標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 18994-2014 電子工業(yè)用氣體 高純氯》相比于《GB/T 18994-2003 電子工業(yè)用氣體 高純氯》,主要在以下幾個(gè)方面進(jìn)行了調(diào)整和更新:

  1. 范圍與規(guī)范性引用文件:2014版標(biāo)準(zhǔn)對(duì)適用范圍進(jìn)行了微調(diào),并更新了規(guī)范性引用文件的列表,確保所引用的標(biāo)準(zhǔn)是最新的,以適應(yīng)技術(shù)進(jìn)步和行業(yè)發(fā)展。

  2. 術(shù)語和定義:新增或修訂了一些專業(yè)術(shù)語定義,以便更準(zhǔn)確地描述高純氯的質(zhì)量要求和技術(shù)參數(shù),增強(qiáng)標(biāo)準(zhǔn)的可操作性和準(zhǔn)確性。

  3. 技術(shù)要求:2014版標(biāo)準(zhǔn)對(duì)高純氯的技術(shù)指標(biāo)進(jìn)行了細(xì)化和優(yōu)化,可能包括但不限于純度、雜質(zhì)含量、檢驗(yàn)方法等方面,這些變化旨在提高產(chǎn)品質(zhì)量控制水平,滿足電子工業(yè)日益嚴(yán)格的使用需求。

  4. 試驗(yàn)方法:更新了氣體檢測和分析的方法,引入了更先進(jìn)、更精確的測試技術(shù)和設(shè)備要求,確保測試結(jié)果的可靠性和準(zhǔn)確性。這反映了分析技術(shù)的進(jìn)步和對(duì)高質(zhì)量數(shù)據(jù)的需求。

  5. 檢驗(yàn)規(guī)則與包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、貯存:這部分內(nèi)容也進(jìn)行了相應(yīng)調(diào)整,明確了更詳細(xì)的檢驗(yàn)流程、抽樣規(guī)則以及產(chǎn)品包裝、標(biāo)識(shí)、安全運(yùn)輸和儲(chǔ)存的要求,以保障產(chǎn)品的質(zhì)量和安全性在整個(gè)供應(yīng)鏈中的連續(xù)性。

  6. 規(guī)范性附錄:根據(jù)技術(shù)發(fā)展,可能增加了新的附錄或修改了原有附錄內(nèi)容,提供了更多的技術(shù)指導(dǎo)信息或具體操作指南,幫助企業(yè)和檢測機(jī)構(gòu)更好地執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)。


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....

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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2014-12-22 頒布
  • 2015-07-01 實(shí)施
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文檔簡介

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T18994—2014

代替

GB/T18994—2003

電子工業(yè)用氣體高純氯

Gasesforelectronicindustry—Highpuritychlorine

2014-12-22發(fā)布2015-07-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T18994—2014

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)代替電子工業(yè)用氣體高純氯與相比除編輯

GB/T18994—2003《》。GB/T18994—2003,

性修改外主要技術(shù)內(nèi)容變化如下

:

修改了范圍見第章年版的第章

———(1,20031);

修改了規(guī)范性引用文件見第章年版的第章

———(2,20032);

修改了技術(shù)要求見第章年版的第章

———(3,20033);

修改了抽樣判定見年版的第章

———、(4.1,20035);

刪去了取樣裝置的規(guī)定年版的

———(20034.1);

修改了氧氮一氧化碳二氧化碳烴含量的測定方法見年版的

———、、、、(4.3,20034.3、4.4);

增加了氫含量的測定方法見

———(4.3);

修改了水分含量的測定方法見年版的

———(4.4,20034.5);

增加了金屬元素含量的測定方法見

———(4.5);

修改了標(biāo)志包裝貯運(yùn)及安全見第章年版的第章

———、、(5,20036、7)。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司光明化工研究設(shè)計(jì)院有限公司佛山市華特氣體

:、、

有限公司上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司太和氣體荊州有限公司上海儀盟科技有限公司

、、()、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人周鵬云常俠廖恒易方華劉新明汪正宏楊任

:、、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為

:

———GB/T18994—2003。

GB/T18994—2014

電子工業(yè)用氣體高純氯

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了高純氯的技術(shù)要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則及包裝標(biāo)志運(yùn)輸和儲(chǔ)存

、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于以工業(yè)液氯為原料采用物理吸附等過程生產(chǎn)的高純氯產(chǎn)品該產(chǎn)品主要用于大規(guī)

,。

模集成電路光導(dǎo)纖維高溫超導(dǎo)平板顯示器太陽能等技術(shù)領(lǐng)域

、、、、。

分子式

:Cl2。

相對(duì)分子質(zhì)量按年國際相對(duì)原子質(zhì)量計(jì)算

:70.90(2009)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB190

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質(zhì)無縫氣瓶

GB5099

氣體中微量水分的測定第部分光腔衰蕩光譜法

GB/T5832.33:

氣瓶顏色標(biāo)志

GB7144

氯氣安全規(guī)程

GB11984

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB14193

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標(biāo)簽

GB16804

特種氣體儲(chǔ)存期規(guī)范

GB/T26571

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726—2012

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程版

(2000)

危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例版

(2002)

特種設(shè)備安全監(jiān)察條例版

(2009)

3技術(shù)要求

高純氯的技術(shù)要求應(yīng)符合表的要求

1。

表1技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目指標(biāo)

氯純度體積分?jǐn)?shù)-2

()/10≥99.99999.9995

氫含量體積分?jǐn)?shù)-6

(H2)()/10<0.50.5

氧含量體積分?jǐn)?shù)-6

(O2)

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