特殊化學(xué)品系統(tǒng)介紹

龍?zhí)稄S特殊化學(xué)品系統(tǒng)介紹單位：廠務(wù)處液化部特化課報告者：宋狄堂2002.9.261TFTQA羅煥明製藥供室區(qū)域充填回收作業(yè)特化設(shè)備化學(xué)品性質(zhì)安全防護系統(tǒng)漏液緊急處理

特化系統(tǒng)安全說明2002.9.262TFTQA羅煥明製L2棟L1A藥供室L1棟廠務(wù)特化藥液供應(yīng)室L2藥供室藥供室區(qū)域2002.9.263TFTQA羅煥明製有機室華南三路L1棟L1藥品供應(yīng)室混酸室無機室藥供室區(qū)域2002.9.264TFTQA羅煥明製廢液回收作業(yè)區(qū)有機室華南二路L2棟行政大樓L2藥品供應(yīng)室酸室鹼室藥供室區(qū)域2002.9.265TFTQA羅煥明製藥供室分布L1藥供系統(tǒng)(L1棟西側(cè))L2藥供系統(tǒng)(L2棟WS)樓層藥供室樓層藥供室--L50酸室、鹼室2F中繼站L30有機室、酸室、鹼室1F有機室、無機室L20有機室、酸室、鹼室B1F地下桶槽區(qū)(L1東側(cè))L10中桶槽區(qū)藥供室區(qū)域2002.9.266TFTQA羅煥明製L2棟充填槽車藥液充填作業(yè)2002.9.267TFTQA羅煥明製L1棟回收槽車藥液回收作業(yè)充填回收作業(yè)2002.9.268TFTQA羅煥明製儲存藥品有機室：有機類藥液

Stripper（光阻剝膜液）、Thinner（光阻稀釋液）

、NMP、丙酮、異丙醇酸室：酸性藥液鋁蝕刻液、ITO蝕刻液、CrT蝕刻液、CAN、磷酸、硝酸鹼室：鹼性藥液顯影液25%、顯影液2.38%、顯影液0.4%、洗劑充填回收作業(yè)2002.9.269TFTQA羅煥明製有機類藥液化學(xué)品性質(zhì)2002.9.2610TFTQA羅煥明製閃火點液體隨著溫度增加，其蒸氣壓增加，當蒸氣與空氣混合達燃燒下限時，遇火燃燒，惟一閃即滅，稱為閃火點。液體之開杯閃火點在攝氏六十五度以下者稱為易燃液體?；瘜W(xué)品性質(zhì)閃火點化學(xué)品＜65℃甲苯、汽油30~65℃煤油、輕油、松節(jié)油、異戊醇、醋酸、Thinner0~30℃異丙醇、甲醇、二甲苯、乙酸戊酯-30~0℃正己烷、環(huán)氧乙烷、丙酮、苯、丁酮＜

-30℃乙醚、汽油、乙醛、環(huán)氧丙烷、二硫化碳有機類藥液大部份均為可燃性，嚴禁火花及熱源。2002.9.2611TFTQA羅煥明製酸性藥液化學(xué)品性質(zhì)2002.9.2612TFTQA羅煥明製鹼性藥液化學(xué)品性質(zhì)※『顯影液』危害特性：類神經(jīng)毒素，吸入、食入或皮

膚大面積接觸，15~30分鐘內(nèi)產(chǎn)生急性中毒抑制呼

吸肌肉群，造成呼吸肌肉癱瘓，心跳減緩，呼吸衰

竭死亡。

人類口服可能致死劑量：25%TMAH0.8cc~4cc

2.38%TMAH8.4cc~42cc。2002.9.2613TFTQA羅煥明製藥液儲存槽

藥液充填至特定化學(xué)品儲槽，以作為庫存特化設(shè)備2002.9.2614TFTQA羅煥明製藥液供應(yīng)設(shè)備藥液由設(shè)備供應(yīng)至無塵室使用端特化設(shè)備2002.9.2615TFTQA羅煥明製廢液儲存槽廢液循重力流方式流至廢液儲槽特化設(shè)備2002.9.2616TFTQA羅煥明製危害分類標示儲槽、設(shè)備標示管路標示特化設(shè)備2002.9.2617TFTQA羅煥明製系統(tǒng)設(shè)備安全項目ChemicalLeakDetector(漏液偵測器)CO2ReliefSystem(CO2鋼瓶消火系統(tǒng))SprinklerHead(灑水系統(tǒng))GasDetector(氣體偵測器)MonitorSystem(中央監(jiān)控系統(tǒng))特化系統(tǒng)安全說明2002.9.2618TFTQA羅煥明製漏液偵測器安全防護2002.9.2619TFTQA羅煥明製截液溝PitPump室內(nèi)室外截液溝預(yù)先防護：設(shè)置於設(shè)備、儲槽之漏液檢知器可及早發(fā)現(xiàn)漏液狀況，通知人員處理。大量處理：由截液溝防止藥液外流，並啟動自動抽液設(shè)備，將大量藥液抽至廢液儲槽。安全防護2002.9.2620TFTQA羅煥明製L1ACO2設(shè)備L2CO2設(shè)備CO2鋼瓶消火系統(tǒng)僅針對有機類藥液設(shè)置安全防護2002.9.2621TFTQA羅煥明製火焰?zhèn)蓽y器L2藥供設(shè)備溫度感知器L1藥供設(shè)備CO2鋼瓶消火系統(tǒng)安全防護2002.9.2622TFTQA羅煥明製灑水系統(tǒng)全區(qū)消防灑水有機室：具有耐火2小時以上之火災(zāi)阻隔設(shè)計酸室：具有耐火1小時以上之火災(zāi)阻隔設(shè)計可供應(yīng)20分鐘以上之消防系統(tǒng)安全防護2002.9.2623TFTQA羅煥明製緊急沖淋洗眼設(shè)備（室內(nèi)外均設(shè)）個人沖淋設(shè)施安全防護2002.9.2624TFTQA羅煥明製氣體偵測器O2偵測器：室內(nèi)氧氣含量不足時（<18%），將發(fā)出警報。安全防護IPA偵測器：當偵測有機氣體外洩，將發(fā)出警報。2002.9.2625TFTQA羅煥明製中央監(jiān)控系統(tǒng)遇異常狀況，請電特化課監(jiān)控室：7387安全防護2002.9.2626TFTQA羅煥明製漏液緊急處理非氣密式連身防護衣。全面式或半面式空氣濾清式口罩

洩漏處理步驟-1穿戴適當防護裝備2002.9.2627TFTQA羅煥明製洩漏處理步驟-2漏液緊急處理隔離災(zāi)區(qū)

劃設(shè)管制區(qū)域，注意

現(xiàn)場情形。洩漏物圍堵

注意洩漏物流向，使用

索狀吸棉圍堵，避免污

染水源地下道。

2002.9.2628TFTQA羅煥明製洩漏處理步驟-3漏液緊急處理洩漏源控制

尋找洩漏點，關(guān)閉閥件。洩漏物質(zhì)處理

控制洩漏情況後，迅速展開

清除動作使用片狀或枕狀吸

液棉吸附。

2002.9.2629TFTQA羅煥明