GB/T 36066-2018潔凈室及相關受控環(huán)境檢測技術分析與應用

ICS1304035

C70..

中華人民共和國國家標準

GB/T36066—2018

潔凈室及相關受控環(huán)境

檢測技術分析與應用

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Analysisandapplicationoftesttechnology

2018-03-15發(fā)布2018-07-01實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T36066—2018

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

檢測項目與相關應用領域

4………………2

檢測技術要求

5……………3

檢測儀器配置

6……………4

檢測工況分析

7……………7

附錄資料性附錄壓差的調試和測試

A()………………9

附錄資料性附錄自凈檢測

B()…………10

附錄資料性附錄已裝過濾系統(tǒng)檢漏

C()………………11

參考文獻

……………………15

GB/T36066—2018

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別這些專利的責任

。。

本標準由全國潔凈室及相關受控環(huán)境標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC319)。

本標準起草單位中電投工程研究檢測評定中心蘇州市計量測試研究所深圳市億天凈化技術有

:、、

限公司中天道成蘇州潔凈技術有限公司常州祥明智能動力股份有限公司蘇州凈化工程安裝有限

、()、、

公司蘇州市華宇凈化設備有限公司蘇州工業(yè)園區(qū)嘉合環(huán)境技術工程有限公司中國標準化協(xié)會北京

、、、、

世源希達工程技術有限公司北京希達建設監(jiān)理有限責任公司上海德威凈化設備工程有限公司深圳

、、、

新科特種裝飾工程公司中國電子學會潔凈技術分會

、。

標準主要起草人王堯張利群陳霖新張俊峰楊子強蔣乃軍夏群艷姜皓遐張敏高正徐火炬

:、、、、、、、、、、、

石小雷蘇鋼民王鴻明王大千殷曉冬譚軍王樣楊新宇

、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T36066—2018

潔凈室及相關受控環(huán)境

檢測技術分析與應用

1范圍

本標準給出了潔凈室及相關受控環(huán)境的檢測要求基本儀器配置和技術要求

、。

本標準適用于潔凈室及相關受控環(huán)境的檢測技術分析與應用

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

潔凈室及相關受控環(huán)境第部分空氣潔凈度等級

GB/T25915.1—20101:

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

31

.

單向流unidirectionalairflow

通過潔凈區(qū)整個斷面風速穩(wěn)定大致平行的受控氣流

、、。

注這種氣流可定向清除潔凈區(qū)的粒子

:。

32

.

非單向流non-unidirectionalairflow

送入潔凈區(qū)的空氣以誘導方式與區(qū)內空氣混合的一種氣流分布

。

33

.

離散粒子計數(shù)器discrete-particlecounterDPC

;

可顯示并記錄確定體積空氣中離散粒子數(shù)量和直徑可辨別粒徑的儀器

()。

34

.

測試氣溶膠testaerosol

具有已知并受控的粒徑分布及濃度的固體和或液體粒子的氣態(tài)懸浮物

()。

35

.

氣溶膠發(fā)生器aerosolgenerator

能以加熱