GB/T 39516-2020微納米標準樣板(幾何量)

ICS1704030

J42..

中華人民共和國國家標準

GB/T39516—2020

微納米標準樣板幾何量

()

Micronanostandardsamleseometric

p(g)

2020-11-19發(fā)布2021-06-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T39516—2020

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

型式與基本參數(shù)

4…………………………3

型式

4.1…………………3

基本參數(shù)

4.2……………4

要求

5………………………5

外觀

5.1…………………5

性能參數(shù)要求

5.2………………………5

檢查條件

6…………………7

檢查方法

7…………………7

外觀

7.1…………………7

微納米線間隔標準樣板的性能參數(shù)

7.2………………7

微納米臺階高度標準樣板的性能參數(shù)

7.3……………10

納米膜厚標準樣板的性能參數(shù)

7.4……………………12

納米線寬標準樣板的性能參數(shù)

7.5……………………14

標志運輸及儲存

8、………………………15

標志

8.1…………………15

運輸

8.2…………………16

儲存

8.3…………………16

產(chǎn)品合格證

8.4…………………………16

圖線間隔示意圖

1…………………………1

圖臺階高度示意圖

2………………………2

圖薄膜厚度定義示意圖

3…………………2

圖線寬示意圖

4……………2

圖微納米線間隔標準樣板型式示意圖

5…………………3

圖微納米臺階高度標準樣板型式示意圖

6………………3

圖納米膜厚標準樣板型式示意圖

7………………………4

圖納米線寬標準樣板型式示意圖

8………………………4

圖線間隔偏差有效測量區(qū)域選擇示意圖

9………………8

圖線邊緣粗糙度考核位置示意圖

10……………………9

Ⅰ

GB/T39516—2020

圖線邊緣粗糙度示意圖

11………………9

圖均勻性測量示意圖

12…………………10

圖臺階高度測量示意圖

13………………11

圖臺階區(qū)域均勻性測量時測量線選取示意圖

14………12

圖薄膜厚度偏差考核示意圖

15…………13

圖線寬偏差測量區(qū)域選擇示意圖

16……………………14

圖線寬均勻性測量位置選擇示意圖

17…………………15

表微納米線間隔標準樣板的性能參數(shù)要求

1……………5

表微納米臺階高度標準樣板的性能參數(shù)要求

2…………5

表納米膜厚標準樣板的性能參數(shù)要求

3…………………6

表納米線寬標準樣板的性能參數(shù)要求

4…………………6

Ⅱ

GB/T39516—2020

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由中國機械工業(yè)聯(lián)合會提出

。

本標準由全國量具量儀標準化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC132)。

本標準起草單位中國電子科技集團公司第十三研究所成都工具研究所有限公司廣西壯族自治

:、、

區(qū)計量檢測研究院中國計量科學研究院上海市計量測試技術(shù)研究院中國計量大學珠海市怡信測量

、、、、

科技有限公司

。

本標準主要起草人李鎖印付興昌梁法國韓志國趙琳馮亞南許曉青張曉東姜志剛許剛

:、、、、、、、、、、

蘇冀雄張恒雷李華趙軍張松濤蔡瀟雨傅云霞

、、、、、、。

Ⅲ

GB/T39516—2020

微納米標準樣板幾何量

()

1范圍

本標準規(guī)定了微納米標準樣板幾何量的術(shù)語和定義型式與基本參數(shù)要求檢查條件檢查方

()、、、、

法標志運輸及儲存等

、、。

本標準適用于線間隔為的微納米線間隔標準樣板臺階高度為

0.05μm~10μm、0.01μm~100μm

的微納米臺階高度標準樣板薄膜厚度為的納米膜厚標準樣板和線寬為

、2nm~1000nm25nm~

的納米線寬標準樣板

1000nm。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

幾何量測量器具術(shù)語基本術(shù)語

GB/T17163—2008

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分空氣潔凈度等級

GB/T25915.1—20101:

3術(shù)語和定義

界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T17163—2008。

31

.

微納米標準樣板幾何量micronanostandard