磁控濺射技術(shù)和透明導(dǎo)電薄膜課件

磁控濺射技術(shù)和透明導(dǎo)電薄膜什么叫鍍膜薄膜：在固體表面上鍍上一層于基體材料不同的薄層材料。厚度通常在幾微米以下。濺射原理成膜示意圖磁控濺射原理電子在加速飛向基片的過(guò)程中受到磁場(chǎng)洛侖磁力的影響，被束縛在靠近靶面的等離子體區(qū)域內(nèi)，并在磁場(chǎng)的作用下圍繞靶面作圓周運(yùn)動(dòng)，該電子的運(yùn)動(dòng)路徑很長(zhǎng)，在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中不斷的與氬原子發(fā)生碰撞電離出大量的氬離子轟擊靶材，經(jīng)過(guò)多次碰撞后電子的能量逐漸降低，擺脫磁力線(xiàn)的束縛，遠(yuǎn)離靶材，最終沉積在基片上。等離子詳解定義:等離子體是一種電離氣體，是離子、電子和高能原子的集合體，整體顯中性，它是一種由帶電粒子組成的電離狀態(tài).等離子體的現(xiàn)象，所發(fā)生的輝光放電原理，產(chǎn)生離子濺射基理（低壓氣體中顯示輝光的氣體放電現(xiàn)象，即是稀薄氣體中的自激導(dǎo)電現(xiàn)象）洛侖磁力：運(yùn)動(dòng)電荷在磁場(chǎng)中受到的作用力磁控濺射設(shè)備

射頻（RF）磁控濺射：SIO2

直流（DC）磁控濺射:ITO、MO、AL

中頻（MF）磁控濺射：SI、MO、AL、NB2O5磁控濺射電源及靶材薄膜的種類(lèi)及應(yīng)用電子工業(yè)：電極、電阻膜、電介質(zhì)膜、絕緣膜、透明導(dǎo)電膜、超導(dǎo)膜等。光學(xué)工業(yè)：熒光膜、反射膜、增透膜、干涉膜等。機(jī)械工業(yè)：硬化膜、耐熱膜、耐腐蝕膜等。能源工業(yè)：聚熱膜、防反射膜、透射膜等。傳感器：熱敏、氣敏、壓敏、氧氣傳感器、紅外線(xiàn)傳感器等。其它：裝飾膜等。光學(xué)薄膜力學(xué)薄膜裝飾薄膜磁控濺射儀器結(jié)構(gòu)圖磁控濺射儀器外觀

大型多弧離子/磁控濺射鍍膜機(jī)?？稍谳^大體積的工件表面鍍制厚度均勻的金屬、合金、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物等防腐、耐磨、導(dǎo)電透明等多種功能薄膜。ITO膜層的主要成份是氧化銦錫。在厚度只有幾千埃的情況下，氧化銦透過(guò)率高，氧化錫導(dǎo)電能力強(qiáng)，液晶顯示器所用的ITO玻璃正是一種具有高透過(guò)率的導(dǎo)電玻璃。電極膜（ITO層）IindiumTinOxido

銦錫氧化物什么是ITO透明導(dǎo)電膜透明導(dǎo)電薄膜厚度：幾十～幾百納米透明性：與玻璃接近導(dǎo)電性：與金屬接近透明導(dǎo)電薄膜種類(lèi)氧化銦錫（ITO）摻鋁氧化鋅（ZAO）多層結(jié)構(gòu)：SiO2/ITOMO-AL-MO觸摸屏太陽(yáng)能電池除霜防霧電磁屏蔽軍事領(lǐng)域：雷達(dá)隱身THANKS中國(guó)觸摸屏網(wǎng)（)32中國(guó)觸摸屏網(wǎng)——無(wú)“觸”不在您下載的該觸摸屏技術(shù)文檔來(lái)自于中國(guó)觸摸屏網(wǎng)()WhatyouaredownloadingarefromChinaTouchscreenSite:()

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