標(biāo)準(zhǔn)解讀

GB/T 18994-2003是一項針對電子工業(yè)用氣體中高純氯的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了高純氯的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運輸和儲存要求，旨在確保電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氯氣具有高度的純凈度和可靠性，以滿足精密半導(dǎo)體制造和其他高科技應(yīng)用的嚴(yán)格需求。

技術(shù)要求

標(biāo)準(zhǔn)詳細說明了高純氯的各種質(zhì)量指標(biāo)，包括但不限于：

  • 純度：明確規(guī)定了氯氣中的雜質(zhì)含量上限，如水分、氧、氮以及其他可能影響電子元件性能和生產(chǎn)過程的雜質(zhì)元素含量需極低。
  • 外觀：要求氣體為無色、無懸浮物的澄清狀態(tài)。
  • 物理化學(xué)性質(zhì)：規(guī)定了氣體的壓力、密度等理化指標(biāo)范圍，確保其在特定條件下穩(wěn)定可用。
  • 包裝材料：對盛裝氣體的容器材質(zhì)、清潔度有具體要求，防止二次污染。

試驗方法

標(biāo)準(zhǔn)提供了詳細的檢測方法，用于驗證氣體是否符合規(guī)定的純度和其他質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，包括氣相色譜法、光譜分析法等現(xiàn)代分析技術(shù)，以準(zhǔn)確測定各種雜質(zhì)成分的含量。

檢驗規(guī)則

明確了產(chǎn)品出廠前的檢驗程序，包括抽樣頻率、檢驗項目及合格判定準(zhǔn)則，確保每批次產(chǎn)品均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量控制。

包裝、標(biāo)志、運輸和儲存

  • 包裝：要求使用專用、清潔、干燥的鋼瓶或其他適宜容器進行密封包裝，防止氣體泄漏或污染。
  • 標(biāo)志：規(guī)定了包裝上應(yīng)清晰標(biāo)注的產(chǎn)品信息，如品名、規(guī)格、批號、生產(chǎn)日期、有效期及生產(chǎn)廠家等，便于追蹤和安全管理。
  • 運輸：提供了運輸過程中應(yīng)注意的安全措施，避免劇烈震動、高溫或明火，確保安全運輸。
  • 儲存：說明了儲存條件，如溫度、濕度、通風(fēng)等要求，以及遠離不相容物質(zhì)的存放原則。


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  • 被代替
  • 已被新標(biāo)準(zhǔn)代替，建議下載現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)GB/T 18994-2014
  • 2003-03-05 頒布
  • 2003-08-01 實施
?正版授權(quán)
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ICS71.100.20G86中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T18994-一2003電子工業(yè)用氣體高純氯Gasesforelectronicindustry-Highpuritychlorine2003-03-05發(fā)布2003-08-01實施中華人民共和國愛布國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

GB/T18994一2003前本標(biāo)準(zhǔn)對應(yīng)于國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料組織SEMIC3.32:1995《純度為99.996%的氯標(biāo)準(zhǔn)》(英文版),本標(biāo)準(zhǔn)與SEMIC3.32:1995的一致性程度為非等效·主要技術(shù)差異如下：-質(zhì)量指標(biāo)中增加了對濕度的要求；-對金屬雜質(zhì)的要求改為由用戶和供應(yīng)商之間商定：-檢驗方法中根據(jù)我國的實際水平做了相應(yīng)的改動。本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A是資料性附錄。本標(biāo)準(zhǔn)由原化學(xué)工業(yè)部提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國氣體標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：光明化工研究設(shè)計院。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：孔祥芝、余中玉。

GB/T18994-2003電子工業(yè)用氣體高純氯范范國本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氣體高純氯產(chǎn)品的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運輸及廣存和安全要求。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以工業(yè)液氯為原料,采用物理吸附等過程生產(chǎn)的高純氯產(chǎn)品。該產(chǎn)品主要用于大規(guī)模集成電路、光導(dǎo)纖維、高溫超導(dǎo)、鋁加工等高新技術(shù)領(lǐng)域分子式：l、相對分子質(zhì)量：70.906(按1999年國際相對原子質(zhì)量)101.3kPa下的澇點：-34.05C。101.3kPa下的焙點：-101.0C。101.3kPa及20℃下氣體的密度：2.980kg/m22規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件.其隨后所有的修改單(不包括誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn),然而，鼓勵根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。GB190危險貨物包裝標(biāo)志GB5099鋼質(zhì)無縫氣瓶(GB5099—1994.neqISO4705)GB/T5274氣體分析校準(zhǔn)用混合氣體的制備稱量法（GB/T5274一1985.eqvISO6142)GB/T5832.1氣體中微量水分的測定電解法GB7144氣瓶顏色標(biāo)志GB/T7445純氫、高純氫和超純氫GB/T8980高純氮3要求高純氯的質(zhì)量指標(biāo)應(yīng)符合表1的要求表1質(zhì)量指標(biāo)指氯(CL)氣的體積分?jǐn)?shù)99.996×10-氧(O.)的體積分?jǐn)?shù)4X10-氮(N.)的體積分?jǐn)?shù)20×10-一氧化碳(CO)的體積分?jǐn)?shù)1×10-二氧化碳(CO.)的體積分?jǐn)?shù)10×10-經(jīng)(C～C.）的體積分?jǐn)?shù)1X10-水(H.O)的體積分

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