GB/T 17874-1999電子工業(yè)用氣體三氯化硼

IcS71.100.20G86中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T17874-1999電子工業(yè)用氣體三氯化硼Gasesforelectronicindustry--Borontrichloride1999-09-16發(fā)布2000-06-01實(shí)施國(guó)家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

GB/T17874-1999前本標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù)我國(guó)三氯化硼的生產(chǎn)水平和實(shí)際使用情況而制定的.主要技術(shù)內(nèi)容包括適用范圍、技術(shù)要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、安全要求以及產(chǎn)品包裝、標(biāo)志、儲(chǔ)存、運(yùn)輸?shù)?。本?biāo)準(zhǔn)的附錄A是提示的附錄。本標(biāo)準(zhǔn)于1999年9月16日首次發(fā)布。本標(biāo)準(zhǔn)由國(guó)家石油和化學(xué)工業(yè)局提出本標(biāo)準(zhǔn)由西南化工研究設(shè)計(jì)院歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：光明化工研究設(shè)計(jì)院本標(biāo)準(zhǔn)參加起草單位：西南化工研究設(shè)計(jì)院、北京有色金屬研究總院本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：張琳、趙敏、蔡體杰本標(biāo)準(zhǔn)參加起草人：朱心才、蔣文全、余中玉。

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)電子工業(yè)用氣體GB/T17874--1999北明Gasesforelectronicindustry-Borontrichloride分子式：BCls相對(duì)分子質(zhì)量：117.169(按1997年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量)101.3kPa下的沸點(diǎn)：12.4C1范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用三氯化硼氣體的要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、財(cái)存和安全要水。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以粗制三氯化硼為原料,采用吸附、蒸留的方法提純制得的三氯化硼，主要用于電子工業(yè)硅半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)所用的擴(kuò)散、離子注入、干法蝕刻等工藝。2引用標(biāo)準(zhǔn)下列標(biāo)準(zhǔn)所包含的條文·通過(guò)在本標(biāo)準(zhǔn)中引用而構(gòu)成為本標(biāo)準(zhǔn)的條文。本標(biāo)準(zhǔn)出版時(shí).所示版本均為有效。所有標(biāo)準(zhǔn)都會(huì)被修訂，使用本標(biāo)準(zhǔn)的各方應(yīng)探討使用下列標(biāo)準(zhǔn)最新版本的可能性、GB190—1990危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志GB5099-1994鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶GB/T5274—1985氣體分析校校準(zhǔn)用混合氣體的制備稱量法GB7144-1986氣瓶顏色標(biāo)記GB/T7445—1995純氫、高純氫和超純氫GB/T8980-1998高純氮GB11640—1989鋁合金無(wú)縫氣瓶3要求三氯化硼的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表1的要求，其中金屬和顆粒的要求及其檢驗(yàn)方法由供方和用戶商定表1技術(shù)指標(biāo)三氯化硼純度·10-：（V/）99.999氧和氬（以氧計(jì)）含量.10-°（V/V）氮含量.10-（V心）WVVV·氧化碳含量.10-。（V/0.2二氧化碳含量,1