GB/T 25497-2010吸氣劑氣體吸放性能測試方法

ICS31-030

L90

中華人民共和國國家標準

GB/T25497—2010

代替

GB/T6626.3—1986,GB/T9506.4—1988,GB/T9506.5—1988,GB/T9506.7—1988,

GB/T9506.8—1988

吸氣劑氣體吸放性能測試方法

Testmethodsforgasabsorbencyandreleaseofgetters

2010-12-01發(fā)布2011-05-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

中華人民共和國

國家標準

吸氣劑氣體吸放性能測試方法

GB/T25497—2010

*

中國標準出版社出版發(fā)行

北京復興門外三里河北街號

16

郵政編碼

:100045

網(wǎng)址

電話

:6852394668517548

中國標準出版社秦皇島印刷廠印刷

各地新華書店經(jīng)銷

*

開本印張字數(shù)千字

880×12301/16125

年月第一版年月第一次印刷

2011220112

*

書號

:155066·1-41574

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:()

GB/T25497—2010

前言

本標準是將以下標準整合后進行修訂的

:

釋汞吸氣劑性能測試方法釋汞吸氣劑放氣量的測試方法

———GB/T6626.3—1986《》;

吸氣劑放氣量測試方法

———GB/T9506.4—1988《》;

摻氮吸氣劑釋氮吸氣動態(tài)曲線測試方法

———GB/T9506.5—1988《》;

蒸散型鋇吸氣劑吸氣性能測試方法

———GB/T9506.7—1988《》;

非蒸散型吸氣劑吸氣性能測試方法

———GB/T9506.8—1988《》。

本標準與原標準相比主要變化如下

:

刪除定義的術語在規(guī)范性引用文件中新增吸氣劑術語

———,GB/T4314《》;

將蒸散型與非蒸散型吸氣性能的測試方法合并為定壓法的吸氣性能測試方法修訂相應的測

———,

試設備要求如對定壓法測試分子流狀態(tài)時的吸氣性能系統(tǒng)的漏放率要求由統(tǒng)一的

。

-7改為在滿足測試準確度要求的前提下按特征吸著容量進行計算吸氣量大

1×10Pa·L/s,,,

的吸氣劑可以適當放寬

;

將定壓法測試非蒸散型吸氣劑的氣體純度的要求由提高到

———99.8%99.99%;

將定壓法測試蒸散型吸氣劑吸氣性能時測不可吸收氣體壓強的時間由延長到

———,15min

25min;

取消釋汞吸氣劑加熱升溫曲線改為內(nèi)線性加熱到

———,30s900°;

去除釋汞吸氣劑性能測試方法釋汞吸氣劑釋汞特性的測試方法中附錄

———GB6626.1—1986《》

關于清洗含汞玻璃系統(tǒng)的部分

A;

取消釋汞吸氣劑和非蒸散型吸氣劑放氣量計算時的氣體修正系數(shù)

———;

取消比放氣量的計算

———;

將蒸散型吸氣劑放氣量測試的起蒸時間由按使用領域劃分更改為按含鋇鈣量劃分

———(…);

取消吸氣劑放氣量測試方法中附錄吸氣劑測試系統(tǒng)容積的推薦值

———GB/T9506.4—1988《》B;

取消摻氮吸氣劑釋氮吸氣動態(tài)曲線測試方法中關于蒸散線圈的要求

———GB/T9506.5—1988《》;

增加釋汞吸氣劑放氣回吸動態(tài)曲線測試方法

———;

增加定容法吸氣性能測試方法

———;

增加各溫度的汞飽和蒸氣壓

———;

根據(jù)的要求進行格式修訂

———GB/T1.1—2000。

本標準代替下列標準

:

釋汞吸氣劑性能測試方法釋汞吸氣劑放氣量的測試方法

———GB/T6626.3—1986《》;

吸氣劑放氣量測試方法

———GB/T9506.4—1988《》;

摻氮吸氣劑釋氮吸氣動態(tài)曲線測試方法

———GB/T9506.5—1988《》;

蒸散型鋇吸氣劑吸氣性能測試方法

———GB/T9506.7—1988《》;

非蒸散型吸氣劑吸氣性能測試方法

———GB/T9506.8—1988《》。

本標準的附錄附錄附錄是規(guī)范性附錄

A、B、C。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

。

本標準起草單位南京華東賽斯真空材料有限公司工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標準化研究所中國

:、、

電子科技集團公司第十二研究所

。

本標準主要起草人薛函迎郭衛(wèi)斌張巨先劉筠

:、、、。

Ⅰ

GB/T25497—2010

本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為

:

———GB/T6626.3—1986;

———GB/T9506.4—1988;

———GB/T9506.5—1988;

———GB/T9506.7—1988;

———GB/T9506.8—1988。

Ⅱ

GB/T25497—2010

吸氣劑氣體吸放性能測試方法

1范圍

本標準規(guī)定了吸氣劑放氣量的測試方法摻氮吸氣劑釋氮吸氣動態(tài)曲線的測試方法釋汞吸氣劑放

、、

氣回吸曲線的測試方法定壓法吸氣性能測試方法定容法吸氣性能測試方法等吸氣劑氣體吸放性能測

、、

試方法

。

本標準適用于真空器件用吸氣劑

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款凡是注日期的引用文件其隨后所有

。,

的修改單不包括勘誤的內(nèi)容或修訂版均不適用于本標準然而鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究

(),,

是否可使用這些文件的最新版本凡是不注日期的引用文件其最新版本適用于本標準

。,。

吸氣劑術語

GB/T4314

3術語

所確定的術語和定義適用于本標準

GB/T4314。

4吸氣劑放氣量測試

41原理

.

本方法采用定容法即利用在恒溫下測量一定時間間隔中某已知容積的容器內(nèi)的壓強變化量

“”。,

求出放氣量

。

42測試設備和條件

.

測試設備如圖

1。

前級泵高真空計