GB/T 19921-2005硅拋光片表面顆粒測(cè)試方法

ICS77.040.01H17中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T？19921—2005硅拋光片表面顆粒測(cè)試方法Testmethodofparticlesonsiliconwafersurfaces2005-09-19發(fā)布2006-04-01實(shí)施中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T19921-2005前本標(biāo)準(zhǔn)是參照SEMIM25—95《用于硅片檢驗(yàn)系統(tǒng)的相對(duì)于乳膠球直徑的光點(diǎn)缺陷的校準(zhǔn)片規(guī)程》、SEMIM35-0299F《使用自動(dòng)檢查系統(tǒng)探測(cè)硅片表面特性的發(fā)展中的規(guī)范指南》、SEMIM50-1101《使用覆蓋的方法確定掃描表面檢查系統(tǒng)捕獲率和虛假計(jì)數(shù)率的測(cè)試方法》.ASTMF1620—96《應(yīng)用單個(gè)分散的聚苯乙烯乳膠球沉積在拋光或外延硅片表面來(lái)校準(zhǔn)掃描表面檢查系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)程》ASTMF1621—96《對(duì)掃描表面檢查系統(tǒng)的定位準(zhǔn)確性能力測(cè)定的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)程》及SEMATECH技術(shù)轉(zhuǎn)移文件SEMATECH99083800D-TR《一個(gè)改進(jìn)的高精度掃描校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)的先進(jìn)顆粒尺寸測(cè)量技術(shù)》等標(biāo)準(zhǔn)編制。本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)提出，本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：北京有色金屬研究總院本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：孫燕、盧立延、董慧燕、劉紅艷、翟富義本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋，本標(biāo)準(zhǔn)為首次發(fā)布。

GB/T19921-2005硅拋光片表面顆粒沽污是影響半導(dǎo)體器件制造的重要因素，也是一個(gè)重要的材料驗(yàn)收參數(shù)。但是到目前為止.國(guó)際上還沒(méi)有拋光片表面顆粒的測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn),只有相關(guān)的幾個(gè)專業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。為滿足我國(guó)硅材料的生產(chǎn)使用的需求，同時(shí)考慮到與國(guó)際相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的接軌.我們?cè)趯?duì)國(guó)際相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)充分理解、吸收的基礎(chǔ)上.綜合我國(guó)硅材料的生產(chǎn)使用情況及國(guó)際上硅材料的生產(chǎn)和微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和現(xiàn)狀編制了本標(biāo)準(zhǔn)。本標(biāo)準(zhǔn)是一個(gè)硅拋光片表面顆粒測(cè)試的指導(dǎo)文件。從應(yīng)用角度提出了對(duì)顆粒檢測(cè)的環(huán)境、設(shè)備、校淮及測(cè)量等方面的要求。

GB/T19921-2005硅拋光片表面顆粒測(cè)試方法范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了應(yīng)用掃描表面檢查系統(tǒng)（SSIS)對(duì)硅拋光片表面顆粒進(jìn)行測(cè)試、計(jì)數(shù)和報(bào)告的程序本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅拋光片.也可適用于硅外延片或其他鏡面拋光片(如化合物拋光片)。本標(biāo)準(zhǔn)也可適用于觀測(cè)硅拋光片表面的劃痕、桔皮、凹坑、波紋等缺陷,但這些缺陷的檢測(cè)、分類依賴于設(shè)備的功能，并與檢測(cè)時(shí)的初始設(shè)暨有關(guān)住：本標(biāo)準(zhǔn)涉及的方法通常選用波長(zhǎng)（488~633)nm的激光光源，最常用的是488nm的氬離子激光器；目前可測(cè)量的最小顆粒直徑約為0.06km或更小些。規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過(guò)本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有的修改單(不包括勒誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn),然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。ASTMF1620—96應(yīng)用單個(gè)分散的聚苯乙烯乳膠球沉積在拋光或外延硅片表面來(lái)校準(zhǔn)掃描表面檢查系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)程(所有部分)ASTMF1621—96對(duì)掃描表面檢查系統(tǒng)的定位準(zhǔn)確性能力測(cè)定的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)程(所有部分)SEMIM1-0302硅單品拋光片規(guī)范3術(shù)語(yǔ)和定義下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)捕獲率Capturerate掃描表面檢查系統(tǒng)在一-確定的設(shè)置下運(yùn)行時(shí)，檢查系統(tǒng)探測(cè)到的局部光散射體的乳膠球當(dāng)量信號(hào)的概率。3.2動(dòng)態(tài)范圍dynamicrange隨著一種測(cè)試條件的設(shè)定，掃描表面檢查系統(tǒng)可收集信號(hào)的覆蓋范圍33等效尺寸準(zhǔn)確度cquivalentsizingaccuracy在拋光片上沉積的、特定標(biāo)稱尺寸的、單個(gè)分散的聚苯乙烯乳膠球的測(cè)量尺寸分布的變化系數(shù)與由聚苯乙烯乳膠球狀懸浮體供應(yīng)商所提供的球的標(biāo)稱尺寸分布的變化系數(shù)之比、3.4延伸光散射體extendedlightscatterer種特征,比檢測(cè)設(shè)備的空間分辨率大。位于品片表面或近表面，因而引起了相對(duì)于品片周圍光