GB/T 34899-2017微機電系統(tǒng)(MEMS)技術基于拉曼光譜法的微結(jié)構(gòu)表面應力測試方法

ICS31200

L55.

中華人民共和國國家標準

GB/T34899—2017

微機電系統(tǒng)MEMS技術

()

基于拉曼光譜法的微結(jié)構(gòu)

表面應力測試方法

Micro-electromechanicalsystemtechnology—

MeasuringmethodofmicrostructuresurfacestressbasedonRamanspectroscopy

2017-11-01發(fā)布2018-05-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T34899—2017

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

應力測試原理

4……………1

測試條件

5…………………2

總則

5.1…………………2

樣品要求

5.2……………2

校準要求

5.3……………2

環(huán)境條件

5.4……………2

測試系統(tǒng)

5.5……………2

測試規(guī)程

6…………………4

校準拉曼光譜儀

6.1……………………4

測試系統(tǒng)誤差

6.2………………………4

選擇測試區(qū)域

6.3………………………4

測試步驟

6.4……………4

測試記錄

6.5……………6

拉曼頻移的確定

6.6……………………6

應力計算

6.7……………6

附錄資料性附錄立方晶系的應力和拉曼頻移之間的換算關系

A()…………………7

附錄資料性附錄相對動態(tài)應力測試系統(tǒng)實例

B()……………………8

附錄資料性附錄微結(jié)構(gòu)表面應力拉曼光譜法測試實例

C()…………10

GB/T34899—2017

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國微機電技術標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標準主要起草單位中北大學中機生產(chǎn)力促進中心

:、。

本標準主要起草人石云波唐軍程紅兵崔建功李海斌朱悅

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T34899—2017

微機電系統(tǒng)MEMS技術

()

基于拉曼光譜法的微結(jié)構(gòu)

表面應力測試方法

1范圍

本標準規(guī)定了拉曼光譜法測定微機電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)表面殘余應力相對靜態(tài)應力相對動態(tài)

(MEMS)、、

應力的方法

。

本標準適用于微機電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)表面殘余應力相對靜態(tài)應力相對動態(tài)應力的拉曼光譜

(MEMS)、、

法測試

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗概述和指南

GB/T2421.1

潔凈室及相關受控環(huán)境第部分空氣潔凈度等級

GB/T25915.11:

微機電系統(tǒng)技術術語

GB/T26111(MEMS)

拉曼光譜儀校準規(guī)范計量特性和校準要求

JJF1544—2015

3術語和定義

和界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T26111JJF1544—2015。

31

.

波數(shù)wavenumber

波長的倒數(shù)即每厘米內(nèi)包含的波長數(shù)目

,。

注單位為每厘米-1

:(cm)。

4應力測試原理

拉曼光譜法應力測試是根據(jù)拉曼散射測出的拉曼頻移來計算材料表面應力的方法

。

結(jié)構(gòu)表面在應力作用下晶格會發(fā)生形變從而對入射光造成散射導致了拉曼頻移的產(chǎn)生根據(jù)

,,,。

拉曼頻移的大小可以計算出應力的數(shù)值結(jié)構(gòu)表面應力與拉曼頻移之間具有線性關系見式

。