GB/T 40566-2021流化床法顆粒硅氫含量的測定脈沖加熱惰性氣體熔融紅外吸收法

ICS29045

CCSH.82

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T40566—2021

流化床法顆粒硅氫含量的測定

脈沖加熱惰性氣體熔融紅外吸收法

Granularpolysiliconproducedbyfluidizedbedmethod—Determinationof

hydrogen—Pulseheatinginertgasfusioninfraredabsorptionmethod

2021-10-11發(fā)布2022-05-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T40566—2021

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

原理

4………………………1

干擾因素

5…………………1

試劑和材料

6………………2

儀器和設(shè)備

7………………2

樣品制備

8…………………2

試驗步驟

9…………………2

結(jié)果處理

10…………………4

精密度

11……………………4

試驗報告

12…………………4

質(zhì)量保證與控制

13…………………………5

附錄資料性儀器參考工作條件

A()……………………6

GB/T40566—2021

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本文件起草單位無錫市產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗院上海賽夫特半導(dǎo)體材料有限公司青海黃河上游水

:、、

電開發(fā)有限責(zé)任公司光伏產(chǎn)業(yè)技術(shù)分公司江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司新疆新特新能材料檢測中

、、

心有限公司無錫市分析測試學(xué)會中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院無錫市計量測試院樂山市產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)

、、、、

督檢驗所洛陽中硅高科技有限公司中節(jié)能太陽能科技鎮(zhèn)江有限公司集萃新材料研發(fā)有限公司

、、()、、

常州大學(xué)福建省計量科學(xué)研究院上海材料研究所蘇州博飛克分析技術(shù)服務(wù)有限公司

、、、。

本文件主要起草人何莉楊君王美娟蔣威丁彬斌鮑軍劉曉霞魯文鋒王旭輝王彬王趕強(qiáng)

:、、、、、、、、、、、

梁洪楚東旭邱艷梅馬昀鋒黃國平王桃霞薛小強(qiáng)羅海燕馬沖先何永強(qiáng)

、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T40566—2021

流化床法顆粒硅氫含量的測定

脈沖加熱惰性氣體熔融紅外吸收法

1范圍

本文件描述了用脈沖加熱惰性氣體熔融紅外吸收法測定顆粒硅中氫含量的方法

。

本文件適用于流化床法顆粒硅中氫含量的測定其他硅材料參照使用

,。

注本文件測定氫含量的范圍取決于所用氫分析儀的量程最大測定范圍為氫量以質(zhì)量分

:,0.00008mg~2.5mg。

數(shù)表示的氫分析儀的測定范圍因稱取樣品量的不同而不同例如樣品最大測定范圍的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為

(%)。,1g

樣品最大測定范圍的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為

0.000008%~0.25%;0.15g0.00006%~1.66%。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

測量方法與結(jié)果的準(zhǔn)確度正確度與精密度第部分確定標(biāo)準(zhǔn)測量方法重復(fù)

GB/T6379.2()2:

性與再現(xiàn)性的基本方法

數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8170

半導(dǎo)體材料術(shù)語

GB/T14264

3術(shù)語和定義

界定的術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T14264。

4原理

試料放置于經(jīng)脫氣的石墨套坩堝中在惰性氣氛下加熱熔融試料中的氫以氫分子的形式釋

,,(H2)

放并進(jìn)入載氣流中氫分子隨載氣流通過熱的氧化銅后轉(zhuǎn)化為水在特定的紅外池中檢測根

,(H2O),。

據(jù)紅外吸收強(qiáng)度信號變化計算出氫含量

,。

5干擾因素

51對檢測結(jié)果影響較大的因素主要有樣品的均勻性樣品表面清潔度惰性氣體的純度石墨坩堝和

.,