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關于直拉單晶棒少子壽命的檢測第一頁，共十二頁，2022年，8月28日檢測依據(jù)及設備、原理檢測作業(yè)指導書檢測數(shù)據(jù)分析234采樣及其樣品處理1檢測報告書5第二頁，共十二頁，2022年，8月28日

采樣及其樣品處理

一、采樣1、單晶棒2、單晶片：取頭部、中部、尾部各三片，要具有代表性二、樣品處理1、試樣待測面用28~42μm或20~28μm金剛砂研磨或噴砂。2、對圓片試樣，用5~14μm氧化鋁或金剛砂研磨上下表面。第三頁，共十二頁，2022年，8月28日檢測依據(jù)第四頁，共十二頁，2022年，8月28日檢測設備Ｘ射線晶體定向儀原理：如果波長為λ的單色X射線入射到晶體上，要使其能在某晶面產(chǎn)生衍射，使得該晶面的放置位置相對于入射X射線來說滿足布喇格方程2dsinθ=nλ，對不同結構的晶體和不同的晶面其衍射線出現(xiàn)的方位不同，在與入射線的角度為2θ的位置上便會出現(xiàn)衍射線，根據(jù)衍射線的方位就能確定晶體的取向。

X射線的性質：感光作用、螢光作用、電離作用、穿透能力強、X射線的折射率近似等于1、衍射作用第五頁，共十二頁，2022年，8月28日一臺X射線定向儀主要由下幾個部份組成：（1）X射線發(fā)生部分（2）X射線檢測部分（3）樣品臺及轉角測量部分第六頁，共十二頁，2022年，8月28日檢測作業(yè)指導書1、對晶體要求：⑴在檢測前首先確認被測晶體是否為單晶；⑵定向前需先判斷定向面的大致取向，如無法判定則可先假定一個，逐一實驗，直到找到正確晶面；㈢記住樣品假定的方向。2、實驗儀器：X射線定向儀、硅片第七頁，共十二頁，2022年，8月28日

3、實驗步驟：①用前，開機預熱5-10min；②查表，找與之對應的布喇格角θ；③調節(jié)蓋革計數(shù)管放置在2θ的位置上；④開x光電源，按下開關，調電壓，0.8-1.0A之間；⑤開氣閥，吸上標準石英，拉開x光擋板，調數(shù)率旋鈕，搖動手輪找到峰值；⑥換硅片，重復第5步操作；⑦當計數(shù)表達到峰值，記下轉角，求水平偏離角，旋180?，重復上面步驟，兩次測量結果取平均值；⑧將樣品位置復原后，旋轉90?

后，重復操作，測得兩個垂直的偏離角，取平均值⑨利用公式，當時，計算出Φ值第八頁，共十二頁，2022年，8月28日數(shù)據(jù)分析第九頁，共十二頁，2022年，8月28日第十頁，共十二頁，2022年，8月28日Thank

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