標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 34899-2017 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 基于拉曼光譜法的微結(jié)構(gòu)表面應(yīng)力測試方法》這一標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了使用拉曼光譜技術(shù)對MEMS器件中微結(jié)構(gòu)表面應(yīng)力進(jìn)行測量的具體步驟和技術(shù)要求。該標(biāo)準(zhǔn)適用于需要精確測定材料內(nèi)部或表面應(yīng)力狀態(tài)的各種MEMS元件，特別是在開發(fā)、生產(chǎn)和質(zhì)量控制過程中。

首先，標(biāo)準(zhǔn)介紹了拉曼光譜的基本原理及其在應(yīng)力分析中的應(yīng)用背景。拉曼散射是一種非彈性散射過程，在此過程中，入射光與樣品相互作用后，除了產(chǎn)生波長不變的瑞利散射外，還會產(chǎn)生頻率略有變化（即能量轉(zhuǎn)移）的拉曼散射光。通過分析這些散射光譜線的變化，可以獲取關(guān)于樣品物理化學(xué)性質(zhì)的信息，包括但不限于晶體結(jié)構(gòu)、分子振動模式以及應(yīng)力狀態(tài)等。

接著，文檔詳細(xì)描述了實(shí)驗(yàn)所需設(shè)備及條件，如拉曼光譜儀的技術(shù)參數(shù)要求、光源的選擇、探測器靈敏度等，并給出了推薦的操作流程，從樣品準(zhǔn)備到數(shù)據(jù)采集再到后期處理均有涉及。特別地，對于如何根據(jù)拉曼頻移來計(jì)算應(yīng)力值，標(biāo)準(zhǔn)提供了一個基于理論模型的方法論框架，同時指出了可能影響結(jié)果準(zhǔn)確性的因素及相應(yīng)的校正措施。


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....

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  • 2017-11-01 頒布
  • 2018-05-01 實(shí)施
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GB/T 34899-2017微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)基于拉曼光譜法的微結(jié)構(gòu)表面應(yīng)力測試方法_第1頁
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GB/T 34899-2017微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)基于拉曼光譜法的微結(jié)構(gòu)表面應(yīng)力測試方法-免費(fèi)下載試讀頁

文檔簡介

ICS31200

L55.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T34899—2017

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

基于拉曼光譜法的微結(jié)構(gòu)

表面應(yīng)力測試方法

Micro-electromechanicalsystemtechnology—

MeasuringmethodofmicrostructuresurfacestressbasedonRamanspectroscopy

2017-11-01發(fā)布2018-05-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T34899—2017

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

應(yīng)力測試原理

4……………1

測試條件

5…………………2

總則

5.1…………………2

樣品要求

5.2……………2

校準(zhǔn)要求

5.3……………2

環(huán)境條件

5.4……………2

測試系統(tǒng)

5.5……………2

測試規(guī)程

6…………………4

校準(zhǔn)拉曼光譜儀

6.1……………………4

測試系統(tǒng)誤差

6.2………………………4

選擇測試區(qū)域

6.3………………………4

測試步驟

6.4……………4

測試記錄

6.5……………6

拉曼頻移的確定

6.6……………………6

應(yīng)力計(jì)算

6.7……………6

附錄資料性附錄立方晶系的應(yīng)力和拉曼頻移之間的換算關(guān)系

A()…………………7

附錄資料性附錄相對動態(tài)應(yīng)力測試系統(tǒng)實(shí)例

B()……………………8

附錄資料性附錄微結(jié)構(gòu)表面應(yīng)力拉曼光譜法測試實(shí)例

C()…………10

GB/T34899—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位中北大學(xué)中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人石云波唐軍程紅兵崔建功李海斌朱悅

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T34899—2017

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

基于拉曼光譜法的微結(jié)構(gòu)

表面應(yīng)力測試方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了拉曼光譜法測定微機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)表面殘余應(yīng)力相對靜態(tài)應(yīng)力相對動態(tài)

(MEMS)、、

應(yīng)力的方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于微機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)表面殘余應(yīng)力相對靜態(tài)應(yīng)力相對動態(tài)應(yīng)力的拉曼光譜

(MEMS)、、

法測試

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗(yàn)概述和指南

GB/T2421.1

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分空氣潔凈度等級

GB/T25915.11:

微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)術(shù)語

GB/T26111(MEMS)

拉曼光譜儀校準(zhǔn)規(guī)范計(jì)量特性和校準(zhǔn)要求

JJF1544—2015

3術(shù)語和定義

和界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T26111JJF1544—2015。

31

.

波數(shù)wavenumber

波長的倒數(shù)即每厘米內(nèi)包含的波長數(shù)目

,。

注單位為每厘米-1

:(cm)。

4應(yīng)力測試原理

拉曼光譜法應(yīng)力測試是根據(jù)拉曼散射測出的拉曼頻移來計(jì)算材料表面應(yīng)力的方法

。

結(jié)構(gòu)表面在應(yīng)力作用下晶格會發(fā)生形變從而對入射光造成散射導(dǎo)致了拉曼頻移的產(chǎn)生根據(jù)

,,,。

拉曼頻移的大小可以計(jì)算出應(yīng)力的數(shù)值結(jié)構(gòu)表面應(yīng)力與拉曼頻移之間具有線性關(guān)系見式

。

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