標(biāo)準(zhǔn)解讀
GB/T 17874-1999 是一項(xiàng)中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn),全稱為《電子工業(yè)用氣體 三氯化硼》。該標(biāo)準(zhǔn)主要規(guī)定了電子工業(yè)中使用的三氯化硼氣體的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和儲存要求,旨在確保三氯化硼氣體的質(zhì)量滿足電子工業(yè)生產(chǎn)的需求,保障生產(chǎn)和使用過程的安全性與有效性。
技術(shù)要求
標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)列出了三氯化硼氣體應(yīng)達(dá)到的各項(xiàng)純度指標(biāo),包括但不限于三氯化硼的含量、水分含量、酸度或堿度、可燃性雜質(zhì)、非揮發(fā)性殘留物等關(guān)鍵參數(shù)的具體限量值。這些指標(biāo)對于保證氣體在半導(dǎo)體制造、化學(xué)氣相沉積(CVD)等精密工藝中的性能至關(guān)重要。
試驗(yàn)方法
為驗(yàn)證氣體是否符合規(guī)定的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn),標(biāo)準(zhǔn)中詳細(xì)描述了各種檢測項(xiàng)目的具體測試方法。這包括如何準(zhǔn)確測量三氯化硼的濃度、水分含量的測定、雜質(zhì)分析等,確保檢測結(jié)果的可靠性和重復(fù)性。
檢驗(yàn)規(guī)則
標(biāo)準(zhǔn)明確了產(chǎn)品出廠前的檢驗(yàn)程序,包括例行檢驗(yàn)和型式檢驗(yàn)的要求。它規(guī)定了抽樣方法、批量判定規(guī)則及不合格品的處理辦法,確保每批出廠的產(chǎn)品均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量控制。
包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和儲存
為了保持氣體品質(zhì)并在整個供應(yīng)鏈中安全地搬運(yùn),標(biāo)準(zhǔn)對三氯化硼氣體的包裝材料、容器標(biāo)識、安全警示信息、運(yùn)輸條件及儲存環(huán)境提出了具體要求。例如,要求采用耐壓、防泄漏的容器,并明確標(biāo)注氣體成分、純度、生產(chǎn)日期、有效期及安全注意事項(xiàng),同時要遵循相關(guān)的危險品運(yùn)輸規(guī)定,確保在儲存和運(yùn)輸過程中氣體的穩(wěn)定性和安全性。
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- 被代替
- 已被新標(biāo)準(zhǔn)代替,建議下載現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)GB/T 17874-2010
- 1999-09-16 頒布
- 2000-06-01 實(shí)施
文檔簡介
IcS71.100.20G86中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T17874-1999電子工業(yè)用氣體三氯化硼Gasesforelectronicindustry--Borontrichloride1999-09-16發(fā)布2000-06-01實(shí)施國家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布
GB/T17874-1999前本標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù)我國三氯化硼的生產(chǎn)水平和實(shí)際使用情況而制定的.主要技術(shù)內(nèi)容包括適用范圍、技術(shù)要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、安全要求以及產(chǎn)品包裝、標(biāo)志、儲存、運(yùn)輸?shù)取1緲?biāo)準(zhǔn)的附錄A是提示的附錄。本標(biāo)準(zhǔn)于1999年9月16日首次發(fā)布。本標(biāo)準(zhǔn)由國家石油和化學(xué)工業(yè)局提出本標(biāo)準(zhǔn)由西南化工研究設(shè)計院歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:光明化工研究設(shè)計院本標(biāo)準(zhǔn)參加起草單位:西南化工研究設(shè)計院、北京有色金屬研究總院本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:張琳、趙敏、蔡體杰本標(biāo)準(zhǔn)參加起草人:朱心才、蔣文全、余中玉。
中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)電子工業(yè)用氣體GB/T17874--1999北明Gasesforelectronicindustry-Borontrichloride分子式:BCls相對分子質(zhì)量:117.169(按1997年國際相對原子質(zhì)量)101.3kPa下的沸點(diǎn):12.4C1范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用三氯化硼氣體的要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、財存和安全要水。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以粗制三氯化硼為原料,采用吸附、蒸留的方法提純制得的三氯化硼,主要用于電子工業(yè)硅半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)所用的擴(kuò)散、離子注入、干法蝕刻等工藝。2引用標(biāo)準(zhǔn)下列標(biāo)準(zhǔn)所包含的條文·通過在本標(biāo)準(zhǔn)中引用而構(gòu)成為本標(biāo)準(zhǔn)的條文。本標(biāo)準(zhǔn)出版時.所示版本均為有效。所有標(biāo)準(zhǔn)都會被修訂,使用本標(biāo)準(zhǔn)的各方應(yīng)探討使用下列標(biāo)準(zhǔn)最新版本的可能性、GB190—1990危險貨物包裝標(biāo)志GB5099-1994鋼質(zhì)無縫氣瓶GB/T5274—1985氣體分析校校準(zhǔn)用混合氣體的制備稱量法GB7144-1986氣瓶顏色標(biāo)記GB/T7445—1995純氫、高純氫和超純氫GB/T8980-1998高純氮GB11640—1989鋁合金無縫氣瓶3要求三氯化硼的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表1的要求,其中金屬和顆粒的要求及其檢驗(yàn)方法由供方和用戶商定表1技術(shù)指標(biāo)三氯化硼純度·10-:(V/)99.999氧和氬(以氧計)含量.10-°(V/V)氮含量.10-(V心)WVVV·氧化碳含量.10-。(V/0.2二氧化碳含量,1
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