GB/T 31854-2015光伏電池用硅材料中金屬雜質(zhì)含量的電感耦合等離子體質(zhì)譜測(cè)量方法

ICS29045

H82.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T31854—2015

光伏電池用硅材料中金屬雜質(zhì)含量的

電感耦合等離子體質(zhì)譜測(cè)量方法

Testmethodformeasuringmetallicimpuritiescontentinsiliconmaterialsused

forphotovoltaicapplicationsbyinductivelycoupledplasmamassspectrometry

2015-07-03發(fā)布2016-03-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T31854—2015

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)及材料分技術(shù)委員會(huì)

(SAC/TC203)(SAC/TC

共同提出并歸口

203/SC2)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位信息產(chǎn)業(yè)專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院江蘇中能硅

:、、

業(yè)科技發(fā)展有限公司洛陽中硅高科技有限公司國家電子功能與輔助材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心天津市

、、、

環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人褚連青王奕徐靜王鑫何秀坤裴會(huì)川馮亞彬魯文峰余慧茹張雪囡

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T31854—2015

光伏電池用硅材料中金屬雜質(zhì)含量的

電感耦合等離子體質(zhì)譜測(cè)量方法

警告———使用本標(biāo)準(zhǔn)的人員應(yīng)有正規(guī)實(shí)驗(yàn)室工作的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)本標(biāo)準(zhǔn)并未指出所有可能的安全問

。

題使用者有責(zé)任采取適當(dāng)?shù)陌踩徒】荡胧┎⒈ＷC符合國家有關(guān)法規(guī)規(guī)定的條件

。,。

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了利用電感耦合等離子體質(zhì)譜儀測(cè)定光伏電池用硅材料中痕量體金屬雜質(zhì)

(ICP-MS)

含量的方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于光伏電池用硅材料中痕量體金屬雜質(zhì)鐵鉻鎳銅鋅含量的測(cè)定各元素的測(cè)量范

、、、、。

圍見表

1。

表1體金屬雜質(zhì)含量測(cè)量范圍單位為納克每克

元素名稱元素符號(hào)測(cè)量范圍

鉻3

Cr1~2×10

鐵3

Fe2~2×10

鎳3

Ni1~2×10

銅3

Cu2~2×10

鋅3

Zn2~2×10

注在實(shí)驗(yàn)室綜合條件允許的情況下檢測(cè)下限可進(jìn)一步降低

:,。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分空氣潔凈度等級(jí)

GB/T25915.1—20101:

3方法提要

將試樣用硝酸和氫氟酸的混合物溶解加熱使溶液蒸干溶液中的硅以的形式揮發(fā)然后用

,,SiF4。

硝酸溶液溶解殘?jiān)贸兯ㄈ莺罄秒姼旭詈系入x子體質(zhì)譜儀測(cè)定溶液中待分析金屬元

,(ICP-MS)

素的含量

。

4干擾因素

41實(shí)驗(yàn)室的潔凈度容器和儀器進(jìn)樣系統(tǒng)