GB/T 25494-2010吸氣劑成分分析測(cè)試方法

ICS31-030

L90

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T25494—2010

代替

GB/T9506.3—1998,GB/T6626.2—1986,GB/T6625—1986

吸氣劑成分分析測(cè)試方法

Testmethodsforcompositionanalysisofgetters

2010-12-01發(fā)布2011-05-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T25494—2010

前言

本標(biāo)準(zhǔn)是將以下標(biāo)準(zhǔn)整合后進(jìn)行修訂的

:

蒸散型鋇吸氣劑載料和膜中鋇量的測(cè)定

———GB/T9506.3—1988《》;

釋汞吸氣劑性能測(cè)試方法釋汞吸氣劑含汞量的測(cè)試方法

———GB/T6626.2—1986《》;

摻氮吸氣劑含氮量測(cè)試方法

———GB/T6625—1986《》。

本標(biāo)準(zhǔn)與原標(biāo)準(zhǔn)相比主要變化如下

:

在規(guī)范性引用文件中新增吸氣劑術(shù)語(yǔ)

———GB/T4314《》;

將原標(biāo)準(zhǔn)中非國(guó)際單位制的體積百分比濃度體積比濃度當(dāng)量濃度等修訂為國(guó)際單位制

———、、;

取消了原蒸散型鋇吸氣劑載料和膜中鋇量的測(cè)定中對(duì)測(cè)試儀器的產(chǎn)

———GB/T9506.3—1988《》

地型號(hào)的限制并將相應(yīng)的操作步驟進(jìn)行了修訂

、,;

修訂了原蒸散型鋇吸氣劑載料和膜中鋇量的測(cè)定中一些標(biāo)準(zhǔn)溶液配

———GB/T9506.3—1988《》

制的計(jì)算錯(cuò)誤

;

增加蒸散型吸氣劑鎳含量測(cè)試原理測(cè)試方法

———、;

將各測(cè)試方法的內(nèi)容結(jié)構(gòu)調(diào)整為一致

———;

根據(jù)的要求進(jìn)行格式修訂

———GB/T1.1—2000。

本標(biāo)準(zhǔn)代替下列標(biāo)準(zhǔn)

:

蒸散型鋇吸氣劑載料和膜中鋇量的測(cè)定

———GB/T9506.3—1988《》;

釋汞吸氣劑性能測(cè)試方法釋汞吸氣劑含汞量的測(cè)試方法

———GB/T6626.2—1986《》;

摻氮吸氣劑含氮量測(cè)試方法

———GB/T6625—1986《》。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位南京華東賽斯真空材料有限公司工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究所中國(guó)

:、、

電子科技集團(tuán)公司第十二研究所

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人薛函迎郭衛(wèi)斌張巨先劉筠

:、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為

:

———GB/T9506.3—1988;

———GB/T6626.2—1986;

———GB/T6625—1986。

Ⅰ

GB/T25494—2010

吸氣劑成分分析測(cè)試方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了蒸散型鋇吸氣劑載料和蒸散鋇膜中鋇量的測(cè)定方法釋汞吸氣劑含汞量的測(cè)試方法

、、

摻氮吸氣劑載料中含氮量的測(cè)試方法蒸散型吸氣劑鎳含量檢測(cè)方法

、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于真空器件用吸氣劑

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過(guò)本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款凡是注日期的引用文件其隨后所有

。,

的修改單不包括勘誤的內(nèi)容或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)然而鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

(),,

是否可使用這些文件的最新版本凡是不注日期的引用文件其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)

。,。

吸氣劑術(shù)語(yǔ)

GB/T4314

3術(shù)語(yǔ)

所確定的術(shù)語(yǔ)和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)

GB/T4314。

4蒸散型鋇吸氣劑載料和膜中鋇量的測(cè)定

41重量法

.

411適用范圍

..

重量法適用于吸氣劑載料中鋇的測(cè)定當(dāng)蒸著鋇膜中的鋇量大于時(shí)也適用于蒸著鋇膜中

,20mg,

鋇的測(cè)定

。

412原理

..

將吸氣劑載料中的鋇或蒸著鋇膜中的鋇以硫酸鋇的形式沉淀沉淀物經(jīng)過(guò)過(guò)濾灰化和灼燒后稱

,、

重?fù)Q算成鋇量

,。

413試劑與材料

..

鹽酸溶液將分析純濃鹽酸和等體積的去離子水混勻

a)(21%):;

鹽酸溶液份分析純濃鹽酸和份去離子水混勻

b)(0.5%):187.5;

硫酸溶液份分析純濃硫酸與份去離子水混勻

c)(36%):13。

414設(shè)備與器皿

..

分析天平精度達(dá)到

a),0.1mg;

箱式電爐最高溫度

b),1000℃;

陶瓷坩堝

c);

三角燒杯

d);

容量瓶

e);

無(wú)灰過(guò)濾濾紙

f)。

415分析步驟

..

4151取一個(gè)或多個(gè)吸氣劑載料左右置于燒杯中對(duì)于蒸著鋇膜可將蒸在玻殼上

...0.5g,500mL(