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第三章場(chǎng)效應(yīng)管場(chǎng)效應(yīng)管有:結(jié)型場(chǎng)效應(yīng)管JFET金屬-氧化物-半導(dǎo)體型場(chǎng)效應(yīng)管MOSFET3.1MOS場(chǎng)效應(yīng)管MOS場(chǎng)效應(yīng)管分:增強(qiáng)型EMOS,又分N管和P管耗盡型DMOS,又分N管和P管電路符號(hào):P溝道耗盡型P溝道增強(qiáng)型N溝道增強(qiáng)型N溝道耗盡型

N溝道增強(qiáng)型MOSFET基本上是一種左右對(duì)稱的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu),它是在P型半導(dǎo)體上生成一層SiO2薄膜絕緣層,然后用光刻工藝擴(kuò)散兩個(gè)高摻雜的N型區(qū),從N型區(qū)引出電極,一個(gè)是漏極D,一個(gè)是源極S。在源極和漏極之間的絕緣層上覆蓋一層金屬鋁作為柵極G(目前多采用多晶硅)。P型半導(dǎo)體稱為襯底,用符號(hào)B表示。3.1.1EMOS場(chǎng)效應(yīng)管結(jié)構(gòu)

通常情況下,源極一般都與襯底極相連;正常工作時(shí),作為源、漏區(qū)的兩個(gè)N+區(qū)與襯底之間的PN結(jié)必須外加反偏電壓。一、截止區(qū)與溝道形成VGS(th):開啟電壓,是開始形成反型層所需的vGS值。SiO2絕緣層越薄,兩個(gè)N+區(qū)的摻雜濃度越高,襯底摻雜濃度越低,VGS(th)越小。3.1.2EMOS場(chǎng)效應(yīng)管工作原理(N溝道)

二、vGS>VGS(th),0<vDS<vGS-VGS(th)

三、vGS>VGS(th),vDS>vGS-VGS(th)

柵極和溝道的壓差在近源端最大,在近漏端最小,vGD=vGS-vDS,因此溝道呈錐形分布,電流同時(shí)受vGS和vDS控制。當(dāng)vDS=vGS-VGS(th)時(shí),近漏端溝道夾斷。夾斷后,溝道長(zhǎng)度幾乎不變,且vGA=VGS(th),vAS=vGS-VGS(th),溝道電流iD不再隨vDS的變化而變化,只受vGS控制。但若考慮溝道長(zhǎng)度調(diào)制效應(yīng)(夾斷點(diǎn)A會(huì)隨著vDS的增加而向源極移動(dòng)),當(dāng)vGS一定時(shí),iD會(huì)隨著vDS的增加而略微增加。工作原理總結(jié)通過上面討論可以看到(ENMOS):VGS(th)是溝道剛形成時(shí)所需的VGS,與N+和襯底的攙雜濃度,Gate下SiO2的厚度,溫度等因素有關(guān);VGS控制MOS管的導(dǎo)電溝道深度,VGS越大,溝道越深,導(dǎo)電能力越強(qiáng),VGS對(duì)溝道電流的控制是MOS管的主要受控作用,也是實(shí)現(xiàn)放大器的基礎(chǔ);VGS一定,滿足VGS>VGS(th),在VDS<VGSVGS(th)時(shí),隨著VDS的增加,由于溝道沒有夾斷,溝道電阻變化不大,溝道電流呈線性增加,當(dāng)VDS>VGSVGS(th)時(shí),夾斷點(diǎn)到S的電壓不變,溝道長(zhǎng)度和形狀幾乎不變,溝道電流也幾乎不變,但考慮溝道長(zhǎng)度調(diào)制效應(yīng),則電流會(huì)有略微的上升;NMOS管是依靠多子電子一種載流子導(dǎo)電的,而晶體三極管中有多子和少子兩種載流子參與導(dǎo)電;MOS管是對(duì)稱器件,源漏極可以互換。3.1.3EMOS場(chǎng)效應(yīng)特性

一、伏安特性

轉(zhuǎn)移特性曲線輸出特性曲線非飽和區(qū):vGS>VGS(th)0<vDS<vGS-VGS(th)

飽和區(qū):vGS>VGS(th)

vDS>vGS-VGS(th)

截止區(qū):iD=0擊穿區(qū):vDS過大引起雪崩擊穿和穿通擊穿,vGS過大引發(fā)柵極擊穿亞閾區(qū):vGSVGS(th)時(shí),iD不會(huì)突變到零,但其值很小(A量級(jí))。通常將VGS(th)附近的很小區(qū)域(VGS(th)100mV)稱為亞閥區(qū)或弱反型層區(qū)。靜電保護(hù):當(dāng)帶電物體或人靠近金屬柵極時(shí),瞬間產(chǎn)生過大的柵源電壓vGS,引發(fā)SiO2絕緣層擊穿,從而造成器件永久性損壞。為防止這種損壞,MOS集成電路的輸入級(jí)器件常常在其柵源極間接入兩只背靠背的穩(wěn)壓二極管,利用穩(wěn)壓管的擊穿特性,限制由感生電荷產(chǎn)生的vGS值。二、襯底效應(yīng)

某些MOS管的源極不能處在電路的最低電位上,則其源極與襯底不能相連,其間就會(huì)作用著負(fù)值的電壓vBS,P型硅襯底中的空間電荷區(qū)將向襯底底部擴(kuò)展,VGS(th)相應(yīng)增大。因而,在vGS一定時(shí),iD就減小??梢?,vBS和vGS一樣,也具有對(duì)iD的控制作用,故又稱襯底電極為背柵極,不過它的控制作用遠(yuǎn)比vGS小。3.1.4DMOS場(chǎng)效應(yīng)管一、結(jié)構(gòu)

二、伏安特性

(NDMOS)耗盡型MOS管在襯底表面擴(kuò)散一薄層與襯底導(dǎo)電類型相反的摻雜區(qū),作為漏、源區(qū)之間的導(dǎo)電溝道,vGS=0時(shí)導(dǎo)電溝道已形成。N溝道DMOS的VGS(th)<0。P溝道DMOS的VGS(th)>0。二者伏安特性相似,僅是電壓極性和電流方向相反。3.1.5場(chǎng)效應(yīng)管等效電路一、大信號(hào)模型

非飽和區(qū):

vDS很小,忽略二次項(xiàng)

飽和區(qū):

vDS=vGSvGS(th)

計(jì)及溝道長(zhǎng)度調(diào)制效應(yīng)MOS管看作電壓控制電流源:溝道長(zhǎng)度調(diào)制系數(shù)

例在下圖所示N溝道EMOS管電路中,已知RG1=1.2M,RG2=0.8M,RS=4k,RD=10k,VDD=20V,管子參數(shù)為CoxW/(2l)=0.25

mA/V2,VGS(th)=2V,試求ID。解

設(shè)MOS管工作在飽和區(qū),舍去二、小信號(hào)模型

1.飽和區(qū)小信號(hào)模型

MOS管:三極管:

直流工作點(diǎn)電流改變相同量時(shí),三極管的跨導(dǎo)變化比MOS管更快。在數(shù)值上,直流工作點(diǎn)電流相同時(shí),三極管的跨導(dǎo)變化比MOS管大。計(jì)及溝道長(zhǎng)度調(diào)制效應(yīng)與得到的結(jié)果一致考慮襯底效應(yīng):表示為電壓控制電壓源:gmb為襯底跨導(dǎo),也稱背柵跨導(dǎo)高頻小信號(hào)模型:LOV是根據(jù)經(jīng)驗(yàn)值推導(dǎo)得到的柵極與源極或漏極交疊長(zhǎng)度。為柵極與襯底之間電容。分別是漏區(qū)與襯底和源區(qū)與襯底之間PN結(jié)的勢(shì)壘電容。當(dāng)源極和襯底相連時(shí),MOS管高頻小信號(hào)模型可以簡(jiǎn)化為:源極和襯底相連MOS管截止頻率:2.非飽和區(qū)小信號(hào)模型

工作于非飽和區(qū)的MOS場(chǎng)效應(yīng)管的低頻小信號(hào)模型等效為一個(gè)電阻

高頻小信號(hào)模型:N溝道:襯底接最低電位,iD為電子電流,

vDS>0,vGS正向增加,iD增加;P溝道:襯底接最高電位,iD為空穴電流,vDS<0,vGS負(fù)向增加,iD增加。二者的大信號(hào)和小信號(hào)等效模型相同;目前,MOS器件一般采用BSIM3V3模型描述,適用于計(jì)算機(jī)仿真,該模型已成為一種工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。3.1.7器件小結(jié)四種MOS管比較3.3場(chǎng)效應(yīng)管應(yīng)用原理3.3.1有源電阻N溝道EMOS管構(gòu)成有源電阻:注意區(qū)分有源電阻的直流電阻和交流電阻。伏安特性:N溝道DMOS管構(gòu)成有源電阻:用有源電阻接成的分壓器:若兩管工藝參數(shù)相同,則3.3.2MOS開關(guān)NMOS管工作在非飽和區(qū),導(dǎo)通電阻:由于vGSvG-vI,vGS隨著vI的增大而減小,使Ron增大,當(dāng)vGS接近VGS(th)時(shí),Ron迅速增大。同理,若采用PMOS開關(guān),Ron隨著vI的減小而增加。NMOS導(dǎo)通電阻CMOS開關(guān)導(dǎo)通電阻MOS開關(guān)應(yīng)用舉例:開關(guān)電容電路S1和S2輪流導(dǎo)通,在一個(gè)時(shí)鐘周期內(nèi)從輸入端到輸出端的平均電流為該開關(guān)電容電路可等效為一個(gè)電阻3.3.3邏輯門電路一、CMOS反相器邏輯符號(hào)電路二、CMOS或非門

邏輯符號(hào)電路三、CMOS與非門

邏輯符號(hào)電路四、CMOS傳輸門

邏輯符號(hào)電路五、鎖存器

結(jié)構(gòu)圖電路圖器件部分小結(jié)半導(dǎo)體物理基礎(chǔ)知識(shí)了解:本征半導(dǎo)體雜質(zhì)半導(dǎo)體本征激發(fā)摻雜漂移、擴(kuò)散本征熱平衡載流子濃度質(zhì)量作用定律電中性方程

了解:PN結(jié)的形成

二極管特點(diǎn)

單向?qū)щ娦?/p>

掌握:PN結(jié)的特性

V-I擊穿

電容

溫度開關(guān)

二極管模型二極管三極管

了解:三極管結(jié)構(gòu)載流子傳輸直流電流傳輸方程

掌握:三電流間的近似關(guān)系三極管特點(diǎn)正向受控作用三極管模型特性

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