JJF 1100-2016平面等厚干涉儀校準規(guī)范

中華人民共和國國家計量技術規(guī)范

JJF1100—2016

平面等厚干涉儀校準規(guī)范

CalibrationSpecificationforFlatEqualThicknessInterferometers

2016-11-30發(fā)布2017-05-30實施

國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中華人民共和國

國家計量技術規(guī)范

平面等厚干涉儀校準規(guī)范

JJF1100—2016

國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

*

中國質檢出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網址

:

服務熱線

:400-168-0010

年月第一版

20175

*

書號

:155026·J-3437

版權專有侵權必究

JJF1100—2016

平面等厚干涉儀校準規(guī)范??

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代?替JJF1100—2003?

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FlatEqualThicknessInterferometers

歸口單位全國幾何量工程參量計量技術委員會

:

主要起草單位中國測試技術研究院

:

中國計量科學研究院

參加起草單位中國科學院光電技術研究所

:

中測測試科技有限公司

本規(guī)范委托全國幾何量工程參量計量技術委員會負責解釋

JJF1100—2016

本規(guī)范主要起草人

:

冉慶中國測試技術研究院

()

張恒中國計量科學研究院

()

趙小萍中國測試技術研究院

()

康巖輝中國計量科學研究院

()

參加起草人

:

吳時彬中國科學院光電技術研究所

()

徐德宇中國測試技術研究院

()

卿光亞中測測試科技有限公司

()

JJF1100—2016

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

概述

3……………………(1)

計量特性

4………………(3)

干涉條紋間距測量的重復性

4.1………(3)

測微目鏡的示值誤差

4.2………………(3)

物鏡系統(tǒng)引起的干涉條紋彎曲量

4.3…………………(3)

儀器的示值誤差

4.4……………………(3)

校準條件

5………………(3)

環(huán)境條件

5.1……………(3)

校準項目和測量標準及其他設備

5.2…………………(3)

校準方法

6………………(4)

干涉條紋間距測量的重復性

6.1………(4)

測微目鏡的示值誤差

6.2………………(4)

物鏡系統(tǒng)引起的干涉條紋彎曲量

6.3…………………(4)

儀器的示值誤差

6.4……………………(5)

校準結果的表達

7………………………(5)

復校時間間隔

8…………(5)

附錄平面等厚干涉條紋測量方法的圖解與簡介

A…………………(6)

附錄平面等厚干涉儀示值誤差校準不確定度評定示例

B…………(7)

附錄校準證書內頁信息及格式

C……………………(10)

Ⅰ

JJF1100—2016

引言

國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則通用計量術語及

JJF1071—2010《》、JJF1001—2011《

定義和測量不確定度評定與表示共同構成支撐本校準規(guī)范修訂

》JJF1059.1—2012《》

工作的基礎性系列規(guī)范

。

與平面等厚干涉儀校準規(guī)范相比本規(guī)范除編輯性修改外主

JJF1100—2003《》,,

要技術變化如下

:

本規(guī)范取消了按儀器示值誤差對平面等厚干涉儀分級

———;

本規(guī)范取消了不帶標準平面平晶平面等厚干涉儀的示值誤差可以不測量這

———“”

條規(guī)定

;

本規(guī)范增加了附錄平面等厚干涉條紋測量方法的圖解與簡介

———A:;

本規(guī)范中平面等厚干涉儀示值誤差的測量推薦由二塊?一等標準平面

———150mm

平晶按其兩測量截面一一對應測量方法得到并保留原規(guī)范用三塊二等平面平晶互檢

,

方法

;

本規(guī)范取消復校時間間隔中建議一般不超過年條款校準時間間隔由用

———“1”,

戶根據自身企業(yè)情況確定

。

本規(guī)范的歷次版本發(fā)布情況

:

平面等厚干涉儀校準規(guī)范

———JJF1100—2003《》;

平面等厚干涉儀

———JJG336—1983《》。

Ⅱ

JJF1100—2016

平面等厚干涉儀校準規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于平面等厚干涉儀的校準

。

2引用文件

本規(guī)范引用下列文件

:

平晶

JJG28—2000

平面平晶

JB/T7401—1994

凡是注日