標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 17874-2010 電子工業(yè)用氣體 三氯化硼》相比于《GB/T 17874-1999 電子工業(yè)用氣體 三氯化硼》，主要在以下幾個方面進(jìn)行了更新與調(diào)整：

  1. 范圍和規(guī)范性引用文件：2010版標(biāo)準(zhǔn)更新了規(guī)范性引用文件，納入了最新發(fā)布的相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，確保技術(shù)要求與測試方法的現(xiàn)代性和準(zhǔn)確性。

  2. 術(shù)語和定義：對三氯化硼的定義及相關(guān)的專業(yè)術(shù)語進(jìn)行了修訂或補(bǔ)充，以更準(zhǔn)確地反映產(chǎn)品特性和行業(yè)共識。

  3. 技術(shù)要求：新標(biāo)準(zhǔn)對三氯化硼的純度、雜質(zhì)含量限值進(jìn)行了重新規(guī)定，可能包括但不限于提高了主要純度指標(biāo)，增加了對特定雜質(zhì)的檢測要求，以滿足電子工業(yè)發(fā)展的更高需求。

  4. 試驗(yàn)方法：詳細(xì)修訂了樣品的取樣、預(yù)處理及分析測試方法，引入了更先進(jìn)的檢測技術(shù)和分析儀器，提升了檢測的精確度和效率。

  5. 檢驗(yàn)規(guī)則：對產(chǎn)品的檢驗(yàn)分類、抽樣方案、合格判定規(guī)則等進(jìn)行了優(yōu)化，以更好地保證產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性和一致性。

  6. 標(biāo)志、標(biāo)簽、包裝、運(yùn)輸和儲存：這部分內(nèi)容也有所更新，明確了更詳細(xì)的標(biāo)識要求、包裝材料和方式，以及在運(yùn)輸和儲存過程中的安全注意事項(xiàng)，以符合當(dāng)前的安全環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。

  7. 實(shí)施日期與替代情況：明確指出2010版標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施日期，并聲明其替代1999版標(biāo)準(zhǔn)，為標(biāo)準(zhǔn)使用者提供了明確的過渡指導(dǎo)。


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  • 2011-01-14 頒布
  • 2011-05-01 實(shí)施
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文檔簡介

ICS71.100.20G86中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T17874-2010代替GB/T17874-1999電子工業(yè)用氣體三氯化硼Gasesforelectronicindustry-Borontrichloride2011-01-14發(fā)布2011-05-01實(shí)施中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布中國國家標(biāo)準(zhǔn)化餐理委員會

GB/T17874-2010前本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T17874—1999《電子工業(yè)用氣體三氯化硼》本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T17874—1999相比主要變化如下：修改范圍(GB/T17874—1999的1.本版的1)；-修改規(guī)范性引用文件(GB/T17874—1999的2,本版的2):修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容（GB/T17874—1999的3.本版的3)：增增加三氯化硼采樣安全要求(本版的4.1.2)；增加三氯化硼尾氣處理措施(本版的4.3)：修改氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷組分的分析方法(GB/T17874—1999的4.2、4.3.本版的4.4、4.5）：修改標(biāo)志、包裝、貼運(yùn)及安全(GB/T17874—1999的5,本版的5)。本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A為規(guī)范性附錄。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC203)提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會（SAC/TC203/SC1)歸口本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：西南化工研究設(shè)計(jì)院、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、光明化工研究設(shè)計(jì)院。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：孫福楠、方華、莊鴻濤、周鵬云。本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：GB/T17874-1999元

GB/T17874-2010電子工業(yè)用氣體三氯化硼1范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了三氯化硼的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、財運(yùn)及安全本標(biāo)準(zhǔn)適用于以粗制三氯化硼為原料.采用吸附、精雷等方法提純制得的三氯化硼.主要用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)所用的擴(kuò)散、離子注入、干法蝕刻等工藝。分子式：BCl。相對分子質(zhì)量：117.1691(按2007年國際相對原子質(zhì)量計(jì)算)2規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件.其隨后所有的修改單(不包括勒誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。GB190危險貨物包裝標(biāo)志GB/T3723工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則GB5099鋼質(zhì)無縫氣瓶GB7144氣瓶顏色標(biāo)志GB/T8984氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳?xì)浠衔锏臏y定氣相色譜法GB14193液化氣體氣瓶充裝規(guī)定GB/T26571特種氣體儲存期規(guī)范《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布.2000年）3技術(shù)要求三氯化硼的技術(shù)要求應(yīng)符合表1的規(guī)定表1技術(shù)指標(biāo)三氯化硼（BCL）純度（體積分?jǐn)?shù)）/10—99.9995氧十氬(O.+Ar)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-氮(N.)含量(體積分?jǐn)?shù))/10--氧化碳(CO)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-0.5二氧化碳(CO.）含量

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