TP原理及制作流程講義課件

TP原理及制作流程

2010.3.9TP原理及制作流程講義課件1目錄觸摸屏的應(yīng)用觸摸屏分類觸摸屏工作原理電容式觸摸屏制作流程目錄觸摸屏的應(yīng)用2觸摸屏的應(yīng)用觸摸屏的應(yīng)用3觸摸屏的應(yīng)用

iPad觸摸屏的應(yīng)用4觸摸屏的應(yīng)用

Ophone諾基亞X6觸摸屏的應(yīng)用Ophone5觸摸屏的應(yīng)用

iPodtouchDigitalCameras觸摸屏的應(yīng)用iPodtouch6觸摸屏分類觸摸屏分類7觸摸屏的分類按照觸摸屏的工作原理和傳輸信息的介質(zhì)，我們把觸摸屏分為四種。電阻式、電容感應(yīng)式、紅外線式以及表面聲波式。觸摸屏的分類按照觸摸屏的工作原理和傳輸信息的介8應(yīng)用領(lǐng)域音波式和紅外式觸摸屏因分辨率較低，成本高，只能適用于大屏應(yīng)用領(lǐng)域音波式和紅外式觸摸屏因分辨率較低，成本高，只能適用于9觸摸屏工作原理觸摸屏工作原理10工作原理觸摸屏由觸摸檢測部件和觸摸屏控制器組成；觸摸檢測部件安裝在顯示器屏幕前面，用于檢測用戶觸摸位置，接受后送觸摸屏控制器；而觸摸屏控制器的主要作用是從觸摸點(diǎn)檢測裝置上接收觸摸信息，并將它轉(zhuǎn)換成觸點(diǎn)坐標(biāo)，再送給CPU，它同時能接收CPU發(fā)來的命令并加以執(zhí)行；工作原理觸摸屏由觸摸檢測部件和觸摸屏控制器組成；11工作原理—電阻式

基層是玻璃或有機(jī)玻璃構(gòu)成的，最上面是一層外表面經(jīng)過硬化處理從而光滑防刮的塑料層，中間是兩層金屬導(dǎo)電層，分別在基層之上和塑料層內(nèi)表面，在兩導(dǎo)電層之間有許多細(xì)小的透明隔離點(diǎn)把它們隔開。當(dāng)手指觸摸屏幕時，兩導(dǎo)電層在觸摸點(diǎn)處接觸。工作原理—電阻式12工作原理—電阻式工作原理：電阻觸摸屏的屏體部分是一塊與顯示器表面相匹配的多層復(fù)合薄膜，由一層玻璃或有機(jī)玻璃作為基層，表面涂有一層透明的導(dǎo)電層，上面再蓋有一層外表面硬化處理、光滑防刮的塑料層，它的內(nèi)表面也涂有一層透明導(dǎo)電層，在兩層導(dǎo)電層之間有許多細(xì)小(小于千分之一英寸)的透明隔離點(diǎn)把它們隔開絕緣。當(dāng)手指觸摸屏幕時，平常相互絕緣的兩層導(dǎo)電層就在觸摸點(diǎn)位置有了一個接觸，因其中一面導(dǎo)電層接通Y軸方向的5V均勻電壓場，使得偵測層的電壓由零變?yōu)榉橇?，這種接通狀態(tài)被控制器偵測到后，進(jìn)行A／D轉(zhuǎn)換，并將得到的電壓值與5V相比即可得到觸摸點(diǎn)的Y軸坐標(biāo)，同理得出X軸的坐標(biāo)。工作原理—電阻式工作原理：電阻觸摸屏的屏體部13工作原理—電容式

如圖，當(dāng)手指觸摸在金屬層上時，由于人體電場，用戶和觸摸屏表面形成以一個耦合電容，對于高頻電流來說，電容是直接導(dǎo)體，于是手指從接觸點(diǎn)吸走一個很小的電流。這個電流分從觸摸屏的四角上的電極中流出，并且流經(jīng)這四個電極的電流與手指到四角的距離成正比，控制器通過對這四個電流比例的精確計算，得出觸摸點(diǎn)的位置。工作原理—電容式如圖，當(dāng)手指觸摸在金屬層上時，14工作原理—電容式手指接觸觸控面板時從四個角落傳到接觸點(diǎn)的微量電流被帶走產(chǎn)生壓降控制器由接觸點(diǎn)壓降程度計算出X/Y座標(biāo)位置再傳給電腦主機(jī)在觸控面板角落加入小量電壓在觸控面板角落加入小量電壓在觸控面板角落加入小量電壓在觸控面板角落加入小量電壓I1I2I3I4I1+I2+I3+I4I1+I2Vx=VI1+I2+I3+I4I2+I4Vy=V工作原理—電容式手指接觸觸控面板時從四個角落傳到接觸點(diǎn)的微量15電容觸摸屏的優(yōu)點(diǎn)■電容式觸控只要用手指輕觸不需靠觸控筆，電阻式觸控需要施壓力觸控。

■電容式觸控可進(jìn)行多指觸控，電阻式觸控只能單指觸控。

■電容式觸控比電阻式觸控分辨率高、透光率更佳。

■電容式觸控采用玻璃，因此較采用塑料外層的電阻式觸控防火、防刮、防污塵、防靜電、且無需校正、使用壽命也比較長。電容觸摸屏的缺點(diǎn)■精度不高。由于技術(shù)原因，電容式觸摸屏的精度比起電阻式觸摸屏還有所欠缺。

■易受環(huán)境影響。溫度和濕度等環(huán)境因素發(fā)生改變時，也會引起電容式觸摸屏的不穩(wěn)定甚至漂移。

■成本偏高。電容觸摸屏的優(yōu)點(diǎn)電容觸摸屏的缺點(diǎn)16電阻式和電容式觸摸屏的原理結(jié)構(gòu)都講完了，我們其中很多人也在使用觸摸屏手機(jī)。問：如果你去商場買手機(jī)，當(dāng)拿到一部觸摸屏手機(jī)后你如何區(qū)分它是電阻式還是電容式觸摸屏手機(jī)？答：……電阻式和電容式觸摸屏的原理結(jié)構(gòu)都講完了，我們其中很多人也在使17電容式觸摸屏制作流程電容式觸摸屏制作流程18BMBMRawglassProtectlayerITO1POCMetaltraceOCALCDFPCITO2RearsideITOOCACGAFACFOCA電容式觸摸屏結(jié)構(gòu)BMBMRawglassProtectlayerITO119電容式觸摸屏生產(chǎn)流程BONDINGLAMINATIONPhoto/EtchCGMACHININGCuttingGrindingCNCRaw

glassSlotpolishLappingSurfacepolishEdge

polishInkprintingRawglass0.55mmITO1Photo/EtchSiO2sputterisolationlayerMetalSputterConductlayerITO1sputterSiO2Photo/EtchITO2sputterITO2Photo/EtchMetalPhoto/EtchLasercuttingProtectiveLayCoatingMetalSputterMetaltraceUltrasoniccleanOpen/ShorttestAFcoatingOCA+ITOglassLamination（doubleside)LCM+ITOglass

LaminationAutoclaveCGlaminationFlexbondingDoubleside

OCAcuttingOpen/shorttestCGlaminationAutoclaveFunctiontestProtectivefilmlaminationpackaging電容式觸摸屏生產(chǎn)流程BONDINGLAMINATIONPho20ITOsensor1、ITO：是一種N型氧化物半導(dǎo)體-氧化銦錫,ITO薄膜即銦錫氧化物半導(dǎo)體透明導(dǎo)電膜,通常有兩個性能指標(biāo):電阻率和透過率.ITOsensor1、ITO：是一種N型氧化物半導(dǎo)體-氧21ITOPanel圖案簡介ITOPanel圖案簡介22

ITOPanel圖案簡介金屬導(dǎo)線疊層結(jié)構(gòu)如上圖，1、相對單層ITO，因要求線電阻為24±5千歐，故疊層處ITO的寬度及厚度必須嚴(yán)格符合標(biāo)準(zhǔn)。一般要求寬度為0.03mm；厚度為150A。2、疊層處：要求當(dāng)觸摸時，兩層ITO均發(fā)生電流變化，但又不互相影響，故必須要求絕緣性佳。如上圖，因要保證電容變化主要由ITO決定，故連接導(dǎo)線需要求電阻遠(yuǎn)小于ITO。一般地，導(dǎo)線多采用Al線。ITOPanel圖案簡介金屬導(dǎo)線疊層結(jié)構(gòu)如上圖，如上圖23

ITOPanel圖案簡介EquipmentEtchingLineUtilityPhotoLineSputteringlineITOPanel圖案簡介EquipmentEtchin24LOADCLEANERSPINCOATERUNLOADEXPOSUREDEVELOPPRE-BAKELOADUNLOADCLEANEREXPOSUREDEVELOPROLLERCOATERLOADUNLOADCLEANERROLLERCOATERPRE-BAKELOADUNLOADETCHINGSTRIPLOADUNLOADETCHINGSTRIP金屬鍍膜線(4MF+6DC)電梯I-LINEJ-LINEF-LINEL-LINE蝕刻線區(qū)域K-LINEPOSTBAKE隧道式烤爐配膠房4F設(shè)備平面布置圖LOADCLEANERSPINCOATERUNLOADEX25工藝流程紫外線照射Mask玻璃基板玻璃基板玻璃基板玻璃基板LAMP玻璃基板玻璃基板********玻璃基板玻璃基板玻璃基板玻璃基板顯影（搖擺噴淋）純水噴淋清洗超聲波+高壓泵涂膠NOZZLE基板涂光刻膠準(zhǔn)備投入的玻璃基板曝光UV254LAMP（光照）POSTUV(365um)光照POSTBAKE

高溫烘烤固化LOADUV254CLEANERCOATEREXPOSUREDEVELOPPOSTUVPOSTBAKE異物工藝流程紫外線照射Mask玻璃基板玻璃基板玻璃基板玻璃基板L26

FSIO2PATTERN

FITOPATTERN

鋼化基板

RITOPATTERN

MOALMOPATTERN

RSIO2PATTERN

PATTERNOC雙面結(jié)構(gòu)ITO玻璃

27雙面結(jié)構(gòu)ITO玻璃鋼化玻璃F面鍍ITO→R面鍍ITO→FITOPATTERN曝光→RITO保護(hù)膠→FITO刻蝕→雙面剝離→RITOPATTERN曝光→FITO保護(hù)膠→RITO刻蝕→雙面剝離→R面MOALMO鍍膜→MOALMOPATTERN曝光→MOALMO刻蝕POSI剝離→R面鍍SIO2→F面鍍SIO2→R面PATTERNOC→FQC檢查→雙面覆蓋PET保護(hù)膜→出貨

TP原理及制作流程講義課件28

POCPATTERN

MOALMOPATTERNITO-2PATTERNPATTERNOCITO-1PATTERN

鋼化基板

ITO屏蔽層屏蔽層SiO2單面結(jié)構(gòu)ITO玻璃

29單面結(jié)構(gòu)ITO玻璃基板鍍ITO-1→ITO-1PATTERN曝光→ITO-1刻蝕剝離→PATTERNOC1→ITO-2鍍膜→ITO-2PATTERN曝光→ITO-2刻蝕剝離→MOALMO鍍膜→MOALMOPATTERN曝光→MOALMO刻蝕剝離→PATTERNCO2→鍍ITO屏蔽層→鍍屏蔽層SiO2保護(hù)→

FQC→出貨TP原理及制作流程講義課件30ITOPanel+LCM+CG制作流程簡介ITOglass正面預(yù)貼FPC手動揭膜電測貼膜反面ACF貼附超聲波清洗手工擦拭綁定區(qū)外觀檢查手動裂片切割正面ACF貼附反面預(yù)貼FPC脫泡⑨反面貼合LCM⑧檢查正面OCA貼附反面OCA貼附CG貼合ITOPanel+LCM+CG制作流程簡介ITOgla31Lamination

設(shè)備介紹玻璃自動分段機(jī)ACF貼合機(jī)、FPC綁定機(jī)九槽式超聲波清洗機(jī)Lamination

設(shè)備介紹玻璃自動分段機(jī)ACF貼合機(jī)、F32ACF2、ACF：是一種同時具有粘貼、導(dǎo)電、絕緣三特性的半透明高分子材料，其特性是在膜厚方向具有導(dǎo)電性。但在面方向則不具有導(dǎo)電性。(即垂直方向上導(dǎo)通，水平方向上絕緣，因此稱為「異方性導(dǎo)電膠）。結(jié)構(gòu)如下：ACF2、ACF：是一種同時具有粘貼、導(dǎo)電、絕緣三特性的半33FPC3、FPC：是FlexiblePrintedCircuit的簡稱，又稱軟性線路板、柔性電路板，簡稱軟板或FPC，具有配線密度高、重量輕、厚度薄的特點(diǎn).制作流程大概為：①備料---鉆孔---圖形轉(zhuǎn)移（菲林）---E.D.S---線檢（O/P）---表面處理②備料---鉆孔---成型---開窗①、②---貼合---鍍金（電鍍）---PC5000（Ag、膠、黑色膜）壓合---保強(qiáng)---SMT---電測---終檢---OQCFPC3、FPC：是FlexiblePrintedCir34OCA4、OCA：PSA的一種，為高透性光學(xué)膠，也是壓敏膠，透過率＞99%。影響粘貼效果的主要因素有：表面粗糙度、表面污染狀況（油脂、清洗劑、水、塵埃、纖維等）、貼合時間、貼合壓力、貼合溫度等。OCA4、OCA：PSA的一種，為高透性光學(xué)膠，也是壓敏膠，35CG5、CG：coverglass。大概制作流程如下：開料---車機(jī)成型---周邊倒角---倒邊打孔---CNC雕刻---光邊---平磨---超聲波清洗---檢查---強(qiáng)化---絲印---FQC---包裝---OQC

CG5、CG：coverglass。大概制作流程如下：36附件附件37雙面SiO2鍍膜作業(yè)將基板置于金屬M(fèi)ASK上，必須避免基板在金屬M(fèi)ASK上的滑動（注意基板待鍍面朝下，大角與金屬M(fèi)ASK錯開）雙面SiO2鍍膜作業(yè)將基板置于金屬M(fèi)ASK上，必須避免基板在38雙面SiO2鍍膜作業(yè)在監(jiān)視器上確認(rèn)基板與金屬M(fèi)ASK對位是否在規(guī)格內(nèi)（基板上有四個“田”字型對位標(biāo)，與金屬M(fèi)ASK上對位方框?qū)ξ唬╇p面SiO2鍍膜作業(yè)在監(jiān)視器上確認(rèn)基板與金屬M(fèi)ASK對位是否39雙面SiO2鍍膜作業(yè)基板對位標(biāo)金屬M(fèi)ASK對位框OKNG手動對位雙面SiO2鍍膜作業(yè)基板對位標(biāo)金屬M(fèi)ASK對位框OKNG手動40雙面SiO2鍍膜作業(yè)將待鍍品掛上框架（注意金屬M(fèi)ASK不能有翹曲）雙面SiO2鍍膜作業(yè)將待鍍品掛上框架（注意金屬M(fèi)ASK不能有41雙面SiO2鍍膜品質(zhì)缺陷電子擊傷：ITO層在鍍膜時被擊傷，外觀檢查時呈一條黑線雙面SiO2鍍膜品質(zhì)缺陷電子擊傷：ITO層在鍍膜時被擊傷，外42雙面SiO2鍍膜品質(zhì)缺陷金屬層劃傷：在鍍膜時三明治結(jié)構(gòu)出現(xiàn)錯位，造成金屬層的劃傷雙面SiO2鍍膜品質(zhì)缺陷金屬層劃傷：在鍍膜時三明治結(jié)構(gòu)出現(xiàn)錯433、SIO2掉膜

圖1圖23、SIO2掉膜44謝謝謝謝45演講完畢，謝謝觀看！演講完畢，謝謝觀看！46

TP原理及制作流程

2010.3.9TP原理及制作流程講義課件47目錄觸摸屏的應(yīng)用觸摸屏分類觸摸屏工作原理電容式觸摸屏制作流程目錄觸摸屏的應(yīng)用48觸摸屏的應(yīng)用觸摸屏的應(yīng)用49觸摸屏的應(yīng)用

iPad觸摸屏的應(yīng)用50觸摸屏的應(yīng)用

Ophone諾基亞X6觸摸屏的應(yīng)用Ophone51觸摸屏的應(yīng)用

iPodtouchDigitalCameras觸摸屏的應(yīng)用iPodtouch52觸摸屏分類觸摸屏分類53觸摸屏的分類按照觸摸屏的工作原理和傳輸信息的介質(zhì)，我們把觸摸屏分為四種。電阻式、電容感應(yīng)式、紅外線式以及表面聲波式。觸摸屏的分類按照觸摸屏的工作原理和傳輸信息的介54應(yīng)用領(lǐng)域音波式和紅外式觸摸屏因分辨率較低，成本高，只能適用于大屏應(yīng)用領(lǐng)域音波式和紅外式觸摸屏因分辨率較低，成本高，只能適用于55觸摸屏工作原理觸摸屏工作原理56工作原理觸摸屏由觸摸檢測部件和觸摸屏控制器組成；觸摸檢測部件安裝在顯示器屏幕前面，用于檢測用戶觸摸位置，接受后送觸摸屏控制器；而觸摸屏控制器的主要作用是從觸摸點(diǎn)檢測裝置上接收觸摸信息，并將它轉(zhuǎn)換成觸點(diǎn)坐標(biāo)，再送給CPU，它同時能接收CPU發(fā)來的命令并加以執(zhí)行；工作原理觸摸屏由觸摸檢測部件和觸摸屏控制器組成；57工作原理—電阻式

基層是玻璃或有機(jī)玻璃構(gòu)成的，最上面是一層外表面經(jīng)過硬化處理從而光滑防刮的塑料層，中間是兩層金屬導(dǎo)電層，分別在基層之上和塑料層內(nèi)表面，在兩導(dǎo)電層之間有許多細(xì)小的透明隔離點(diǎn)把它們隔開。當(dāng)手指觸摸屏幕時，兩導(dǎo)電層在觸摸點(diǎn)處接觸。工作原理—電阻式58工作原理—電阻式工作原理：電阻觸摸屏的屏體部分是一塊與顯示器表面相匹配的多層復(fù)合薄膜，由一層玻璃或有機(jī)玻璃作為基層，表面涂有一層透明的導(dǎo)電層，上面再蓋有一層外表面硬化處理、光滑防刮的塑料層，它的內(nèi)表面也涂有一層透明導(dǎo)電層，在兩層導(dǎo)電層之間有許多細(xì)小(小于千分之一英寸)的透明隔離點(diǎn)把它們隔開絕緣。當(dāng)手指觸摸屏幕時，平常相互絕緣的兩層導(dǎo)電層就在觸摸點(diǎn)位置有了一個接觸，因其中一面導(dǎo)電層接通Y軸方向的5V均勻電壓場，使得偵測層的電壓由零變?yōu)榉橇悖@種接通狀態(tài)被控制器偵測到后，進(jìn)行A／D轉(zhuǎn)換，并將得到的電壓值與5V相比即可得到觸摸點(diǎn)的Y軸坐標(biāo)，同理得出X軸的坐標(biāo)。工作原理—電阻式工作原理：電阻觸摸屏的屏體部59工作原理—電容式

如圖，當(dāng)手指觸摸在金屬層上時，由于人體電場，用戶和觸摸屏表面形成以一個耦合電容，對于高頻電流來說，電容是直接導(dǎo)體，于是手指從接觸點(diǎn)吸走一個很小的電流。這個電流分從觸摸屏的四角上的電極中流出，并且流經(jīng)這四個電極的電流與手指到四角的距離成正比，控制器通過對這四個電流比例的精確計算，得出觸摸點(diǎn)的位置。工作原理—電容式如圖，當(dāng)手指觸摸在金屬層上時，60工作原理—電容式手指接觸觸控面板時從四個角落傳到接觸點(diǎn)的微量電流被帶走產(chǎn)生壓降控制器由接觸點(diǎn)壓降程度計算出X/Y座標(biāo)位置再傳給電腦主機(jī)在觸控面板角落加入小量電壓在觸控面板角落加入小量電壓在觸控面板角落加入小量電壓在觸控面板角落加入小量電壓I1I2I3I4I1+I2+I3+I4I1+I2Vx=VI1+I2+I3+I4I2+I4Vy=V工作原理—電容式手指接觸觸控面板時從四個角落傳到接觸點(diǎn)的微量61電容觸摸屏的優(yōu)點(diǎn)■電容式觸控只要用手指輕觸不需靠觸控筆，電阻式觸控需要施壓力觸控。

■電容式觸控可進(jìn)行多指觸控，電阻式觸控只能單指觸控。

■電容式觸控比電阻式觸控分辨率高、透光率更佳。

■電容式觸控采用玻璃，因此較采用塑料外層的電阻式觸控防火、防刮、防污塵、防靜電、且無需校正、使用壽命也比較長。電容觸摸屏的缺點(diǎn)■精度不高。由于技術(shù)原因，電容式觸摸屏的精度比起電阻式觸摸屏還有所欠缺。

■易受環(huán)境影響。溫度和濕度等環(huán)境因素發(fā)生改變時，也會引起電容式觸摸屏的不穩(wěn)定甚至漂移。

■成本偏高。電容觸摸屏的優(yōu)點(diǎn)電容觸摸屏的缺點(diǎn)62電阻式和電容式觸摸屏的原理結(jié)構(gòu)都講完了，我們其中很多人也在使用觸摸屏手機(jī)。問：如果你去商場買手機(jī)，當(dāng)拿到一部觸摸屏手機(jī)后你如何區(qū)分它是電阻式還是電容式觸摸屏手機(jī)？答：……電阻式和電容式觸摸屏的原理結(jié)構(gòu)都講完了，我們其中很多人也在使63電容式觸摸屏制作流程電容式觸摸屏制作流程64BMBMRawglassProtectlayerITO1POCMetaltraceOCALCDFPCITO2RearsideITOOCACGAFACFOCA電容式觸摸屏結(jié)構(gòu)BMBMRawglassProtectlayerITO165電容式觸摸屏生產(chǎn)流程BONDINGLAMINATIONPhoto/EtchCGMACHININGCuttingGrindingCNCRaw

glassSlotpolishLappingSurfacepolishEdge

polishInkprintingRawglass0.55mmITO1Photo/EtchSiO2sputterisolationlayerMetalSputterConductlayerITO1sputterSiO2Photo/EtchITO2sputterITO2Photo/EtchMetalPhoto/EtchLasercuttingProtectiveLayCoatingMetalSputterMetaltraceUltrasoniccleanOpen/ShorttestAFcoatingOCA+ITOglassLamination（doubleside)LCM+ITOglass

LaminationAutoclaveCGlaminationFlexbondingDoubleside

OCAcuttingOpen/shorttestCGlaminationAutoclaveFunctiontestProtectivefilmlaminationpackaging電容式觸摸屏生產(chǎn)流程BONDINGLAMINATIONPho66ITOsensor1、ITO：是一種N型氧化物半導(dǎo)體-氧化銦錫,ITO薄膜即銦錫氧化物半導(dǎo)體透明導(dǎo)電膜,通常有兩個性能指標(biāo):電阻率和透過率.ITOsensor1、ITO：是一種N型氧化物半導(dǎo)體-氧67ITOPanel圖案簡介ITOPanel圖案簡介68

ITOPanel圖案簡介金屬導(dǎo)線疊層結(jié)構(gòu)如上圖，1、相對單層ITO，因要求線電阻為24±5千歐，故疊層處ITO的寬度及厚度必須嚴(yán)格符合標(biāo)準(zhǔn)。一般要求寬度為0.03mm；厚度為150A。2、疊層處：要求當(dāng)觸摸時，兩層ITO均發(fā)生電流變化，但又不互相影響，故必須要求絕緣性佳。如上圖，因要保證電容變化主要由ITO決定，故連接導(dǎo)線需要求電阻遠(yuǎn)小于ITO。一般地，導(dǎo)線多采用Al線。ITOPanel圖案簡介金屬導(dǎo)線疊層結(jié)構(gòu)如上圖，如上圖69

ITOPanel圖案簡介EquipmentEtchingLineUtilityPhotoLineSputteringlineITOPanel圖案簡介EquipmentEtchin70LOADCLEANERSPINCOATERUNLOADEXPOSUREDEVELOPPRE-BAKELOADUNLOADCLEANEREXPOSUREDEVELOPROLLERCOATERLOADUNLOADCLEANERROLLERCOATERPRE-BAKELOADUNLOADETCHINGSTRIPLOADUNLOADETCHINGSTRIP金屬鍍膜線(4MF+6DC)電梯I-LINEJ-LINEF-LINEL-LINE蝕刻線區(qū)域K-LINEPOSTBAKE隧道式烤爐配膠房4F設(shè)備平面布置圖LOADCLEANERSPINCOATERUNLOADEX71工藝流程紫外線照射Mask玻璃基板玻璃基板玻璃基板玻璃基板LAMP玻璃基板玻璃基板********玻璃基板玻璃基板玻璃基板玻璃基板顯影（搖擺噴淋）純水噴淋清洗超聲波+高壓泵涂膠NOZZLE基板涂光刻膠準(zhǔn)備投入的玻璃基板曝光UV254LAMP（光照）POSTUV(365um)光照POSTBAKE

高溫烘烤固化LOADUV254CLEANERCOATEREXPOSUREDEVELOPPOSTUVPOSTBAKE異物工藝流程紫外線照射Mask玻璃基板玻璃基板玻璃基板玻璃基板L72

FSIO2PATTERN

FITOPATTERN

鋼化基板

RITOPATTERN

MOALMOPATTERN

RSIO2PATTERN

PATTERNOC雙面結(jié)構(gòu)ITO玻璃

73雙面結(jié)構(gòu)ITO玻璃鋼化玻璃F面鍍ITO→R面鍍ITO→FITOPATTERN曝光→RITO保護(hù)膠→FITO刻蝕→雙面剝離→RITOPATTERN曝光→FITO保護(hù)膠→RITO刻蝕→雙面剝離→R面MOALMO鍍膜→MOALMOPATTERN曝光→MOALMO刻蝕POSI剝離→R面鍍SIO2→F面鍍SIO2→R面PATTERNOC→FQC檢查→雙面覆蓋PET保護(hù)膜→出貨

TP原理及制作流程講義課件74

POCPATTERN

MOALMOPATTERNITO-2PATTERNPATTERNOCITO-1PATTERN

鋼化基板

ITO屏蔽層屏蔽層SiO2單面結(jié)構(gòu)ITO玻璃

75單面結(jié)構(gòu)ITO玻璃基板鍍ITO-1→ITO-1PATTERN曝光→ITO-1刻蝕剝離→PATTERNOC1→ITO-2鍍膜→ITO-2PATTERN曝光→ITO-2刻蝕剝離→MOALMO鍍膜→MOALMOPATTERN曝光→MOALMO刻蝕剝離→PATTERNCO2→鍍ITO屏蔽層→鍍屏蔽層SiO2保護(hù)→

FQC→出貨TP原理及制作流程講義課件76ITOPanel+LCM+CG制作流