GB/T 43915-2024納米幾何量標(biāo)準(zhǔn)樣板測試方法

ICS1704030

CCSJ4.2.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T43915—2024

納米幾何量標(biāo)準(zhǔn)樣板測試方法

Testingmethodfornanogeometricstandardsamples

2024-04-25發(fā)布2024-11-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T43915—2024

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

測試方法分類及原理

4……………………1

納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板測試方法分類及原理

4.1………1

納米線寬標(biāo)準(zhǔn)樣板測試方法分類及原理

4.2…………2

納米臺階高度標(biāo)準(zhǔn)樣板測試方法分類及原理

4.3……………………2

納米膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣板測試方法分類及原理

4.4…………3

測試設(shè)備

5…………………5

設(shè)備選擇

5.1……………5

設(shè)備要求

5.2……………5

測試環(huán)境

6…………………6

測試程序

7…………………6

外觀

7.1…………………6

納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板測試

7.2…………6

納米線寬標(biāo)準(zhǔn)樣板測試

7.3……………6

納米臺階高度標(biāo)準(zhǔn)樣板測試

7.4………………………6

納米膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣板測試

7.5……………7

測試數(shù)據(jù)處理

8……………7

納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板測試數(shù)據(jù)處理

8.1………………7

納米線寬標(biāo)準(zhǔn)樣板測試數(shù)據(jù)處理

8.2…………………7

納米臺階高度標(biāo)準(zhǔn)樣板測試數(shù)據(jù)處理

8.3……………7

納米膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣板測試數(shù)據(jù)處理

8.4…………………7

附錄資料性標(biāo)準(zhǔn)樣板測試記錄

A()……………………9

參考文獻(xiàn)

……………………10

Ⅰ

GB/T43915—2024

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

,。

本文件由全國量具量儀標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC132)。

本文件起草單位中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所成都工具研究所有限公司中國航空工業(yè)

:、、

集團(tuán)公司北京長城計量測試技術(shù)研究所上海計量測試技術(shù)研究院同濟(jì)大學(xué)天津大學(xué)中國計量科學(xué)

、、、、

研究院廣西壯族自治區(qū)計量檢測研究院中國測試技術(shù)研究院蘇州天準(zhǔn)科技股份有限公司

、、、。

本文件主要起草人吳愛華付興昌李鎖印許曉青鄒學(xué)鋒韓志國趙琳張曉東馮亞南

:、、、、、、、、、

梁法國許剛何宜鮮朱振宇李強(qiáng)萬宇雷李華傅云霞曾艷華管鈺晴鄧曉劉慶綱張恒施玉書

、、、、、、、、、、、、、、

蘇翼雄冉慶曹葵康

、、。

Ⅲ

GB/T43915—2024

納米幾何量標(biāo)準(zhǔn)樣板測試方法

1范圍

本文件規(guī)定了納米幾何量標(biāo)準(zhǔn)樣板測試方法的分類及原理測試設(shè)備測試環(huán)境測試程序及測試

、、、

數(shù)據(jù)處理

。

本文件適用于線間隔為的納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板線寬為的納米線

50nm~100nm、20nm~100nm

寬標(biāo)準(zhǔn)樣板臺階高度為的納米臺階高度標(biāo)準(zhǔn)樣板和薄膜厚度為的納

、10nm~100nm2nm~100nm

米膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣板的測試

。

注其他尺寸范圍的幾何量樣板參照本文件執(zhí)行

:。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

幾何量測量器具術(shù)語基本術(shù)語

GB/T17163

微納米標(biāo)準(zhǔn)樣板幾何量

GB/T39516—2020()

3術(shù)語和定義

界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T17163、GB/T39516—2020。

31

.

納米幾何量標(biāo)準(zhǔn)樣板nanogeometricstandards

具有納米尺度的線間隔線寬臺階高度及薄膜厚度等幾何特征結(jié)構(gòu)用于納米尺寸測量的標(biāo)準(zhǔn)