GB/T 34178-2017光掩模石英玻璃基板

ICS8104030

Q35..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T34178—2017

光掩模石英玻璃基板

Silicaglasssubstratesforphotomask

2017-09-07發(fā)布2018-08-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T34178—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國建筑材料聯(lián)合會提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國工業(yè)玻璃和特種玻璃標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC447)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中國建材檢驗(yàn)認(rèn)證集團(tuán)股份有限公司中建材衢州金格蘭石英有限公司長沙韶

:、、

光鉻版有限公司中國建筑材料科學(xué)研究總院國家安全玻璃及石英玻璃質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人吳潔王京俠王友軍李弋舟花寧劉煥敏肖頌華聶蘭艦張浩運(yùn)楊曉會

:、、、、、、、、、、

楊學(xué)東孔敏張應(yīng)語

、、。

Ⅰ

GB/T34178—2017

光掩模石英玻璃基板

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了光掩模石英玻璃基板以下簡稱石英玻璃基板的術(shù)語和定義要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)

()、、、

規(guī)則及標(biāo)志包裝運(yùn)輸和貯存

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體集成電路光通訊微機(jī)電系統(tǒng)光電器件和發(fā)光二級管等光

、、(MEMS)、(LED)

刻工藝中光掩模石英玻璃基板

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

石英玻璃化學(xué)成分分析方法

GB/T3284—2015

透明石英玻璃氣泡氣線試驗(yàn)方法

GB/T5949、

氮化鎵單晶襯底表面粗糙度的原子力顯微鏡檢驗(yàn)法

GB/T32189

光學(xué)石英玻璃

JC/T185

石英玻璃制品內(nèi)應(yīng)力檢驗(yàn)方法

JC/T655

石英玻璃術(shù)語

JC/T2205

3術(shù)語和定義

界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

JC/T2205。

31

.

總厚度變化totalthicknessvariationTTV

;

石英玻璃基板厚度的最大值和最小值間的差

。

32

.

平整度flatness

石英玻璃基板背表面為理想平面時例如背表面放置在一個理想平坦的平面上石英玻璃基板正

,,、,

表面相對于規(guī)定的基準(zhǔn)面的偏差以測量范圍內(nèi)總的示值讀數(shù)表示

,(TIR)。

4要求

41規(guī)格尺寸及尺寸偏差

.

411石英玻璃基板為正方形形狀示意圖見圖常規(guī)邊長及邊長偏差應(yīng)符合表