芯源微電子設(shè)備

KINGSEMI（高效機(jī)械手型號(hào):KS-S（Ⅲ）150-應(yīng)用 4/6″標(biāo)準(zhǔn)圓形基沈陽芯源微沈陽芯源微電子設(shè)11TOC\o"1-1"\h\z\u一、設(shè)備概 二、應(yīng)用范 三、產(chǎn)品工作描 四、基本配置及技術(shù)參 五、主操作界面（供參考 六、設(shè)備布置圖（供參考 七、設(shè)備外形尺寸圖（供參考 八、設(shè)備外觀圖（供參考 九、設(shè)備性能及工藝驗(yàn)收指標(biāo)（以4寸基片為準(zhǔn) S（）150-C用于4/適用4寸標(biāo)準(zhǔn)圓形藍(lán)寶石及6寸硅基片勻膠工藝處理三、產(chǎn)品工作描勻膠單勻膠單元基片采用真空吸附方式定位，主軸電機(jī)采用進(jìn)流無刷伺服電機(jī)，保證旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速、加速控制精度高、重復(fù)性、穩(wěn)定性好；多件套組成的防濺、廢液收集、氣流控制；為人身安全，防濺杯（罩P熱盤單0.1mm厚間隙，受熱更均勻，先進(jìn)PID溫度控制，溫度控制更穩(wěn)定。冷盤單0.1mm厚間隙，制冷更均PID溫度控制，溫度控制更穩(wěn)定。采用電子制冷片溫度控制，溫度可以迅速穩(wěn)定，多片制冷片功控制軟/控制系統(tǒng)由工控機(jī)組成，采用大屏幕觸摸屏，動(dòng)態(tài)畫面人機(jī)交互，顯示設(shè)備運(yùn)行過各工藝功能執(zhí)行情況；工藝參數(shù)數(shù)字化檢測(cè)控制，分等級(jí)、嚴(yán)重緊急情況、超限；自由編制、修改、編輯、、KS-S（Ⅲ）150- 星型勻膠機(jī)基本配置及機(jī)器框架噴塑碳鋼三層結(jié)構(gòu)，上層為電控系統(tǒng)、中間為工藝處理模塊，下層為供液及排廢系統(tǒng)、保障系統(tǒng)接口基片規(guī)圓基片：4/6盒站部傳片單

材質(zhì)：4寸藍(lán)寶石、6盒站單元：4/6寸標(biāo)準(zhǔn)片盒盒站數(shù)量：2個(gè)片盒檢測(cè)：反射式傳感器機(jī)器人：雙臂、真空吸附晶片機(jī)器人轉(zhuǎn)軸：4軸（R1，R2，Z，θ）行程范圍：Z-450mmT-最大速度：Z-R2-±0.1mm以內(nèi)手指材質(zhì)：陶瓷晶圓檢測(cè)：數(shù)字真空傳感器勻膠單 2離心機(jī)轉(zhuǎn)最大轉(zhuǎn)速：6000rpm（空載）最小調(diào)整量：1rpm轉(zhuǎn)速精度：±1rpm(50rpm～5000最大加速度：吸盤接觸模式：小面積接觸光刻4mm噴嘴數(shù)量：2個(gè)噴嘴保濕：有光刻膠過濾：有4寸基片背面功能 6寸基片背面功能 6寸正面去邊功能 CUP功能 有（電機(jī)漏液防護(hù)功能 收集杯材質(zhì) PP(聚丙烯 機(jī)臺(tái)內(nèi)部潔凈度檢測(cè) 0.3um,class熱盤單

熱盤數(shù)量：6溫度范圍：最小調(diào)整量：溫度均勻性：50℃—130℃：±1130.1℃—180℃：±2溫控方式：PID算：溫度雙鋁制硬質(zhì)陽極化接觸間隙：0.1mm支柱材質(zhì)：冷盤單

冷盤數(shù)量：2溫度范圍：最小調(diào)整量：溫度均勻性：18℃～28℃±0.2溫控方式：PID算：溫度雙鋁制硬質(zhì)陽極化接觸間隙：0.1mm支柱材質(zhì)：化學(xué)品供光刻容積：高精度電動(dòng)計(jì)量泵膠瓶蓋：快插接頭方式排泡裝置：有 CUP種類：1液罐：110公升不銹鋼罐供應(yīng)方式：N2壓出加注方式：手動(dòng)（ORMON）排泡裝置：有系統(tǒng)控控制系統(tǒng)：顯示系統(tǒng)：15英寸觸摸屏操作系統(tǒng)：Windows通信方式：以太網(wǎng)信號(hào)塔類型：紅、黃、綠3廠務(wù)系CDA（干燥潔氣壓力：≥0.5Mpa數(shù)量：1套VAC（真空系統(tǒng)壓力：≤-85KPa數(shù)量：1套N2（工藝氮?dú)?/p>

壓力：≥0.4Mpa流量≥30L/min數(shù)量：1套連接方式：3/8″PCW（冷卻循環(huán)水系統(tǒng)壓力差：流量： 1進(jìn)口水溫 連接方式 3/8″卡套接Exh.（排氣勻膠單元排氣 1套、熱盤單元排氣 1套、 Φ100mm管Drain（廢液排放廢膠排放：1連接方式：1″連接位置 電源 380VAC；三相五線

外形尺寸L=1510W=1610；H=1900(mm)；設(shè)備重量：1100Kg；五、主操作界面（供參考六、設(shè)備布置圖（供參考七、設(shè)備外形尺寸圖（供參考八、設(shè)備外觀圖（供參考九、設(shè)備性能及工藝驗(yàn)收指標(biāo)（以4寸基片為準(zhǔn)模塊電機(jī)檢測(cè)試最大轉(zhuǎn)速：6000rpm（空載最小調(diào)整量：±1rpm（50-5000rpm）加速度：30000rpm熱盤均勻性：50℃—130℃：±1130.1℃—180℃：±2冷盤均勻性：18℃～28℃±0.2產(chǎn)能 從第一片回盒開始計(jì)算 片次/小時(shí)以工藝驗(yàn)收涂膠均勻性計(jì)算方法：（T