無塵室基礎(chǔ)知識簡介上課講義

MrightChang無塵室基礎(chǔ)知識簡介第一頁，共28頁。萬級無塵室千級無塵室第二頁，共28頁。一.無塵室定義二.無塵室的部分(bùfen)應(yīng)用三.無塵室的發(fā)展歷史四.無塵室的分類五.無塵室的等級劃分(huàfēn)七.無塵室的量測八.無塵室的行為規(guī)范目錄六.無塵室基本(jīběn)結(jié)構(gòu)圖第三頁，共28頁。一.無塵室定義無塵室(Cleanroom)是一間能夠控制微塵粒子(lìzǐ)濃度的房間,并且它是采用將引進及產(chǎn)生的污染微塵粒子(lìzǐ)數(shù)降到最低的原則來建造及使用,而且包含其它相關(guān)參數(shù)(例如溫度、濕度和壓力等等)皆必須加以控制在必要之范圍內(nèi)。

——ISO14644-1第四頁，共28頁。二.無塵室的部分(bùfen)應(yīng)用第五頁，共28頁。三.無塵室的發(fā)展歷史1.潔淨室(cleanroom)這個名詞和概念源於18世紀六十年代的歐洲醫(yī)學(xué)，當時的理解僅限於經(jīng)噴灑消毒後可以控制創(chuàng)部感染率的處置室、手術(shù)室這類滅菌處理的工作環(huán)境。

2.

1951年美國研製成功了高效(ɡāoxiào)空氣過濾器(HEPA)。

3.

1961年美國人懷特菲爾特(WillisWhitfield)提出了當時稱之爲層流，現(xiàn)正名爲單向流的潔淨室氣流組織方案。從此潔淨室達到了前所未有的更高潔淨級別。

4.

1961年美國空軍制定頒發(fā)了世界上第一個潔淨室標準TO---00---25---203空軍指令“潔淨室與潔淨工作臺的設(shè)計與運轉(zhuǎn)特性標準”。

5.1963年12月公佈了將潔淨室劃分爲三個級別的美國聯(lián)邦標準FED—STD一209。至此形成了完善的潔淨室技術(shù)的雛形。

6.上世紀六十年代中期，潔淨室在美國各種工業(yè)部門出現(xiàn)。

7.七十年代初潔淨室的建設(shè)重點開始轉(zhuǎn)向醫(yī)療、制藥、食品及生化等行業(yè)。除美國外，其他工業(yè)先進國家，也都十分重視並先後大力發(fā)展了潔淨技術(shù)。第六頁，共28頁。四.無塵室的分類一.分類方式:按照其通風方式來劃分二.類別:1.亂流型無塵室,又稱非單向流無塵室氣流方向不受控制(kòngzhì)，潔淨度較低的無塵室都是用非單一流向型氣流以節(jié)省成本。亂流型無塵室示意(shìyì)圖第七頁，共28頁。2.單一流向型無塵室：氣流以同一個方向移動，這種無塵室稱為單一流向型無塵室，以前稱為層流型無塵室，定義並無多大改變。高潔淨度無塵室需要單一流向型氣流。單一流向型無塵室分類:(1)垂直(chuízhí)層流無塵室(2)水平層流無塵室單一流(yīliú)向型無塵室第八頁，共28頁。垂直(chuízhí)層流無塵室-結(jié)構(gòu)示意圖垂直(chuízhí)式單一方向流無塵室牆壁排風型之垂直(chuízhí)層流無塵室第九頁，共28頁。水平(shuǐpíng)層流無塵室-結(jié)構(gòu)示意圖第十頁，共28頁。五.無塵室的等級劃分(huàfēn)無塵級別劃分定義:以每立方米(或立方英尺)為標準,以量測到的微塵粒子總數(shù)取對數(shù),最后所得(suǒdé)之值即為公制單位(或英制單位)分類之等級.第十一頁，共28頁。人類頭髮的大小肉眼可見之微塵粒子微塵粒子微塵粒子(lìzǐ)的大小第十二頁，共28頁。無塵室等級分類之規(guī)范(1)3,530,000第十三頁，共28頁。無塵室等級分類之規(guī)范(2)第十四頁，共28頁。10萬級無塵為:每立方英尺中含有(hányǒu)粒徑為0.5μm微塵粒子總數(shù)在10萬個以內(nèi)的無塵室.無塵室的等級分類-例第十五頁，共28頁。六.無塵室基本(jīběn)結(jié)構(gòu)圖風淋室潔淨工作臺高效(ɡāoxiào)送風口傳遞窗(無塵級別較高時采用(cǎiyòng))送風系統(tǒng)回風系統(tǒng)第十六頁，共28頁。送風系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖初效過濾網(wǎng)中效過濾網(wǎng)高效(ɡāoxiào)過濾器第十七頁，共28頁。天花(tiānhuā)頂和隔間結(jié)構(gòu)圖天花(tiānhuā)頂高效(ɡāoxiào)送風口縫隙間均為弧形,以防止灰塵堆積隔間第十八頁，共28頁。風淋室外部(wàibù)內(nèi)部第十九頁，共28頁。七.無塵室的量測1.無塵室的三種(sānzhǒnɡ)作業(yè)形態(tài):第二十頁，共28頁。2.測試設(shè)備—粒子(lìzǐ)計數(shù)器第二十一頁，共28頁。3.測試設(shè)備—壓力計在209的舊版本中，正壓有建議值，但是後來就取消(qǔxiāo)了。目前常見的正壓值約是10到25Pa之間。量測時，所有門窗都必須關(guān)上，所有的供、排風系統(tǒng)也必須維持正常運轉(zhuǎn)。斜管式&磁針式壓力計第二十二頁，共28頁。4.測試設(shè)備—風量計第二十三頁，共28頁。5.空氣(kōngqì)采樣點數(shù):NL=√A

NL為最少取樣點數(shù)(取最近(zuìjìn)整數(shù))A為無塵面積6.空氣(kōngqì)采樣時間:一般為1分鐘第二十四頁，共28頁。7.換氣次數(shù):每小時換氣次數(shù)=平均(píngjūn)氣流速度(ft/min)*無塵室面積(m2)*60(分鐘/小時)/無塵室體積(m3)第二十五頁，共28頁。八.無塵室的行為規(guī)范1.人員著裝:1.1.人員必須穿靜電服,靜電鞋;1.2.人員著裝必須穿戴(chuāndài)整潔,頭髮必須完全包在帽子內(nèi);第二十六頁，共28頁。2.無塵室內(nèi)部的行為規(guī)范(部分(bùfen)):2.1.人員進出無塵室必須走更衣室;2.2.無塵室內(nèi)物品(wùpǐn)必須走物品(wùpǐn)風淋室.2.5.門不允許在打開的狀態(tài),且在開門時先確認另一扇門為關(guān)閉狀態(tài);2.8.無塵室內(nèi)必須保持清潔衛(wèi)生,定時打掃;2.7.無塵室內(nèi)禁止(jìnzhǐ)使用紙箱以及可能會污染無塵室環(huán)境的物品;2.6.禁止攜帶私人物品和其他可能會污染無塵室環(huán)境的物品