電子顯微鏡的介紹課件

電子顯微鏡electronmicroscope電子顯微鏡electronmicroscopeCompanyL/mobanContents電子顯微鏡的定義、用途及種類1電子顯微鏡的歷史及發(fā)展2電子顯微鏡的組成3電子顯微鏡的生產(chǎn)情況4CompanyL/mobanContenCompanyL/moban電子顯微鏡的定義電子顯微鏡(electronmicroscope，EM)一般是指利用電磁場偏折、聚焦電子及電子與物質(zhì)作用所產(chǎn)生散射之原理來研究物質(zhì)構(gòu)造及微細(xì)結(jié)構(gòu)的精密儀器。近年來，由于電子光學(xué)的理論及應(yīng)用發(fā)展迅速，此項(xiàng)定義已嫌狹窄，故重新定義其為一項(xiàng)利用電子與物質(zhì)作用所產(chǎn)生之訊號來監(jiān)定微區(qū)域晶體結(jié)構(gòu)、微細(xì)組織、化學(xué)成份、化學(xué)鍵結(jié)和電子分布情況的電子光學(xué)裝置。用電子光學(xué)儀器研究物質(zhì)組織、結(jié)構(gòu)、成分的技術(shù)稱為電子顯微術(shù)。CompanyL/moban電子顯微鏡的CompanyL/moban電子顯微鏡主要發(fā)展史1932年1939年1965年1959年1975年1981年德國物理學(xué)家Knoll和Ruska研制成功第一臺透射電子顯微鏡德國西門子公司生產(chǎn)了第一臺商品用的透射電子顯微鏡英國劍橋科學(xué)儀器有限公司掃描電子顯微鏡作為商品問世中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所研制成功第一臺透射電子顯微鏡中國科學(xué)院北京科學(xué)儀器廠研制成功第一臺掃描電子顯微鏡瑞士科學(xué)家Binnig、Rohrer、Gerber和Weible發(fā)明掃描隧道顯微鏡CompanyL/moban電子顯微鏡主CompanyL/moban電子顯微鏡MaxKnoll(1897-1969)ErnstRuska(1906-1988)1938年，德國工程師MaxKnoll和ErnstRuska制造出了世界上第一臺透射電子顯微鏡(TEM)。電子顯微鏡的分辨率可以達(dá)到納米級(10-9nm)?？梢杂脕碛^察很多在可見光下看不見的物體,例如病毒。CharlesOatley1952年，英國工程師CharlesOatley制造出了第一臺掃描電子顯微鏡(SEM)。世界上第一臺電子顯微鏡CompanyL/moban電子顯微鏡MCompanyL/moban

電子顯微鏡技術(shù)發(fā)展簡史CompanyL/moban電子顯微鏡CompanyL/moban電子顯微鏡的組成電子顯微鏡由鏡筒、真空裝置和電源柜三部分組成。鏡筒熒光屏探測器電子透鏡樣品架電子源電子源是一個(gè)釋放自由電子的陰極，柵極，一個(gè)環(huán)狀加速電子的陽極構(gòu)成的。

電子透鏡用來聚焦電子，是電子顯微鏡鏡筒中最重要的部件。探測器用來收集電子的信號或次級信號真空裝置用以保障顯微鏡內(nèi)的真空狀態(tài)，這樣電子在其路徑上不會(huì)被吸收或偏向，由機(jī)械真空泵、擴(kuò)散泵和真空閥門等構(gòu)成，并通過抽氣管道與鏡筒相聯(lián)接。電源柜由高壓發(fā)生器、勵(lì)磁電流穩(wěn)流器和各種調(diào)節(jié)控制單元組成樣品可以穩(wěn)定地放在樣品架上。此外往往還有可以用來改變樣品（如移動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)、加熱、降溫、拉長等）的裝置。CompanyL/moban電子顯微鏡CompanyL/moban電子顯微鏡技術(shù)的應(yīng)用樣品制備方法主要包括：超薄切片、負(fù)染色、金屬投影、冷凍復(fù)型、快速冷凍深度蝕刻技術(shù)、免疫電子顯微鏡術(shù)、掃描電鏡常規(guī)樣品制備及掃描電鏡冷凍斷裂技術(shù)等。在生命科學(xué)領(lǐng)域可用于胚胎及組織發(fā)生學(xué)方面的研究和觀察；在臨床上可用于多種疾病亞細(xì)胞結(jié)構(gòu)病變的觀察和診斷，特別是腎小球疾病及肌病的診斷，以及一些疑難腫瘤的組織來源和細(xì)胞屬性判定，如一些去分化、低分化或多向分化腫瘤的診斷和鑒別診斷；在農(nóng)林科學(xué)方面，電鏡技術(shù)對植物各種疾病病因診斷與防治的研究越來越重要。利用電鏡技術(shù)觀察高分子、表面活性劑、碳納米管及納米粒子等結(jié)構(gòu)形態(tài)，為化學(xué)及材料科學(xué)研究提供了有力的技術(shù)手段。CompanyL/moban電子顯微鏡技CompanyL/moban電子顯微鏡的分類分類：電子顯微鏡按結(jié)構(gòu)和用途可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、反射式電子顯微鏡、發(fā)射式電子顯微鏡等。1透射電鏡是透射成像，圖像是二維的，靠欠焦形成一定的圖像反差。透射式電子顯微鏡常用于觀察那些用普通顯微鏡所不能分辨的細(xì)微物質(zhì)結(jié)構(gòu)2掃描電鏡是反射成像，圖像是三維的，有很好的立體感，但分辨率低于透射電鏡，目前指標(biāo)分辨率可以達(dá)到3個(gè)納米。掃描式電子顯微鏡主要用于觀察固體表面的形貌，也能與X射線衍射儀或電子能譜儀相結(jié)合，構(gòu)成電子微探針，用于物質(zhì)成分分析3發(fā)射式電子顯微鏡用于自發(fā)射電子表面的研究。用途CompanyL/moban電子顯微鏡的CompanyL/moban透射電子顯微鏡透射電子顯微鏡TEM（TransmissionElectronMicroscopy，亦稱投射式電子顯微鏡）因電子束穿透樣品后，再用電子透鏡成像放大而得名。成像原理：透射電鏡是以電子束透過樣品經(jīng)過聚焦與放大后所產(chǎn)生的物像，投射到熒光屏上或照相底片上進(jìn)行觀察。透射電鏡的分辨率為0.1～0.2nm，放大倍數(shù)為幾萬～幾十萬倍。由于電子易散射或被物體吸收，故穿透力低，必須制備更薄的超薄切片（通常為50～100nm）。其制備過程與石蠟切片相似，但要求極嚴(yán)格。要在機(jī)體死亡后的數(shù)分鐘釣取材，組織塊要小(1立方毫米以內(nèi)），常用戊二醛和餓酸進(jìn)行雙重固定樹脂包埋，用特制的超薄切片機(jī)（ultramicrotome）切成超薄切片，再經(jīng)醋酸鈾和檸檬酸鉛等進(jìn)行電子染色。電子束投射到樣品時(shí)，可隨組織構(gòu)成成分的密度不同而發(fā)生相應(yīng)的電子發(fā)射，如電子束投射到質(zhì)量大的結(jié)構(gòu)時(shí)，電子被散射的多，因此投射到熒光屏上的電子少而呈暗像，電子照片上則呈黑色，稱電子密度高構(gòu)造：透射式電子顯微鏡鏡筒的頂部是電子槍，電子由鎢絲熱陰極發(fā)射出、通過第一，第二兩個(gè)聚光鏡使電子束聚焦。電子束通過樣品后由物鏡成像于中間鏡上，再通過中間鏡和投影鏡逐級放大，成像于熒光屏或照相干版上。中間鏡主要通過對勵(lì)磁電流的調(diào)節(jié)，放大倍數(shù)可從幾十倍連續(xù)地變化到幾十萬倍；改變中間鏡的焦距，即可在同一樣品的微小部位上得到電子顯微像和電子衍射圖像。CompanyL/moban透射電子顯微CompanyL/moban透射電子顯微鏡透射電鏡CompanyL/moban透射電子顯微CompanyL/moban掃描電子顯微鏡掃描電子顯微鏡SEMScanningElectronMicroscopes掃描電鏡是繼透射電鏡之后發(fā)展起來的一種電鏡。與之不同的是，SEM是聚焦電子束在試樣表面逐點(diǎn)掃描成像，試樣為塊狀或粉末顆粒，成像信號為二次電子、背散射電子或吸收電子成像原理：二次電子成像：由電子槍發(fā)射的能量為5~35keV的電子，以其交叉斑作為電子源，經(jīng)聚焦縮小后形成具有一定能量、強(qiáng)度和直徑的微細(xì)電子束，在掃描線圈驅(qū)動(dòng)下在試樣表面做柵網(wǎng)式掃描。電子束與試樣作用產(chǎn)生的二次電子的量隨試樣表面形貌而變，二次電子信號被探測器收集轉(zhuǎn)換成電訊號，經(jīng)處理后得到反應(yīng)試樣表面形貌的二次電子像掃描式電子顯微鏡的分辨率主要決定于樣品表面上電子束的直徑。放大倍數(shù)是顯像管上掃描幅度與樣品上掃描幅度之比，可從幾十倍連續(xù)地變化到幾十萬倍。掃描式電子顯微鏡不需要很薄的樣品；圖像有很強(qiáng)的立體感；能利用電子束與物質(zhì)相互作用而產(chǎn)生的次級電子、吸收電子和X射線等信息分析物質(zhì)成分掃描式電子顯微鏡的電子槍和聚光鏡與透射式電子顯微鏡的大致相同，但是為了使電子束更細(xì)，在聚光鏡下又增加了物鏡和消像散器，在物鏡內(nèi)部還裝有兩組互相垂直的掃描線圈。物鏡下面的樣品室內(nèi)裝有可以移動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)和傾斜的樣品臺。CompanyL/moban掃描電子顯微CompanyL/moban掃描電子顯微鏡基本原理掃描電鏡(SEM)SEM的基本原理CompanyL/moban掃描電子顯微CompanyL/moban

掃描電子顯微鏡的工作內(nèi)容微區(qū)形貌觀測

①二次電子像可得到物質(zhì)表面形貌反差的信息，即微觀形貌像②背反射電子像可得到不同區(qū)域內(nèi)平均原子序數(shù)差別的信息，即組成分布像。③X射線元素分布像可得到樣品表面元素及其X射線強(qiáng)度變化的分布圖像。掃描電鏡工作內(nèi)容微區(qū)定性和定量分析

與常規(guī)的定性、定量分析方法不同的是，掃描電子顯微鏡系統(tǒng)是在微觀形貌觀測的基礎(chǔ)上，針對感興趣區(qū)域進(jìn)行特定的定性或定量分析。CompanyL/moban掃描電子顯CompanyL/moban掃描電鏡的最大特點(diǎn)焦深大，圖像富有立體感，特別適合于表面形貌的研究放大倍數(shù)范圍廣，從十幾倍到2萬倍，幾乎覆蓋了光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡的范圍制樣簡單，樣品的電子損傷小這些方面優(yōu)于透射電子顯微鏡，所以掃描電鏡成為高分子材料常用的重要剖析手段CompanyL/moban掃描電鏡的最CompanyL/moban掃描電子顯微鏡的應(yīng)用實(shí)例一種PVC粉料的形貌觀測ABS脆件斷裂后微觀形態(tài)的觀測CompanyL/moban掃描電子顯微CompanyL/moban用電鏡觀察的圖片瘧疾破壞的兩個(gè)紅細(xì)胞CompanyL/moban用電鏡觀察的CompanyL/moban用電鏡觀察的圖片CompanyL/moban用電鏡觀察的CompanyL/moban用電鏡觀察的圖片CompanyL/moban用電鏡觀察的CompanyL/moban近年發(fā)展情況高電壓高分辨率分析裝置場發(fā)射電子光源增加電子穿透試樣的能力，可觀察較厚、較具代表性的試樣現(xiàn)場觀察輻射損傷;減少波長散怖像差增加分辨率等已增進(jìn)到廠家保證最佳解像能為點(diǎn)與點(diǎn)間0.18nm、線與線間0.14nm。美國於1983年成立國家電子顯微鏡中心，其中l(wèi)000keV之原子分辨電子顯微鏡其點(diǎn)與點(diǎn)間之分辨率達(dá)0.17nm，可直接觀察晶體中的原子如附加電子能量分析可監(jiān)定微區(qū)域的化學(xué)組成具高亮度及契合性，電子束可小至1nm。除適用於微區(qū)域成份分析外，更有潛力發(fā)展三度空間全像術(shù)透射電子顯微鏡CompanyL/moban近年發(fā)展情況CompanyL/moban近年發(fā)展情況在SEM方面，一方面增高分辨率，同時(shí)加上各種如X光探測微分析儀等之分析儀器，以辨別物質(zhì)表面的結(jié)構(gòu)及化學(xué)成分等。近年來將TEM與SEM結(jié)合為一，取二者之長所制成的掃描穿透式電子顯微鏡(scanningtransmissionelectronmicroscope，簡稱STEM)亦漸普及。CompanyL/moban近年發(fā)展情況CompanyL/moban電鏡使用注意事項(xiàng)使用電子顯微鏡的一般要求由于電子顯微鏡鏡體內(nèi)為真空系統(tǒng)，所以要求被分析物質(zhì)應(yīng)為干燥的，不含有水分或揮發(fā)性溶劑的樣品。對于透射電鏡還要求被分析樣品要做的很薄，最好在100納米以下，以有利于電子束的穿透成像。當(dāng)加速電壓較高時(shí)，電子束的穿透力會(huì)更強(qiáng)，所以樣品可以做得厚一些。CompanyL/moban電鏡使用注意CompanyL/moban電鏡使用注意事項(xiàng)電鏡使用中的一些問題放大倍數(shù)不是越大越好要搞清做電鏡分析的目的不是任何樣品都能達(dá)到分辨率的指標(biāo)要獲得高質(zhì)量的電鏡照片，樣品制備是一個(gè)重要的因素適當(dāng)?shù)臉悠诽幚砗途牡牟僮鰿ompanyL/moban電鏡使用注意CompanyL/moban電子顯微鏡生產(chǎn)簡況國外電子顯微鏡生產(chǎn)簡況1932年德國物理學(xué)家Knoll和Ruska研制成功第一臺透射電子顯微鏡。20世紀(jì)80年代末，商品透射電子顯微鏡普遍進(jìn)入市場。主要電鏡廠家：日本日立（Hitachi）公司日本電子光學(xué)實(shí)驗(yàn)室（JEOL)荷蘭菲利浦公司（Philips）（即美國FEI公司）德國蔡司（Zeiss）公司捷克英國劍橋CompanyL/moban電子顯微鏡生CompanyL/moban電子顯微鏡生產(chǎn)簡況國內(nèi)電子顯微鏡生產(chǎn)簡況1959中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所研制成功第一臺透射電子顯微鏡10萬倍100kv重大科學(xué)技術(shù)成1975中國科學(xué)院北京科學(xué)儀器廠研制成功第一臺掃描電子顯微鏡電鏡廠家：中國科學(xué)院北京科學(xué)儀器廠研制中心上海電子光學(xué)技術(shù)研究所南京光學(xué)儀器廠CompanyL/moban電子顯微鏡生CompanyL/moban總結(jié)

隨著電鏡技術(shù)的不斷發(fā)展，以及與其他方法的綜合使用，還出現(xiàn)了免疫電鏡、電鏡細(xì)胞化學(xué)技術(shù)、電鏡圖像分析技術(shù)及全息顯微術(shù)等。

電鏡技術(shù)也有其局限性：如電鏡設(shè)備昂貴、樣本制備較復(fù)雜、實(shí)驗(yàn)費(fèi)用較高；另外，由于樣本取材少，觀察范圍有限，有時(shí)還可能會(huì)遺漏信息；當(dāng)用于輔助腫瘤外檢診斷時(shí)，只能判定組織或細(xì)胞的來源，不能確定腫瘤的良惡性。CompanyL/moban總結(jié)ThankYou!ThankYou!知識回顧KnowledgeReview知識回顧KnowledgeReview電子顯微鏡electronmicroscope電子顯微鏡electronmicroscopeCompanyL/mobanContents電子顯微鏡的定義、用途及種類1電子顯微鏡的歷史及發(fā)展2電子顯微鏡的組成3電子顯微鏡的生產(chǎn)情況4CompanyL/mobanContenCompanyL/moban電子顯微鏡的定義電子顯微鏡(electronmicroscope，EM)一般是指利用電磁場偏折、聚焦電子及電子與物質(zhì)作用所產(chǎn)生散射之原理來研究物質(zhì)構(gòu)造及微細(xì)結(jié)構(gòu)的精密儀器。近年來，由于電子光學(xué)的理論及應(yīng)用發(fā)展迅速，此項(xiàng)定義已嫌狹窄，故重新定義其為一項(xiàng)利用電子與物質(zhì)作用所產(chǎn)生之訊號來監(jiān)定微區(qū)域晶體結(jié)構(gòu)、微細(xì)組織、化學(xué)成份、化學(xué)鍵結(jié)和電子分布情況的電子光學(xué)裝置。用電子光學(xué)儀器研究物質(zhì)組織、結(jié)構(gòu)、成分的技術(shù)稱為電子顯微術(shù)。CompanyL/moban電子顯微鏡的CompanyL/moban電子顯微鏡主要發(fā)展史1932年1939年1965年1959年1975年1981年德國物理學(xué)家Knoll和Ruska研制成功第一臺透射電子顯微鏡德國西門子公司生產(chǎn)了第一臺商品用的透射電子顯微鏡英國劍橋科學(xué)儀器有限公司掃描電子顯微鏡作為商品問世中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所研制成功第一臺透射電子顯微鏡中國科學(xué)院北京科學(xué)儀器廠研制成功第一臺掃描電子顯微鏡瑞士科學(xué)家Binnig、Rohrer、Gerber和Weible發(fā)明掃描隧道顯微鏡CompanyL/moban電子顯微鏡主CompanyL/moban電子顯微鏡MaxKnoll(1897-1969)ErnstRuska(1906-1988)1938年，德國工程師MaxKnoll和ErnstRuska制造出了世界上第一臺透射電子顯微鏡(TEM)。電子顯微鏡的分辨率可以達(dá)到納米級(10-9nm)?？梢杂脕碛^察很多在可見光下看不見的物體,例如病毒。CharlesOatley1952年，英國工程師CharlesOatley制造出了第一臺掃描電子顯微鏡(SEM)。世界上第一臺電子顯微鏡CompanyL/moban電子顯微鏡MCompanyL/moban

電子顯微鏡技術(shù)發(fā)展簡史CompanyL/moban電子顯微鏡CompanyL/moban電子顯微鏡的組成電子顯微鏡由鏡筒、真空裝置和電源柜三部分組成。鏡筒熒光屏探測器電子透鏡樣品架電子源電子源是一個(gè)釋放自由電子的陰極，柵極，一個(gè)環(huán)狀加速電子的陽極構(gòu)成的。

電子透鏡用來聚焦電子，是電子顯微鏡鏡筒中最重要的部件。探測器用來收集電子的信號或次級信號真空裝置用以保障顯微鏡內(nèi)的真空狀態(tài)，這樣電子在其路徑上不會(huì)被吸收或偏向，由機(jī)械真空泵、擴(kuò)散泵和真空閥門等構(gòu)成，并通過抽氣管道與鏡筒相聯(lián)接。電源柜由高壓發(fā)生器、勵(lì)磁電流穩(wěn)流器和各種調(diào)節(jié)控制單元組成樣品可以穩(wěn)定地放在樣品架上。此外往往還有可以用來改變樣品（如移動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)、加熱、降溫、拉長等）的裝置。CompanyL/moban電子顯微鏡CompanyL/moban電子顯微鏡技術(shù)的應(yīng)用樣品制備方法主要包括：超薄切片、負(fù)染色、金屬投影、冷凍復(fù)型、快速冷凍深度蝕刻技術(shù)、免疫電子顯微鏡術(shù)、掃描電鏡常規(guī)樣品制備及掃描電鏡冷凍斷裂技術(shù)等。在生命科學(xué)領(lǐng)域可用于胚胎及組織發(fā)生學(xué)方面的研究和觀察；在臨床上可用于多種疾病亞細(xì)胞結(jié)構(gòu)病變的觀察和診斷，特別是腎小球疾病及肌病的診斷，以及一些疑難腫瘤的組織來源和細(xì)胞屬性判定，如一些去分化、低分化或多向分化腫瘤的診斷和鑒別診斷；在農(nóng)林科學(xué)方面，電鏡技術(shù)對植物各種疾病病因診斷與防治的研究越來越重要。利用電鏡技術(shù)觀察高分子、表面活性劑、碳納米管及納米粒子等結(jié)構(gòu)形態(tài)，為化學(xué)及材料科學(xué)研究提供了有力的技術(shù)手段。CompanyL/moban電子顯微鏡技CompanyL/moban電子顯微鏡的分類分類：電子顯微鏡按結(jié)構(gòu)和用途可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、反射式電子顯微鏡、發(fā)射式電子顯微鏡等。1透射電鏡是透射成像，圖像是二維的，靠欠焦形成一定的圖像反差。透射式電子顯微鏡常用于觀察那些用普通顯微鏡所不能分辨的細(xì)微物質(zhì)結(jié)構(gòu)2掃描電鏡是反射成像，圖像是三維的，有很好的立體感，但分辨率低于透射電鏡，目前指標(biāo)分辨率可以達(dá)到3個(gè)納米。掃描式電子顯微鏡主要用于觀察固體表面的形貌，也能與X射線衍射儀或電子能譜儀相結(jié)合，構(gòu)成電子微探針，用于物質(zhì)成分分析3發(fā)射式電子顯微鏡用于自發(fā)射電子表面的研究。用途CompanyL/moban電子顯微鏡的CompanyL/moban透射電子顯微鏡透射電子顯微鏡TEM（TransmissionElectronMicroscopy，亦稱投射式電子顯微鏡）因電子束穿透樣品后，再用電子透鏡成像放大而得名。成像原理：透射電鏡是以電子束透過樣品經(jīng)過聚焦與放大后所產(chǎn)生的物像，投射到熒光屏上或照相底片上進(jìn)行觀察。透射電鏡的分辨率為0.1～0.2nm，放大倍數(shù)為幾萬～幾十萬倍。由于電子易散射或被物體吸收，故穿透力低，必須制備更薄的超薄切片（通常為50～100nm）。其制備過程與石蠟切片相似，但要求極嚴(yán)格。要在機(jī)體死亡后的數(shù)分鐘釣取材，組織塊要小(1立方毫米以內(nèi)），常用戊二醛和餓酸進(jìn)行雙重固定樹脂包埋，用特制的超薄切片機(jī)（ultramicrotome）切成超薄切片，再經(jīng)醋酸鈾和檸檬酸鉛等進(jìn)行電子染色。電子束投射到樣品時(shí)，可隨組織構(gòu)成成分的密度不同而發(fā)生相應(yīng)的電子發(fā)射，如電子束投射到質(zhì)量大的結(jié)構(gòu)時(shí)，電子被散射的多，因此投射到熒光屏上的電子少而呈暗像，電子照片上則呈黑色，稱電子密度高構(gòu)造：透射式電子顯微鏡鏡筒的頂部是電子槍，電子由鎢絲熱陰極發(fā)射出、通過第一，第二兩個(gè)聚光鏡使電子束聚焦。電子束通過樣品后由物鏡成像于中間鏡上，再通過中間鏡和投影鏡逐級放大，成像于熒光屏或照相干版上。中間鏡主要通過對勵(lì)磁電流的調(diào)節(jié)，放大倍數(shù)可從幾十倍連續(xù)地變化到幾十萬倍；改變中間鏡的焦距，即可在同一樣品的微小部位上得到電子顯微像和電子衍射圖像。CompanyL/moban透射電子顯微CompanyL/moban透射電子顯微鏡透射電鏡CompanyL/moban透射電子顯微CompanyL/moban掃描電子顯微鏡掃描電子顯微鏡SEMScanningElectronMicroscopes掃描電鏡是繼透射電鏡之后發(fā)展起來的一種電鏡。與之不同的是，SEM是聚焦電子束在試樣表面逐點(diǎn)掃描成像，試樣為塊狀或粉末顆粒，成像信號為二次電子、背散射電子或吸收電子成像原理：二次電子成像：由電子槍發(fā)射的能量為5~35keV的電子，以其交叉斑作為電子源，經(jīng)聚焦縮小后形成具有一定能量、強(qiáng)度和直徑的微細(xì)電子束，在掃描線圈驅(qū)動(dòng)下在試樣表面做柵網(wǎng)式掃描。電子束與試樣作用產(chǎn)生的二次電子的量隨試樣表面形貌而變，二次電子信號被探測器收集轉(zhuǎn)換成電訊號，經(jīng)處理后得到反應(yīng)試樣表面形貌的二次電子像掃描式電子顯微鏡的分辨率主要決定于樣品表面上電子束的直徑。放大倍數(shù)是顯像管上掃描幅度與樣品上掃描幅度之比，可從幾十倍連續(xù)地變化到幾十萬倍。掃描式電子顯微鏡不需要很薄的樣品；圖像有很強(qiáng)的立體感；能利用電子束與物質(zhì)相互作用而產(chǎn)生的次級電子、吸收電子和X射線等信息分析物質(zhì)成分掃描式電子顯微鏡的電子槍和聚光鏡與透射式電子顯微鏡的大致相同，但是為了使電子束更細(xì)，在聚光鏡下又增加了物鏡和消像散器，在物鏡內(nèi)部還裝有兩組互相垂直的掃描線圈。物鏡下面的樣品室內(nèi)裝有可以移動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)和傾斜的樣品臺。CompanyL/moban掃描電子顯微CompanyL/moban掃描電子顯微鏡基本原理掃描電鏡(SEM)SEM的基本原理CompanyL/moban掃描電子顯微CompanyL/moban

掃描電子顯微鏡的工作內(nèi)容微區(qū)形貌觀測

①二次電子像可得到物質(zhì)表面形貌反差的信息，即微觀形貌像②背反射電子像可得到不同區(qū)域內(nèi)平均原子序數(shù)差別的信息，即組成分布像。③X射線元素分布像可得到樣品表面元素及其X射線強(qiáng)度變化的分布圖像。掃描電鏡工作內(nèi)容微區(qū)定性和定量分析

與常規(guī)的定性、定量分析方法不同的是，掃描電子顯微鏡系統(tǒng)是在微觀形貌觀測的基礎(chǔ)上，針對感興趣區(qū)域進(jìn)行特定的定性或定量分析。CompanyL/moban掃描電子顯CompanyL/moban掃描電鏡的最大特點(diǎn)焦深大，圖像富有立體感，特別適合于表面形貌的研究放大倍數(shù)范圍廣，從十幾倍到2萬倍，幾乎覆蓋了光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡的范圍制樣簡單，樣品的電子損傷小這些方面優(yōu)于透射電子顯微鏡，所以掃描電鏡成為高分子材料常用的重要剖析手段CompanyL/moban掃描電鏡的最CompanyL/moban掃描電子顯微鏡的應(yīng)用實(shí)例一種PVC粉料的形貌觀測ABS脆件斷裂后微觀形態(tài)的觀測CompanyL/moban掃描電子顯微CompanyL/moban用電鏡觀察的圖片瘧疾破壞的兩個(gè)紅細(xì)胞CompanyL/moban用電鏡觀察的CompanyL/moban用電鏡觀察的圖片CompanyL/moban用電鏡觀察的CompanyL/moban用電鏡觀察的圖片CompanyL/moban用電鏡觀察的CompanyL/moban近年發(fā)展情況高電壓高分辨率分析裝置場發(fā)射電子光源增加電子穿透試樣的能力，可觀察較厚、較具代表性的試樣現(xiàn)場觀察輻射損傷;減少波長散怖像差增加分辨率等已增進(jìn)到廠家保證最佳解像能為點(diǎn)與點(diǎn)間0.18nm、線與線間0.14nm。美國於1983年成立國家電子顯微鏡中心，其中l(wèi)000keV之原子分辨電子顯微鏡其點(diǎn)與點(diǎn)間之分辨率達(dá)0.17nm，可直接觀察晶體中的原子如附加電子能量分析可監(jiān)定微區(qū)域的化學(xué)組成具高亮度及契合性，電子束可小至1nm。除適用於微區(qū)域成份分析外，更有潛力發(fā)展三度空間全像術(shù)透射電子顯微鏡CompanyL/moban近年發(fā)展情況CompanyL/moban近年發(fā)展情況在SEM方面，一方面增高分辨率，同時(shí)加上各種如X光探測微分析儀等之分析儀器，以辨別物質(zhì)表面的結(jié)構(gòu)及化學(xué)成分等。近年來將TEM與SEM結(jié)合為一，取二者之長所制成的掃描穿透式電子顯微鏡(scanningtransmissionelectronmicroscope，簡稱STEM)亦漸普及。CompanyL/moban近