GB/T 31854-2015光伏電池用硅材料中金屬雜質含量的電感耦合等離子體質譜測量方法

ICS29045

H82.

中華人民共和國國家標準

GB/T31854—2015

光伏電池用硅材料中金屬雜質含量的

電感耦合等離子體質譜測量方法

Testmethodformeasuringmetallicimpuritiescontentinsiliconmaterialsused

forphotovoltaicapplicationsbyinductivelycoupledplasmamassspectrometry

2015-07-03發(fā)布2016-03-01實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T31854—2015

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別這些專利的責任

。。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會及材料分技術委員會

(SAC/TC203)(SAC/TC

共同提出并歸口

203/SC2)。

本標準起草單位信息產業(yè)專用材料質量監(jiān)督檢驗中心中國電子技術標準化研究院江蘇中能硅

:、、

業(yè)科技發(fā)展有限公司洛陽中硅高科技有限公司國家電子功能與輔助材料質量監(jiān)督檢驗中心天津市

、、、

環(huán)歐半導體材料技術有限公司

。

本標準主要起草人褚連青王奕徐靜王鑫何秀坤裴會川馮亞彬魯文峰余慧茹張雪囡

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T31854—2015

光伏電池用硅材料中金屬雜質含量的

電感耦合等離子體質譜測量方法

警告———使用本標準的人員應有正規(guī)實驗室工作的實踐經驗本標準并未指出所有可能的安全問

。

題使用者有責任采取適當的安全和健康措施并保證符合國家有關法規(guī)規(guī)定的條件

。,。

1范圍

本標準規(guī)定了利用電感耦合等離子體質譜儀測定光伏電池用硅材料中痕量體金屬雜質

(ICP-MS)

含量的方法

。

本標準適用于光伏電池用硅材料中痕量體金屬雜質鐵鉻鎳銅鋅含量的測定各元素的測量范

、、、、。

圍見表

1。

表1體金屬雜質含量測量范圍單位為納克每克

元素名稱元素符號測量范圍

鉻3

Cr1~2×10

鐵3

Fe2~2×10

鎳3

Ni1~2×10

銅3

Cu2~2×10

鋅3

Zn2~2×10

注在實驗室綜合條件允許的情況下檢測下限可進一步降低

:,。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

潔凈室及相關受控環(huán)境第部分空氣潔凈度等級

GB/T25915.1—20101:

3方法提要

將試樣用硝酸和氫氟酸的混合物溶解加熱使溶液蒸干溶液中的硅以的形式揮發(fā)然后用

,,SiF4。

硝酸溶液溶解殘渣用超純水定容后利用電感耦合等離子體質譜儀測定溶液中待分析金屬元

,(ICP-MS)

素的含量

。

4干擾因素

41實驗室的潔凈度容器和儀器進樣系統