的服務范圍包括郫都區(qū)郫筒鎮(zhèn)城區(qū)(生活污水)、成都現(xiàn)代工業(yè)港(含南北片區(qū)及拓展區(qū)，以生活污水為主，少量生產(chǎn)廢水)、紅光片區(qū)(生活污水)、德源鎮(zhèn)、友愛鎮(zhèn)、花園鎮(zhèn)等(生活污水)；高新西區(qū)西部園區(qū)(繞城以外，生產(chǎn)廢水、生活污水)、5+2園區(qū)(生產(chǎn)廢水、生活污水)等。詳見下表。表廢水來源(收水范圍)1區(qū)2期廢水來源主要集中于北片區(qū)，少量南片區(qū)(生活污水)北區(qū)高新西區(qū)西北片區(qū)(繞城外)德源鎮(zhèn)2廢水依托園區(qū)市政管網(wǎng)收集至處理廠，達標排放區(qū)郫都區(qū)新經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)園(規(guī)劃)區(qū)以及南片區(qū)其他排水-74-本項目廢水進入合作污水處理廠三期工程進行處理。目前，成都合作污水①成都合作污水處理廠一期、二期工程水達《四川省岷江、沱江流域水污染物排放標準》(DB51/2311-2016)中“工業(yè)河。②成都合作污水處理廠三期工程三期工程與一期、二期進水共用一根管道，采用“收集、預處理→水解酸江、沱江流域水污染物排放標準》(DB51/2311-2016)中“工業(yè)園區(qū)集中式污水(4)廢水納管可行性分析項目廢水在廠區(qū)廢水總排口達到《污水綜合排放標準》(GB8978-1996)三級標準(其中氨氮、總氮、總磷達到《污水排入城鎮(zhèn)下水道水質(zhì)標準》(GB/T5)B等級標準限值)，能滿足進入合作污水處理廠管網(wǎng)接管水質(zhì)的要析管網(wǎng)建設情況該范圍內(nèi)的高新區(qū)西部園區(qū)企業(yè)生產(chǎn)廢處理廠進一步-75-綜上所述，成都市合作污水處理廠滿足本項目水量水質(zhì)處理要求。(5)監(jiān)測要求準口DW01總銅、總鋅、總氰(GB18978-1996)中的三級3、營運期噪聲(1)噪聲源強機、制水系統(tǒng)、空壓與廠界距離(m)ENW統(tǒng)2114機泵2