KM-常見ESD防護(hù)及量測方法

常見ESD防護(hù)及量測方法報(bào)告單位:BEOLBU品管課指導(dǎo)主管:蔣偉報(bào)告人:牛麗靜報(bào)告日期:2007年10月23日1內(nèi)容概述靜電的成因及影響ESD的防護(hù)ESD量測方法2

名詞解釋ESC–ElectrostaticCharge(靜電充電)ESD–

ElectrostaticDischarge(靜電放電)靜電的產(chǎn)生是物質(zhì)表面經(jīng)由某種過程(如摩擦)而失去或得到電子,使其帶“不流動”的電荷稱為靜電.靜電的成因及影響靜電的成因3靜電產(chǎn)生類型摩擦帶電---指電子束縛能力不同的兩種物體相接觸並分離時(shí),產(chǎn)生的靜電.摩擦帶電序列表,(見右圖):感應(yīng)帶電---一帶電體與不帶電體相互靠近時(shí),因電荷閒的相互作用,不帶電體內(nèi)部電荷會發(fā)生變化(見右圖):靜電的成因及影響+++++++++++++++-------+-++-+--+-+空氣人手玻璃皮毛紙張木材聚酯薄膜鐵氟龍Positive+Negative-4靜電的成因及影響靜電吸附造成產(chǎn)品污染靜電放電造成產(chǎn)品擊傷電磁干擾擾亂設(shè)備運(yùn)行靜電放電輻射出的無線波對微處理器及運(yùn)行設(shè)備產(chǎn)生電磁干擾,導(dǎo)致設(shè)備軟體錯(cuò)誤,運(yùn)行中段……靜電的影響5++++++Panel靜電的成因及影響靜電吸附造成產(chǎn)品污染我們FEOL製程中為甚麼會產(chǎn)生亮點(diǎn),CELL內(nèi)異物等不良?+-產(chǎn)生靜電例:Panel運(yùn)行過程中由於摩擦產(chǎn)生靜電,污染物Particle在靜電力影響下,會發(fā)生如下圖所示變化:6內(nèi)容概述靜電的成因及影響ESD的防護(hù)ESD量測方法7ESD發(fā)生的條件ESD的防護(hù)急速充電電荷累積急速放電LCD製造流程中ESD的防護(hù)減少靜電源阻止電荷積累減緩產(chǎn)品放電包裝材質(zhì)的預(yù)防設(shè)備及人員接地靜電消除器環(huán)境方面預(yù)防8

結(jié)論:在溫度25℃條件下,為有效防止靜電荷的產(chǎn)生,同時(shí)考慮產(chǎn)品和設(shè)備防腐問題,溼度保持在50%~70%為最佳。環(huán)境溫溼度的範(fàn)圍(地毯上走動)(塑膠地板上走動)(工作臺操作)影響靜電充電的主要環(huán)境因素:相對溼度.下圖為人體在恒溫25℃,不同濕度下的帶電狀況:環(huán)境方面的預(yù)防91.ESD防護(hù)的重要方法---接地消散.設(shè)備及人員接地與產(chǎn)品相接觸設(shè)備的接地2.接地的目的:

使帶電體所產(chǎn)生的電荷迅速疏導(dǎo)至大地,抑制電荷的累積,從而降低接觸產(chǎn)品時(shí)的充電量.10(1)靜電接地的對象:對地絕緣的金屬導(dǎo)體,不管體積的大小都應(yīng)對其接地,不可因體積較小而忽略.3.設(shè)備接地注意事項(xiàng):設(shè)備及人員接地(2)接地方式(如下圖):一般采用接地鏈或接地導(dǎo)線.11設(shè)備及人員接地OKNGNG

PS:ESDS20.20要求---當(dāng)人員在靜電防護(hù)區(qū)工作,且觸摸靜電敏感物時(shí),都應(yīng)使用靜電環(huán).人員的接地靜電環(huán):其穿戴方式如下圖:靜電衣:使人體的靜電維持在0電位;靜電鞋:通過接觸導(dǎo)電地板將人體產(chǎn)生的電荷導(dǎo)至大地.12ESD發(fā)生的條件ESD的防護(hù)急速充電電荷累積急速放電LCD製造流程中ESD的防護(hù)減少靜電源阻止電荷積累減緩產(chǎn)品放電包裝材質(zhì)的預(yù)防設(shè)備及人員接地靜電消除器環(huán)境方面預(yù)防13靜電消除器常見靜電消除器PS:對於紙張、布匹以及產(chǎn)品運(yùn)行過程等較難靠接地來解決電荷累積,必須使用靜電消除設(shè)備.IONFanIONBar14靜電消除器靜電消除器的工作原理靜電消除器的工作原理是通過針尖放電,產(chǎn)生正負(fù)兩種電荷,之後與產(chǎn)品產(chǎn)生的正負(fù)電荷相中和,最終達(dá)到減少電荷累積的目的.HighVoltagePowerSupply+15,000VHighVoltagePowerSupply-15,000V-----------++++++++++IONFan與產(chǎn)品閒距離範(fàn)圍為30cm~60cm;IONBar與產(chǎn)品閒距離範(fàn)圍為15cm~1m.ESD發(fā)生的條件ESD的防護(hù)急速充電電荷累積急速放電LCD製造流程中ESD的防護(hù)減少靜電源阻止電荷積累減緩產(chǎn)品放電包裝材質(zhì)的預(yù)防設(shè)備及人員接地靜電消除器環(huán)境方面預(yù)防16包裝材質(zhì)的預(yù)防絕緣體>1012

/Square

靜電消散級105~1012/Square

導(dǎo)電級<105/Square材料等級分類—依據(jù)表面阻抗值區(qū)分

PS:當(dāng)產(chǎn)品接觸靜電消散級材質(zhì)時(shí),其所帶電荷可減緩釋放.目前,我們產(chǎn)線使用的靜電消散級材料,主要有:導(dǎo)電地板,Cassette,tray盤,傳送帶,PE片,EPP-Box,均壓布,靜電衣以及靜電袋等.17ESD發(fā)生的條件ESD的防護(hù)急速充電電荷累積急速放電LCD製造流程中ESD的防護(hù)減少靜電源阻止電荷積累減緩產(chǎn)品放電包裝材質(zhì)的預(yù)防設(shè)備及人員接地靜電消除器環(huán)境方面預(yù)防18內(nèi)容概述靜電的成因及影響ESD的防護(hù)ESD量測方法19阻抗量測1.Rtg量測(Surface-toGroundResistance):點(diǎn)對地電阻量測,即接地電阻;2.Rtt量測(ResistanceBetweenTwopoints)

:點(diǎn)對點(diǎn)電阻量測.量測方式:

檢測儀器-阻抗量測儀:

ESD的量測方法20阻抗量測方法:

Rtg量測示意圖及實(shí)際量測圖Rtt量測示意圖及實(shí)際量測圖導(dǎo)電橡膠電極接地接地釦導(dǎo)電橡膠電極接地接地釦接地絕緣板阻抗量測儀OKNGOK阻抗量測NG21量測方式量測物件量測阻值內(nèi)定標(biāo)淮值ESDS20.20標(biāo)準(zhǔn)值Rtg移動Buffer5.2*105~3.2*106106~109Ω<109ΩMGV2.5*105~4.8*107CST1.6*106~2.1*108重型貨架3.3*105~3.0*107推車2.8*105~4.5*108RttEPP-BOX1.9*109~6.7*1010106~109Ω104~1011ΩPETTray5.23*107~1.36*101017"靜電袋6.21*109~3.42*1010墊片紙5.72*106~4.53*108地板1.73*105~1.12*107<109Ω<109Ω無塵衣6.23*106~3.2*109106~1011Ω105~1