光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料_第1頁
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文檔簡介

2007-101涉及面廣、技術(shù)含量高、用途廣泛涉及物理、化學(xué)、光學(xué)、材料、化工、電子、通訊、機(jī)械等專業(yè)太陽能太陽光伏太陽光熱太陽電池電池組件光伏材料光伏系統(tǒng)光伏設(shè)備一、產(chǎn)業(yè)及技術(shù)背景光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第1頁!2007-102007-102光伏(PV)技術(shù)的現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢(shì)◆

光伏產(chǎn)業(yè)鏈中,光伏電池的制造是核心環(huán)節(jié),其作用猶如微電子產(chǎn)業(yè)鏈中的芯片制造一樣。光伏電池制造技術(shù)研發(fā)有二大目標(biāo):一是提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率,二是降低其生產(chǎn)成本。為達(dá)到這二個(gè)目標(biāo),就需要尋求高性能的光電轉(zhuǎn)換材料和適合于規(guī)模生產(chǎn)的制造工藝技術(shù)?!?/p>

從技術(shù)開發(fā)的成熟程度和市場(chǎng)占有率區(qū)分,光伏(PV)技術(shù)大體上可列出以下三代代PV技術(shù)用晶硅(單晶硅和多晶硅)技術(shù)制造太陽能電池第二代PV技術(shù)用薄膜技術(shù)制造太陽能電池第三代PV技術(shù)新穎的革命性的概念、材料及開發(fā)新技術(shù)◆三代PV技術(shù)的比較、發(fā)展趨勢(shì)、市場(chǎng)份額CEPEA光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第2頁!2007-102007-103晶硅太陽能電池制造技術(shù)是目前主流的太陽能電池制造技術(shù)硅材料資源豐富,研究比較透徹借助半導(dǎo)體制造工藝(如擴(kuò)散、刻蝕、鍍膜等),技術(shù)成熟晶硅太陽能電池轉(zhuǎn)換效率高(sc-Si16-17%,mc-Si14-15%)制造成本高

制造晶硅太陽能電池的主要流程為:

硅片清洗、制絨→擴(kuò)散→刻蝕→去磷硅玻璃(PSG)→鍍膜(SiN)

→絲網(wǎng)印刷→焊接、燒結(jié)→測(cè)試分檔趨勢(shì)——使用廉價(jià)硅料(電子級(jí)→太陽能級(jí);單晶→多晶)

薄硅片(<200μm)的加工工藝技術(shù)(電池片、組件的封裝集成)

進(jìn)一步提高光電轉(zhuǎn)換效率(電池:20%→25%;組件:16%→22%)

CEPEA光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第3頁!2007-102007-104CEPEAPV硅片厚度及硅用量進(jìn)展(EPIASGIV2007)2004200520062007200820092010硅片厚度μm硅用量g/Wp300250200150100500

12111098.587.5300240200180170160150121086420硅片厚度μm硅用量g/Wp光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第4頁!2007-102007-105藍(lán)色電池(α-Si合金)綠色電池(α-SiGe合金)紅色電池(α-SiGe合金)柔性不銹鋼帶襯底TCO膜多結(jié)電池總厚度<1μm背反射層UnitedSolarOvonic公司的三結(jié)非晶硅薄膜太陽能電池示意圖★將具有不同光吸收特性的材料連續(xù)地一層疊一層淀積,成為三結(jié)結(jié)構(gòu),提高光電轉(zhuǎn)換效率低照度下的效率、組件效率穩(wěn)定性及在高溫下的損失均比晶硅技術(shù)電池組件優(yōu)★

η=6-8%(高照度),7-9%(低照度)非晶硅薄膜技術(shù)(UnitedSolarOvonic)CEPEA光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第5頁!2007-102007-106不同的技術(shù)產(chǎn)品會(huì)在PV不同的應(yīng)用領(lǐng)域(聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)、獨(dú)立離網(wǎng)系統(tǒng)、消費(fèi)電子產(chǎn)品等)找到其用途。CEPEA不同技術(shù)太陽能電池占有的市場(chǎng)份額新概念技術(shù)薄膜技術(shù)晶硅技術(shù)光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第6頁!2007-102007-107設(shè)備●光伏市場(chǎng)的需求推動(dòng)了光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,也給作為光伏產(chǎn)業(yè)鏈中重要一環(huán)的光伏設(shè)備行業(yè)的發(fā)展創(chuàng)造了極好的機(jī)遇。太陽能電池產(chǎn)業(yè)正處于轉(zhuǎn)折時(shí)期,PV設(shè)備市場(chǎng)總值2010年將達(dá)到30億美元(225億人民幣),薄膜技術(shù)設(shè)備市場(chǎng)的增長速率將遠(yuǎn)高于晶硅技術(shù)設(shè)備(AM公司太陽能電池制造設(shè)備計(jì)劃在07財(cái)年獲得4億美元訂單,到今年7月已獲超過2億美元合同)●一代技術(shù)、一代設(shè)備、一代產(chǎn)品設(shè)備是PV產(chǎn)業(yè)的支柱之一,PV技術(shù)的發(fā)展及PV市場(chǎng)的擴(kuò)展對(duì)PV設(shè)備制造業(yè)提出了更高的要求,設(shè)備是實(shí)現(xiàn)技術(shù)轉(zhuǎn)換為市場(chǎng)能接受的產(chǎn)品的關(guān)鍵之一(成本/轉(zhuǎn)換效率)晶硅技術(shù)設(shè)備薄膜技術(shù)設(shè)備(未來技術(shù)設(shè)備)●PV電池制造設(shè)備發(fā)展趨勢(shì)

?用于大大降低每瓦硅和能量使用量的結(jié)晶和硅片加工(包括硅帶)設(shè)備。

?低價(jià)格、全自動(dòng)、標(biāo)準(zhǔn)化的加工設(shè)備。

?開發(fā)高產(chǎn)額、低成本、大面積制造薄膜電池的加工方法及設(shè)備CEPEA光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第7頁!2007-108十家光伏企業(yè)國外上市公司

融資市場(chǎng)涉足領(lǐng)域上市時(shí)間無錫尚德

紐交所電池、組件、應(yīng)用系統(tǒng)2005.12.13蘇州阿特斯NASDAQ電池、組件2006.11.8江蘇林洋NASDAQ電池、組件、應(yīng)用系統(tǒng)2006.12.20常州天合

紐交所單晶、切片、電池、組件2006.12.19河北晶澳NASDAQ電池、組件2007.2.7浙江昱暉

英國倫敦AIM單晶、切片、組件2006.8.8南京中電NASDAQ電池2007.5.17江西LDK

紐交所多晶2007.6.4保定英利

紐交所多晶、電池、組件、應(yīng)用2007.6.8江陰浚鑫

英國倫敦AIM電池、組件2007.8.7光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第8頁!2007-102007-109800(預(yù)計(jì))2003年~2007上半年國內(nèi)太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備銷售額

(1-6月)CEPEA電池制造設(shè)備/材料生長加工設(shè)備:33/67(2005);27/73(2006)2006比2005增長率:電池制造設(shè)備70%;材料生長加工設(shè)備92%光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第9頁!2007-1010太陽能電池生產(chǎn)過程及裝備

清洗制絨

擴(kuò)散

刻蝕

去PSG制備氮化硅

印刷背電極

烘干

印刷背電場(chǎng)

烘干

印刷正電極

烘干燒結(jié)

測(cè)試分選

包裝光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第10頁!2007-1011序號(hào)工藝相應(yīng)設(shè)備(儀器)1去表面損傷層、氧化層清洗機(jī)2制作減反射絨面制絨機(jī)3甩干、烘干甩干機(jī)4抽樣測(cè)試絨面制作效果光學(xué)顯微鏡5制作PN結(jié)擴(kuò)散爐6測(cè)試硅片擴(kuò)散的質(zhì)量均勻性四探針測(cè)試儀7去除周邊PN結(jié)刻蝕機(jī)8抽測(cè)周邊刻蝕效果PN結(jié)測(cè)試儀9去除電池片表面磷硅玻璃清洗機(jī)10甩干、烘干甩干機(jī)11表面沉積氮化硅減反射膜PECVD12測(cè)量減反射膜均勻性橢偏儀太陽能電池制造工藝對(duì)應(yīng)的設(shè)備儀器1光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第11頁!2007-1012*國際上156X156硅片的設(shè)備已成主流

210X210硅片的設(shè)備也已開始使用適合硅片厚度≦180微米的設(shè)備已大量使用(軟接觸技術(shù)、防翹曲燒結(jié)等技術(shù)大量應(yīng)用,有效降低了整線的碎片率)光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第12頁!2007-1013擴(kuò)散爐功能:向硅片內(nèi)摻入五價(jià)P-離子,結(jié)深在0.3~0.5μm,

電阻在20~70/□

間(1)大容量反應(yīng)器熱場(chǎng)及氣氛?qǐng)隹刂萍夹g(shù)(2)閉管擴(kuò)散減少源消耗技術(shù)(3)懸臂載片軟著陸技術(shù)(4)潔凈擴(kuò)散技術(shù)光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第13頁!2007-1014鏈?zhǔn)綌U(kuò)散重新受到關(guān)注優(yōu)勢(shì):1、硅片的方塊電阻均勻性較管式更好2、適合薄、大硅片工藝,硅片變形小3、生產(chǎn)效率高4、自動(dòng)上下片,避免人工污染5、不會(huì)出現(xiàn)偏磷酸污染硅片問題6、不需清洗反應(yīng)管和石英舟光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第14頁!2007-1015功能:干法腐蝕,在輝光放電條件下通過氟和氧交替對(duì)硅作用,去除含有擴(kuò)散層的周邊1、片架旋轉(zhuǎn)密封技術(shù):提高刻蝕均勻性2、硅片放置自動(dòng)壓緊技術(shù),減少鉆蝕3、低成本緊奏型RF電源技術(shù)刻蝕機(jī)—等離子刻蝕機(jī)光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第15頁!2007-1016PECVD---管式功能:利用輝光放電的物理作用來激活化學(xué)汽相淀積反應(yīng),在硅片表面生長一層氮化硅薄膜發(fā)展方向:大容量、高均勻性、自動(dòng)裝卸片、自適應(yīng)電極清洗光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第16頁!2007-1017PECVD---平板式發(fā)展方向:

1、提高減反射膜致密性

2、大反應(yīng)腔室熱場(chǎng)及氣氛?qǐng)?/p>

3、遠(yuǎn)程自診斷,提高設(shè)備使用率

4、薄硅片軟接觸,降低碎片率光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第17頁!2007-1018快速燒結(jié)爐---網(wǎng)帶燒結(jié)爐關(guān)鍵技術(shù):(1)尖峰燒結(jié)溫度曲線的形成與控制技術(shù)(2)氣簾形成與控制技術(shù)(3)快速冷卻技術(shù)光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第18頁!2007-1019專家語

1、太陽能電池產(chǎn)業(yè)的競(jìng)爭歸根到底是成本的競(jìng)爭,國產(chǎn)裝備的發(fā)展符合降低成本的大方向,優(yōu)勢(shì)明顯,前景美好

2、2012年前是高速發(fā)展期,晶體硅太陽能電池裝備的主導(dǎo)地位10年內(nèi)很難被取代

3、國產(chǎn)太陽能電池裝備以高性價(jià)比贏得了良好的市場(chǎng)聲譽(yù),和工藝結(jié)合進(jìn)而具備交鑰匙工程能力是發(fā)展必由之路光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第19頁!2007-102007-1020晶硅太陽能電池的基本結(jié)構(gòu)抗反射膜~0,2μm~220μm上電極下電極n-區(qū)p-區(qū)-+光子耗盡區(qū)----------++++++++++(PV-en.ppt)CEPEA光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第20頁!2007-102007-1021薄膜太陽能電池制造技術(shù)●硅料短缺和降低成本的推動(dòng),各類薄膜太陽能電池制造技術(shù)的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化步伐正在加快●

用淀積在(玻璃板或不銹鋼板)襯底上的薄膜半導(dǎo)體材料制作太陽能電池常用的薄膜材料有:非晶硅非晶硅/微晶硅(αSi/μSi)碲化鎘(CdTe)銅銦硒(CIS)或銅銦鎵硒(CIGS)等通常在1米大小的襯底上淀積1至數(shù)微米厚的薄膜制作太陽能電池●薄膜技術(shù)可以減少材料使用量,加工過程需要的人員和能耗也少,有望提高規(guī)模生產(chǎn)效率。近十年來,薄膜技術(shù)在改進(jìn)太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率,降低成本方面的進(jìn)展迅猛,非晶硅薄膜太陽能電池已經(jīng)工業(yè)化生產(chǎn),非晶硅/微晶硅和銅銦鎵硒光伏電池的制造近年來已由中試生產(chǎn)向工業(yè)化規(guī)模生產(chǎn)轉(zhuǎn)化,已開發(fā)出專門的加工工藝、生產(chǎn)技術(shù)和專用制造設(shè)備,正很快地切入市場(chǎng)

●二種目前進(jìn)展迅速、最具市場(chǎng)前途的薄膜太陽能電池制造技術(shù)銅銦鎵硒(CIGS)太陽能電池制造技術(shù)非晶硅/微晶硅(αSi/μSi)疊層太陽能電池制造技術(shù)

CEPEA光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第21頁!2007-102007-1022硅基90%→77%薄膜等10%→23%CEPEA光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第22頁!2007-102007-1023技術(shù)材料實(shí)驗(yàn)室最高效率%目前規(guī)模生產(chǎn)效率%晶硅技術(shù)單晶24.3(1997)14-17多晶20.5(2003)13-15薄膜技術(shù)CIGS19.2(2003)10CdTe17(2000)8-10非晶Si:H)(穩(wěn)定后)12.8(1998)6-7納米/微晶/多晶-Si16.4(2001)8多結(jié)多晶14.8(2004)8-13新興技術(shù)染敏電池11(1997)有機(jī)電池4.8(2004)多結(jié)+光集聚器40.7(2007)CEPEA各種PV電池的光電轉(zhuǎn)換效率比較光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第23頁!2007-1024中國已成為光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展最快的國家√

最近五年產(chǎn)量增長184倍,產(chǎn)能增加700倍截止十月底,產(chǎn)能已超過2900MW2007年新增69條線√

2004年產(chǎn)量一舉超過澳大利亞和印度成為國際第四大生產(chǎn)國(地區(qū))√

2006年產(chǎn)量超過美國排名全球第三光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第24頁!2007-1025涉足光伏行業(yè)的國內(nèi)上市公司達(dá)十二家G天威----天威英利(多晶硅、硅片、電池、組件)航天機(jī)電----上海太陽能科技(電池、組件)深南玻A----深圳南玻光伏(白玻璃、多晶硅、電池)特變電工----新疆新能源(組件、應(yīng)用系統(tǒng))杉杉股份----寧波杉杉優(yōu)利卡(電池、組件)交大南洋----上海交大泰陽(電池、組件、應(yīng)用系統(tǒng))樂山電力----新光硅業(yè)(多晶硅)江蘇陽光----寧夏石嘴山硅業(yè)(多晶硅)新華光----云南天達(dá)光伏(電池、組件)……光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第25頁!2007-102007-1026晶硅技術(shù)PV電池制造設(shè)備:●國內(nèi)設(shè)備制造廠(所)已具備了PV電池生產(chǎn)線整線裝備能力:

清洗制絨機(jī)擴(kuò)散爐刻蝕機(jī)PECVD絲網(wǎng)印刷機(jī)低溫烘干爐燒結(jié)爐

48所、45所、2所、七星華創(chuàng)、43所恒力公司●設(shè)備技術(shù)水平整體不高,缺乏自動(dòng)化的大生產(chǎn)設(shè)備以單機(jī)供應(yīng)客戶為主,不能向客戶提供“交鑰匙”的完整成套生產(chǎn)線設(shè)備●趨勢(shì):批次加工設(shè)備全自動(dòng)連續(xù)(inline)加工設(shè)備

手動(dòng)單機(jī)自動(dòng)化整線自動(dòng)化

適應(yīng)薄硅片(<200μm)的加工設(shè)備

BTU連續(xù)式鏈?zhǔn)綌U(kuò)散爐(15×1.5m):10-35MW/年;烘干/燒結(jié)一體爐:30MW/年ROTH&RAUPECVD抗反射層鍍膜設(shè)備:10-100MW/年CEPEA光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第26頁!2007-1027

影響太陽能電池光電轉(zhuǎn)換效率的主要因素有:(一)、晶體硅電池片本身晶格質(zhì)量(二)、硅片表面絨面質(zhì)量(三)、PN結(jié)質(zhì)量(四)、周邊PN結(jié)去除質(zhì)量(五)、減反射氮化硅膜質(zhì)量(六)、金屬柵線印刷質(zhì)量(七)、歐姆接觸表面質(zhì)量關(guān)鍵電池片制造設(shè)備

與之相對(duì)應(yīng)的關(guān)鍵工藝設(shè)備有:

(一)清洗制絨設(shè)備(二)擴(kuò)散爐(三)刻蝕機(jī)(四)PECVD(五)絲網(wǎng)印刷機(jī)(六)快速燒結(jié)爐光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第27頁!2007-1028序號(hào)工藝相應(yīng)設(shè)備(儀器)13背電極印刷絲網(wǎng)印刷機(jī)(共三個(gè)頭)14背電極的烘干低溫烘干爐15鋁背場(chǎng)印刷絲網(wǎng)印刷機(jī)16鋁背場(chǎng)的烘干低溫烘干爐17正面柵線電極印刷絲網(wǎng)印刷機(jī)18金屬電極柵線的燒結(jié)、熔合高溫?zé)Y(jié)爐19測(cè)試電池光電轉(zhuǎn)換效率效率測(cè)試儀20分選分檢機(jī)21電池組件電極的連接光焊機(jī)22太陽能電池組件的封裝層壓機(jī)23擴(kuò)散、PE等石英器件的清洗石英管清洗機(jī)太陽能電池制造工藝對(duì)應(yīng)的設(shè)備儀器2光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第28頁!2007-1029清洗/制絨機(jī)功能:去除硅片表面油污、損傷層、金屬離子,制絨、自然氧化。1、清洗液自動(dòng)攪動(dòng)技術(shù),清洗/制絨效果更好2、節(jié)水節(jié)液技術(shù),降低清洗成本3、新型非金屬材料融合技術(shù),有效杜絕了微漏,保護(hù)了電氣系統(tǒng),更可靠更安全4、環(huán)保清洗/制絨液的應(yīng)用,降低了后續(xù)處理成本光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第29頁!2007-1030全封閉潔凈擴(kuò)散開管擴(kuò)散---閉管擴(kuò)散---全封閉擴(kuò)散1、大大減少偏磷酸排放2、石英管及舟的清洗周期延長十倍以上3、具備環(huán)保處理功能光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第30頁!2007-1031鏈?zhǔn)綌U(kuò)散技術(shù)劣勢(shì):1、需前后道支持,自動(dòng)化銜接支出大2、表面偏磷酸揮發(fā)物會(huì)固結(jié)在燈管表面光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第31頁!2007-10321、激光刻蝕:適合選擇性刻蝕,刻蝕效果好,對(duì)硅片尺寸要求嚴(yán)格。國外大量使用,國內(nèi)效果不佳2、濕法刻蝕:價(jià)格昂貴,刻蝕效果好、成本高刻蝕機(jī)—激光刻蝕和濕法刻蝕光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第32頁!2007-1033PECVD---管式關(guān)鍵技術(shù):(1)大容量反應(yīng)器等離子場(chǎng)均勻形成技術(shù)(2)先進(jìn)的石墨電極設(shè)計(jì)加工技術(shù)(3)低頻大功率RF穩(wěn)定輸出技術(shù)(4)高穩(wěn)定性的真空壓力控制技術(shù)光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)背景資料共36頁,您現(xiàn)在瀏覽的是第33頁!2007-1034絲網(wǎng)印刷機(jī)功能:利用絲網(wǎng)漏印原理印刷背電極、背電場(chǎng)及柵線、線寬可達(dá)50m,高度可達(dá)10~20m發(fā)展方向:

1、高速數(shù)字影像定位,提高生產(chǎn)率

2、軟接觸自動(dòng)機(jī)械手,降低碎片率

3、高精度印刷頭,提高電池片

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