- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2011-01-14 頒布
- 2011-05-01 實(shí)施
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文檔簡(jiǎn)介
犐犆犛71.100.20
犌86
中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)
犌犅/犜26249—2010
電子工業(yè)用氣體硒化氫
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20110114發(fā)布20110501實(shí)施
中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局
發(fā)布
中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
書
犌犅/犜26249—2010
前言
本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A和附錄B為規(guī)范性附錄。附錄C為資料性附錄。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203)提出。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203/SC1)歸口。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:中國計(jì)量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計(jì)院、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、河
北保定市北方特種氣體有限公司。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:周澤義、方華、莊鴻濤、李建浩、周鵬云、徐少兵。
Ⅰ
書
犌犅/犜26249—2010
電子工業(yè)用氣體硒化氫
1范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硒化氫的技術(shù)要求,試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于硒鋁、硒鎂合金化合物水解、單質(zhì)硒與氫高溫反應(yīng)等方法獲得并經(jīng)精制得到的硒化氫
產(chǎn)品。它主要用于太陽能電池、半導(dǎo)體和集成電路生產(chǎn)的外延、離子注入和摻雜。
分子式:H2Se。
相對(duì)分子質(zhì)量:80.97588(按2007年國際相對(duì)原子質(zhì)量計(jì)算)。
2規(guī)范性引用文件
下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有
的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn),然而,鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究
是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。
GB190危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志
GB/T3723工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則
GB5099鋼質(zhì)無縫氣瓶
GB/T5832.1氣體中濕度的測(cè)定第1部分:電解法
GB7144氣瓶顏色標(biāo)志
GB/T8984氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳?xì)浠衔锏臏y(cè)定氣相色譜法
GB/T11640鋁合金無縫氣瓶
GB14193液化氣體氣瓶充裝規(guī)定
GB/T26571特種氣體儲(chǔ)存期規(guī)范
《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》(國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布,2000年)
3技術(shù)要求
硒化氫的技術(shù)要求應(yīng)符合表1的規(guī)定。
表1技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng)目指標(biāo)
-2
硒化氫(H2Se)純度(體積分?jǐn)?shù))/10≥99.99
-6
氫(H2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10≤20
-6
氧+氬(O2+Ar)含量(體積分?jǐn)?shù))/10≤10
-6
氮(N2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10≤20
一氧化碳(CO)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6≤10
-6
二氧化碳(CO2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10≤10
總烴(以甲烷計(jì))含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6≤10
-6
硫化氫(H2S)含量(體積分?jǐn)?shù))/10
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