- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2020-03-06 頒布
- 2020-10-01 實施
下載本文檔
文檔簡介
ICS31200
L55.
中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)
GB/T38446—2020
微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)
()
帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法
Micro-electromechanicalsystemtechnology—
Testmethodsfortensilepropertymeasurementofstripthinfilms
2020-03-06發(fā)布2020-10-01實施
國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布
國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
GB/T38446—2020
目次
前言
…………………………Ⅰ
范圍
1………………………1
規(guī)范性引用文件
2…………………………1
術(shù)語和定義
3………………1
試驗方法
4…………………2
數(shù)據(jù)處理
5…………………4
附錄資料性附錄采用工藝的樣品制備
A()MEMS……………………5
附錄資料性附錄對準(zhǔn)偏差和幾何結(jié)構(gòu)對性能測試的影響
B()………7
附錄資料性附錄納米壓痕儀的測試結(jié)果誤差及補(bǔ)償
C()……………9
參考文獻(xiàn)
……………………10
GB/T38446—2020
前言
本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草
GB/T1.1—2009。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口
(SAC/TC336)。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位北京大學(xué)中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心北京智芯傳感科技有限公司無錫華潤上華科技
:、、、
有限公司中北大學(xué)北京必創(chuàng)科技股份有限公司
、、。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人張威李海斌張亞婷朱悅夏長奉石云波陳得民馬書嫏程紅兵周浩楠
:、、、、、、、、、。
Ⅰ
GB/T38446—2020
微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)
()
帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法
1范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法及數(shù)據(jù)處理
。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于厚度在到數(shù)微米之間且長度和厚度的比值大于的樣品也可用于
50nm300,MEMS
產(chǎn)品帶狀薄膜結(jié)構(gòu)的質(zhì)量監(jiān)控
。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件
。,()。
微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)術(shù)語
GB/T26111(MEMS)
3術(shù)語和定義
界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件
GB/T26111。
31
.
彈性模量modulusofelasticity
E
材料在彈性變形階段時應(yīng)力與應(yīng)變的比值
,。
注改寫定義
:GB/T3102.3—1993,3.18.1。
32
.
屈服強(qiáng)度yieldstrength
Re
當(dāng)材料呈現(xiàn)屈服現(xiàn)象時在試驗期間達(dá)到塑性變形發(fā)生而力不增加的應(yīng)力點
,。
注1改寫定義
:GB/T228.1—2010,3.10.2。
注2對于屈服現(xiàn)象明顯的材料屈服強(qiáng)度就是材料發(fā)生屈服現(xiàn)象時屈服極限的應(yīng)力對于屈服現(xiàn)象不明顯的材料
:,;,
屈服強(qiáng)度為應(yīng)變達(dá)到殘余應(yīng)變時的應(yīng)力
0.2%。
33
.
抗拉強(qiáng)度tensilestrength
Rm
材料拉斷過程中對應(yīng)的最大應(yīng)力
。
注改寫定義
:GB/T228.1—2010,3.10.1。
34
.
溫馨提示
- 1. 本站所提供的標(biāo)準(zhǔn)文本僅供個人學(xué)習(xí)、研究之用,未經(jīng)授權(quán),嚴(yán)禁復(fù)制、發(fā)行、匯編、翻譯或網(wǎng)絡(luò)傳播等,侵權(quán)必究。
- 2. 本站所提供的標(biāo)準(zhǔn)均為PDF格式電子版文本(可閱讀打?。?,因數(shù)字商品的特殊性,一經(jīng)售出,不提供退換貨服務(wù)。
- 3. 標(biāo)準(zhǔn)文檔要求電子版與印刷版保持一致,所以下載的文檔中可能包含空白頁,非文檔質(zhì)量問題。
最新文檔
- GB/T 44388-2024空間環(huán)境熱等離子體原位探測載荷實驗室定標(biāo)方法
- 蘇教版三年級下冊數(shù)學(xué)學(xué)案
- 2019年常州市教育學(xué)會學(xué)生學(xué)業(yè)水平檢測
- 《月光曲》音樂之美教案
- 《詩詞中的英雄》英雄氣概教案
- 《古詩詞三首》吟誦教案
- 專升本(高等數(shù)學(xué)二)模擬試卷9(共244題)
- 《米氏冰草種子質(zhì)量分級技術(shù)規(guī)程》征求意見稿
- 2025高考物理步步高同步練習(xí)選修3第四章原子結(jié)構(gòu)和波粒二象性第3節(jié) 原子的核式結(jié)構(gòu)模型含答案
- DB32T-電鍍園區(qū)環(huán)境管理技術(shù)規(guī)范編制說明
- 2024年秋新版人教版三年級英語上冊電子課本
- 創(chuàng)新實踐(理論)學(xué)習(xí)通超星課后章節(jié)答案期末考試題庫2023年
- 小學(xué)希望之星看圖說話分類整理(共6頁)
- 小學(xué)合唱隊活動記錄13頁
- 六年級分?jǐn)?shù)乘法計算練習(xí)題-分?jǐn)?shù)乘法計算題50道
- 小品《上學(xué)那些事》(共4頁)
- 專業(yè)分包管理辦法
- 暴發(fā)性心肌炎ppt課件
- 二規(guī)思考題-2016.8.24
- 數(shù)學(xué)課堂教學(xué)競賽評分表 (1)
- 兒童剪紙(可打印)
評論
0/150
提交評論