JJF(浙) 1194-2022 閃影像測量儀校準(zhǔn)規(guī)范

(浙)浙江省地方計量技術(shù)規(guī)范JJF（浙）1194-2022閃測影像測量儀校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificationforQuickVideoMeasuringMachines2022-11-14發(fā)布 2023-02-14實施發(fā)布JJF（浙）1194-2022JJF（浙）1194-2022浙）浙）1194-2022CalibrationSpecificationforQuickVideoMeasuringMachines歸口單位：浙江省市場監(jiān)督管理局主要起草單位：浙江省計量科學(xué)研究院參加起草單位：杭州市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督檢測院本規(guī)范委托浙江省計量科學(xué)研究院負(fù)責(zé)解釋本規(guī)范主要起草人：金挺（浙江省計量科學(xué)研究院）王瑛輝（浙江省計量科學(xué)研究院）葉懷儲（浙江省計量科學(xué)研究院）參加起草人：詹宇（州市量技監(jiān)督測院）沈 斌（州徠測量術(shù)有公司）譚明（圳市圖儀股份限公）目 錄引 言 II范圍 1引用文件 1術(shù)語 1概述 1計量特性 2校準(zhǔn)條件 2環(huán)境條件 2測量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備 2校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)方法 2二維探測誤差 3尺寸測量誤差 4測量重復(fù)性 5校準(zhǔn)結(jié)果 5復(fù)校時間間隔 5附錄A校準(zhǔn)原始記錄格式 6附錄B校準(zhǔn)證書內(nèi)容（內(nèi)頁）格式 10附錄C測量不確定度評定示例 I引 言JJF1001-2011JJF1059.1-2012JB/T求和試驗方法。本規(guī)范為首次發(fā)布。II閃測影像測量儀校準(zhǔn)規(guī)范范圍本規(guī)范適用于閃測影像測量儀的校準(zhǔn)。引用文件本規(guī)范引用下列文件：JJF1071-2010 國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則術(shù)語二維探測誤差2Dprobingerror用閃測影像測量儀測定平面圓形實物標(biāo)準(zhǔn)器的半徑變化范圍。注：閃測影像測量儀的工作臺可移動時的二維探測誤差為PM；閃測影像測量儀的工作臺不可移動的二維探測誤差為PS。概述1閃測影像測量儀結(jié)構(gòu)示意圖1—工作臺；2—操作面板；3—Z軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；4—投射光源；5—反射光源；6—光學(xué)鏡頭；7—圖像傳感器閃測影像測量儀又稱一鍵式影像測量儀，簡稱閃測儀，是由上下光源、高像素CCD/CMOS相機(jī)、大視角大景深遠(yuǎn)心鏡頭、不可移動工作臺或可移動工作臺組成，包括廣1（或同一工件在測量范圍內(nèi)的多個相同特征），并能一次性地自動完成所有工件（或特征）測量。1所示。計量特性1所示。

表1計量特性序號計量特性測量設(shè)備1二維探測誤差（PM，PS）圓形靶標(biāo)2尺寸測量誤差（EXY）線紋尺，一維點陣掩膜版，二維點陣掩膜版3測量重復(fù)性注：以上測量設(shè)備可在滿足閃測影像測量儀校準(zhǔn)要求的前提下選擇使用。校準(zhǔn)條件環(huán)境條件環(huán)境溫度：（20±3）℃，且溫度變化不大于1℃/h12h6h。75%。儀器測量室內(nèi)應(yīng)無影響測量的灰塵、噪音、振動、腐蝕性氣體和磁場干擾。6.2 測量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備推薦使用表2所列設(shè)備，允許使用其他滿足不確定度要求的測量標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行校準(zhǔn)。表2測量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備序號設(shè)備名稱技術(shù)要求1圓形靶標(biāo)圓度不超過1/4MPEPS2線紋尺不確定度不大于1/4MPEEXY3一維點陣掩膜版不確定度不大于1/4MPEEXY4二維點陣掩膜版不確定度不大于1/4MPEEXY校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)方法2二維探測誤差PM將圓形靶標(biāo)水平放置于工作臺面上，在視場內(nèi)調(diào)整影像清晰。在工作臺移動的情況下，252。圖2 PM測量示意圖25RmaxRminPM。PS（1030%3。圖3 PS測量示意圖25RmaxRminPS。3注：選擇廣視野測量模式下進(jìn)行校準(zhǔn)。M與。尺寸測量誤差測量位置4個位置進(jìn)行測量。其中兩個位置X+YX-YXY軸方向，4。注：可根據(jù)用戶需要選擇任意位置作為測量位置。圖4測量位置示意圖測量間隔310%，XY90%X+YX-Y方向66%。測量方法當(dāng)使用線紋尺做測量標(biāo)準(zhǔn)時，按7.2.1的要求選擇測量位置。在各測量位置上依次對規(guī)定的線紋間隔進(jìn)行測量。三次測得值的平均值與標(biāo)準(zhǔn)器實際值的差值為尺寸測量誤差。4注：如閃測影像測量儀具有廣視野與高精度兩種測量模式，則需校準(zhǔn)兩種測量模式的尺寸測量誤差。7.2.3測量重復(fù)性10次，按公式（1）計算重復(fù)性。n(n(L L)2ii1 n1式中：s——重復(fù)性,mm；Li——第i次的讀數(shù)值，mm；L——n次讀數(shù)平均值，mm；n——測量次數(shù)，n=10。注：如閃測影像測量儀具有廣視野與高精度兩種測量模式，則需校準(zhǔn)兩種測量模式的測量重復(fù)性。7.3的方法測量拼接模式下測量重復(fù)性。校準(zhǔn)結(jié)果JJF1071-2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》5.12條款中的信息。校準(zhǔn)B。復(fù)校時間間隔5附錄A閃測影像測量儀校準(zhǔn)原始記錄格式二維探測誤差序號二維探測誤差（μm）Rmax（mm）Rmin（mm）1PM2PS測量平面內(nèi)的尺寸測量誤差廣視野模式：EXY測量值（mm）測量值平均值（mm）標(biāo)稱值（mm）偏差（μm）示值誤差（μm）123XYX+YX-Y廣視野模式拼接：EXY測量值（mm）測量值平均值（mm）標(biāo)稱值（mm）偏差（μm）示值誤差（μm）123X6YX+YX-Y高精度模式：EXY測量值（mm）測量值平均值（mm）標(biāo)稱值（mm）偏差（μm）示值誤差（μm）123XYX+YX-Y高精度模式拼接：EXY測量值（mm）測量值平均值（mm）標(biāo)稱值（mm）偏差（μm）示值誤差（μm）123X7YX+YX-Y測量重復(fù)性廣視野模式：序號12345測量值（mm）序號678910測量值（mm）n s= （L2n（m）ii1廣視野模式拼接：序號12345測量值（mm）序號678910測量值（mm）n s= （L2n（m）ii18高精度模式：序號12345測量值（mm）序號678910測量值（mm）n s= （L2n（m）ii1高精度模式拼接：序號12345測量值（mm）序號678910測量值（mm）n s= （L2n（m）ii19JJF1194-2022JJF1194-2022附錄B閃測影像測量儀校準(zhǔn)證書（內(nèi)頁）格式二維探測誤差序號二維探測誤差（μm）1PM2PS尺寸測量誤差EXY廣視野模式廣視野模式拼接高精度模式高精度模式拼接測量值平均值（mm）示值誤差（μm）測量值平均值（mm）示值誤差（μm）測量值平均值（mm）示值誤差（μm）測量值平均值（mm）示值誤差（μm）XYX+YX-Y測量重復(fù)性序號測量重復(fù)性（mm）1廣視野模式2廣視野模式拼接3高精度模式4高精度模式拼接10附錄C尺寸示值誤差測量結(jié)果的不確定度評定示例概述依據(jù)依據(jù)《閃測影像測量儀校準(zhǔn)規(guī)范》,對閃測影像測量儀尺寸示值誤差的測量不確定度進(jìn)行分析和評定。測量方法采用標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺對尺寸示值誤差進(jìn)行直接測量。測量模型依據(jù)本規(guī)范進(jìn)行尺寸示值誤差校準(zhǔn)時，其測量模型見公式（C.1。Ll

（C.1）式中： --------閃測影像測量儀測量平面內(nèi)的尺寸示值誤差；L--------閃測影像測量儀測量值；l---------標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺實際值；不確定度傳播律見公式（C.2）c2(L)u2(c2(L)u2(L)c2(l)u2(l)12式中：

c(L)11 Lc(l)12 l標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量來源分析與計算標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量主要來源包括以下四部分：a)測量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u1；b)閃測影像測量儀分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u2；c)標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u3；d)閃測影像測量儀光柵尺與標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺線膨脹系數(shù)差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u4；111測量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量100mm10100.0011、100.0018100.0013100.0012100.0019100.0018100.0017100.0018100.0011100.0013。i1i1n(xx)2in1則u1=

=0.33μm33s=0.33=0.19μm332閃測影像測量儀分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u23儀器的數(shù)顯裝置的分辨力為0.1μm，服從均勻分布，k= ，則3232u=0.1232測量重復(fù)性和分辨力，兩者中取大值。3標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u3依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺的證書，其測量不確定度為U=(0.20+1.5L)μm，(L-m) k=3，取L=100mm=0.1m,則u0.21.50.1=0.12μm3 34閃測影像測量儀光柵尺與標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺線膨脹系數(shù)差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u4膨脹系數(shù)差的界限在±2.0×10-6℃-1范圍內(nèi)服從三角分布，Δt=3℃。2.010-621000006u4 μm=0.25μm6合成不確定度1標(biāo)準(zhǔn)不確定度一覽表（C.1）12表C.1 標(biāo)準(zhǔn)不確定度一覽表輸入標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u(xi)不確定度分量來源不確定度分量值（μm）ciciu(xi)（μm）u(L)u1測量重復(fù)性0.191